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微机械音叉陀螺接口电路研究  CNKI文献

利用MEMS(微电子机械系统)技术作为加工手段的微机械陀螺与传统陀螺相比具有微型化、可集成和批量生产等优点,在众多领域有着广阔的应用前景。本论文主要针对静电驱动电容检测音叉式微机械陀螺的接口电路的相关理论和...

刘显学 导师:苏伟 中国工程物理研究院 2006-03-01 硕士论文

关键词: 微电子机械系统 / 微陀螺 / 接口电路 / 锁相环

下载(366)| 被引(2)

微机械音叉陀螺外围电路研究及仿真  CNKI文献

介绍一种微机械音叉陀螺外围电路的基本结构及各组成部分的工作原理。针对机械敏感单元设计了陀螺的外围电路,通过系统分析,建立了数学模型,并利用Matlab对整个模型进行行为级仿真,验证所设计电路的可行性。仿真结果为...

刘显学 苏伟 《信息与电子工程》 2006年05期 期刊

关键词: 微陀螺 / 微陀螺外围电路 / 驱动电路 / 检测电路

下载(141)| 被引(9)

基于传感器标定系统的微陀螺频率特性检测方法  CNKI文献

本文设计了一种利用丹麦B&K公司的9610型振动传感器标定系统对叉指式微陀螺的频率特性进行检测的方法;在分析微陀螺的受迫振动特性的基础上,阐述了频率特性的检测方法;设计了检测电路。

刘显学 苏伟 《中国仪器仪表》 2006年06期 期刊

关键词: 振动传感器标定系统 / 频率特性 / 微陀螺

下载(98)| 被引(2)

微机械振动陀螺闭环自激驱动理论分析及验证  CNKI文献

根据微机械振动陀螺驱动控制的要求,对基于自动增益控制的自激驱动陀螺系统进行了理论分析,在系统存在相位不平衡时,利用近似平均法得到了结构的起振条件及稳态幅度表达式。理论分析和实验测试表明:参考电压须大于某一...

刘恒 刘显学... 《重庆大学学报》 2011年10期 期刊

关键词: 陀螺 / 自激振荡 / 平均法 / 自动增益

下载(134)| 被引(7)

双框架解耦微陀螺原理样机研制  CNKI文献

为了把驱动工作模态和检测工作模态有效隔离,以减小模态间的互相干扰,设计了一种双框架解耦微机械陀螺。通过采用可工程化的鲁棒优化结构设计和工艺补偿的制造工艺,实现了工艺误差范围内的稳健设计。这种内外框架结构...

唐海林 刘显学... 《信息与电子工程》 2010年06期 期刊

航姿参考系统的改进杆臂效应补偿方法  CNKI文献

振动环境下叠加在航姿参考系统(AHRS)加速度计敏感轴上的杆臂效应会对加速度计测姿精度造成极大的影响.本文对杆臂效应处理算法中的低通滤波法和力学补偿法进行分析.低通滤波法滤除杆臂效应会有整流误差残存.力学补偿...

谭强俊 程永生... 《哈尔滨工业大学学报》 2020年05期 期刊

关键词: 杆臂效应补偿 / 多加速度计 / 低通滤波 / 力学补偿

下载(351)| 被引(0)

非真空封装微陀螺的空气阻尼仿真分析  CNKI文献

介绍了微陀螺仪表芯结构所受的三种空气阻尼,讨论了各自的建模仿真分析方法,并分析了压强、温度以及流体特征尺寸等对阻尼的影响。针对一款非真空封装微陀螺,进行了仿真计算,给出了结构的空气阻尼系数和品质因子Q,分别...

周浩 赵宝林... 中国惯性技术学会第七届学术年会论文集 2015-10-20 中国会议

关键词: 空气阻尼 / 非真空封装 / 滑膜阻尼 / 压膜阻尼

下载(96)| 被引(1)

双质量解耦硅微陀螺仪的非理想解耦特性研究和性能测试  CNKI文献

为了分析双质量解耦硅微陀螺结构中的机械耦合误差,对微陀螺结构的非理想解耦特性进行了研究。首先,阐述了双质量解耦硅微陀螺仪的结构原理,推导了双质量解耦硅微陀螺仪的检测位移;接着构建检测框架在驱动模态下非理想...

杨波 吴磊... 《中国惯性技术学报》 2015年06期 期刊

关键词: 硅微陀螺仪 / 双质量 / 非理想解耦 / 非真空封装

下载(105)| 被引(5)

闭环微加速度计非线性补偿  CNKI文献

离心标定修正微加速度计的非线性存在周期长和成本高等缺点,寻找一种可以提高生产效率的修正办法具有重要意义。推导了理想情况下加速度计的工作原理,并对载波带来的附加静电力对测试结果的影响进行了分析。在引入闭环...

谢国芬 杜连明... 《微纳电子技术》 2013年05期 期刊

关键词: 微加速度计 / 非对称因子 / 寄生电容 / 电路零偏

下载(136)| 被引(6)

解耦z轴微机械陀螺的研制  CNKI文献

提出了一种检测模态解耦的z轴微机械陀螺,其检测模态被约束为1自由度振动,可抑制驱动模态的影响,降低不期望的检测模态偏置,并使用双质量结构在降低模态耦合的同时获得了较好的模态频率匹配。为满足驱动和检测模态自由...

周浩 苏伟... 《光学精密工程》 2011年09期 期刊

关键词: 微机械陀螺 / 机械解耦 / 反应离子深刻蚀

下载(110)| 被引(3)

微机械陀螺结构的稳健优化设计  CNKI文献

本文提出一种基于容差分析的微机械陀螺稳健设计方法,开发了相应的稳健优化设计流程.该方法采用估算目标函数和约束的名义值与扰动值来定义系统稳健性,同时将最坏情况容差作为设计参数的扰动.在集成了器件建模和优化工...

周浩 苏伟... 《纳米技术与精密工程》 2011年04期 期刊

关键词: 微机械陀螺 / 稳健设计 / 容差分析 / 最坏情况容差

下载(158)| 被引(3)

基于灵敏度分析的微机械陀螺稳健优化设计  CNKI文献

提出了基于灵敏度分析的微机械陀螺稳健优化模型,开发了相应的稳健设计流程。以往的研究是将设计变量中的不确定量考虑为统计容差,与之不同的是,该设计采用最坏情况容差分析,优化算法使用遗传算法,采用键合-离子反应深...

周浩 苏伟... 《信息与电子工程》 2011年02期 期刊

关键词: 微机械陀螺 / 最优化 / 稳健设计 / 灵敏度分析

下载(121)| 被引(0)

手持式微机械陀螺扫频测试仪的实现  CNKI文献

传统微机械陀螺的扫频测试一般采用价格昂贵的通用测试仪,其存在测试成本高、效率低等缺点。设计了一种基于现场可编程门阵列(FPGA)的手持扫频测试仪,能够自动进行扫频测试并求取被测微机械陀螺的谐振频率与品质因数,...

官承秋 高杨... 《微纳电子技术》 2012年10期 期刊

关键词: 微机械陀螺 / 扫频测试 / 手持式仪器 / 现场可编程门阵列(FPGA)

下载(41)| 被引(0)

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