作  者

不  限

  • 不  限
  • 1915年
  • 1949年
  • 1979年

不  限

  • 不  限
  • 1979年
  • 1949年
  • 1915年
  • 全  文
  • 主  题
  • 篇  名
  • 关键词
  • 作  者
  • 作者单位
  • 摘  要
  • 参考文献
  • 基  金
  • 文献来源
  • 发表时间
  • 中图分类号

全  文

不  限

  • 不  限
  • 1915年
  • 1949年
  • 1979年

不  限

  • 不  限
  • 1979年
  • 1949年
  • 1915年
  • 全  文
  • 主  题
  • 篇  名
  • 关键词
  • 作  者
  • 作者单位
  • 摘  要
  • 参考文献
  • 基  金
  • 文献来源
  • 发表时间
  • 中图分类号
设置
  • 关闭历史记录
  • 打开历史纪录
  • 清除历史记录
引用
筛选:
文献类型 文献类型
学科分类 学科分类
发表年度 发表年度
作者 作者
机构 机构
基金 基金
研究层次 研究层次
排序:
显示:
CNKI为你找到相关结果

硅加速度计动态I/O特性的标定和数据采集  CNKI文献

介绍了振动台测量控制系统、标定振动g值及减小标定误差的技术 .在此基础上 ,介绍了利用HP344 0 1A型数字万用表和微型计算机进行数据采集的通信技巧和编程技巧 .利用这套系统 ,对笔者联合研制开发的仪表级压阻式硅加...

刘理天 温明生... 《吉首大学学报(自然科学版)》 2000年04期 期刊

关键词: 振动台测量控制系统 / 动态I/O特性标定 / 数据采集

下载(84)| 被引(4)

簧片式硅弹性膜应力分布的计算和加速度传感器的优化设计  CNKI文献

为了提高我们已研制成功的新型簧片式硅加速度传感器的性能,用有限元法计算了不同形状和尺寸的质量块在40g值加速度作用下产生的应力分布,使我们优选了最佳的质量块设计方案,显著地提高了灵敏度,取得了与理论计...

刘理天 谭智敏... 《仪表技术与传感器》 1998年08期 期刊

关键词: 有限元法 / 应力分布 / 优化设计

下载(55)| 被引(5)

硅杯型集成压力传感器的研制  CNKI文献

本文介绍了用于测量微小压力或流速的硅杯型集成传感器。它将敏感元件与信号放大电路以及恒流供电电路都集成在同一芯片内,实现了硅杯型压力传感器的单片集成。该集成传感器有较小的体积和较高的灵敏度,可用于测量小区...

刘理天 谢会开... 《仪表技术与传感器》 1994年01期 期刊

关键词: 硅杯 / 腐蚀 / 集成 / 离子注入

下载(129)| 被引(2)

表面微机械静电梳状驱动结构的研究  CNKI文献

静电梳状驱动器(ECS)是包括振荡器、微加速度计、微陀螺及微电动机等在内的微机电系统的核心组成部件,可作为执行器和传感器用。该文用表面微机械工艺研制出静电梳状驱动结构,在理论分析基础上,使用电容提取软...

吴徽 刘理天... 《清华大学学报(自然科学版)》 1999年S1期 期刊

关键词: 静电梳状驱动结构 / 表面微机械 / 牺牲层 / 粘连

下载(504)| 被引(33)

一种集成PCR与CE的生物芯片的设计研究  CNKI文献

阐述了一种集成PCR反应室与CE管道的生物芯片的研究和设计工作,实现了样品扩增、电泳分离和紫外光检测3个生物分析检测过程的单片集成。为这种DNA生物芯片设计了PCR反应池及其加热控制系统、毛细管电泳管道和配备即时...

季旭 刘理天 《半导体技术》 2003年08期 期刊

关键词: 毛细管电泳 / 聚合酶链式反应 / 生物芯片 / 微电子机械系统

下载(299)| 被引(8)

使用超声搅拌实现精密KOH各向异性体硅腐蚀  CNKI文献

对使用超声搅拌和不加搅拌时 (10 0 )单晶硅的腐蚀特性进行了研究和对比 .使用超声搅拌 ,可以得到光滑的、无小丘的腐蚀表面 ,整个硅片腐蚀深度的误差不超过 1μm.实验结果表明 ,该方法可以有效地实现精密 KOH各向异性...

陈兢 刘理天... 《半导体学报》 2002年04期 期刊

关键词: MEMS / 各向异性腐蚀 / 超声搅拌 / KOH

下载(245)| 被引(9)

野菊花天然染料的提取及染色性能  CNKI文献

研究了野菊花天然染料的提取工艺及其对棉织物的染色工艺,并对染色后织物进行了相关性能测试。结果表明,较优提取工艺为以水为提取剂,提取温度为100℃,提取时间为90min,pH值为9,物料比为1∶40。较优染色工艺如下:以明...

瞿凌曦 刘理天... 《国际纺织导报》 2019年12期 期刊

关键词: 天然染料 / 野菊花 / 棉织物 / 提取

下载(111)| 被引(0)

一种集成PCR反应室与CE的生物芯片的研究  CNKI文献

生物芯片是便携式生物化学分析器的核心技术。主要研究内容是研制一种集成了聚合酶链式反应PCR(PolymeraseChain Reaction)反应室与毛细管电泳CE(Capillary Electrophoresis)的生物芯片,它的用途有DNA测序,DNA突变检测...

季旭 刘理天 《仪器仪表学报》 2003年S2期 期刊

关键词: 毛细管电泳 / 聚合酶链式反应 / 生物芯片 / 微电子机械系统

下载(157)| 被引(7)

新型硅微加速度传感器的设计与制作  CNKI文献

研究了一种新型的谐振式硅微加速度传感器,对其结构和工艺进行设计,并制作出了一系列不同结构和尺寸的这种器件。该加速度传感器在制作支撑梁的同时制作了用于检测信号的谐振梁,并采用电阻热驱动、压阻桥同步检测的...

李军俊 刘理天... 《清华大学学报(自然科学版)》 1999年S1期 期刊

关键词: 微加速度传感器 / 微机械加工技术 / 谐振梁 / 压阻效应

下载(417)| 被引(26)

微电机和微动力MEMS  CNKI文献

微执行器是微电子机械系统中一个重要的分支,本文讨论了微执行器中的微电机、微发电机和微涡轮发动机。

齐臣杰 刘理天... 《电子科技导报》 1999年12期 期刊

关键词: 微电机 / 微执行器 / 微发电机 / 微涡轮发动机

下载(312)| 被引(15)

高灵敏度微机械薄膜的设计、模拟与优化  CNKI文献

许多高性能微传感器和微执行器的实现都离不开高灵敏度的薄膜。使用微机械加工方法制备的薄膜一般有着不可忽视的残余应力。残余应力极大地降低了膜的机械灵敏度。文中提出的纹膜结构 ,可在不改变工艺条件的前提下 ,显...

陈兢 刘理天... 《固体电子学研究与进展》 2002年01期 期刊

关键词: 微机械 / 残余应力 / 灵敏度 / 纹膜

下载(93)| 被引(1)

压电折叠梁微执行器的低电压优化设计  CNKI文献

采用理论分析和有限元数值模拟相结合的方法,对压电折叠梁微执行器在低电压下工作时的器件结构进行优化设计。首先通过理论分析获得优化的器件结构参数,再通过有限元模拟验证理论分析结果。在器件设计中,通过综合考虑...

方华军 刘理天 《传感技术学报》 2008年03期 期刊

关键词: MEMS / 压电 / 折叠梁 / 微执行器

下载(172)| 被引(7)

硅基压电悬臂梁式微麦克风的设计与优化  CNKI文献

设计了一种硅基PZT压电悬臂梁式微麦克风。这种微麦克风采用压电多层膜悬臂梁作为声压感受器件,采用有限元耦合场分析的方法对压电复合膜悬臂梁进行了有限元分析和模拟,研究了压电复合多层膜悬臂梁的结构参数与力学性...

方华军 刘理天... 《微纳电子技术》 2007年Z1期 期刊

关键词: 微麦克风 / PZT / 压电悬臂梁

下载(355)| 被引(5)

SIMOX硅片埋氧层垂直方向热导率的测量  CNKI文献

提出了一种简单、有效而且准确的测量SOI硅片埋氧层垂直方向热导率的方法 ,并采用这种方法测量了用SIMOX工艺制作的SOI硅片的埋氧层垂直方向的热导率 .测量结果显示至少在 5 5nm以上的尺度上对于SIMOX硅片的埋氧层垂直...

何平 刘理天... 《半导体学报》 2003年10期 期刊

关键词: SOI / SIMOX / 热导率 / 边界热阻

下载(62)| 被引(2)

硅基微传声器的研究进展  CNKI文献

基于MEMS技术的硅基微传声器的出现是现代声学器件的又一次革命。本文介绍了微传声器的发展现状,并对流行的电容式微传声器的原理进行了简要分析。清华大学微电子所研制的微传声器在结构上具有创新,制作工艺与标准IC电...

陈兢 刘理天... 《中国集成电路》 2002年04期 期刊

关键词: 微传声器 / 微电子所 / 前置放大器 / 清华大学

下载(99)| 被引(1)

硅基压电多层膜悬臂梁的偏转模型和优化设计  CNKI文献

利用压电多层膜悬臂梁的形变曲率半径,导出了简洁的压电悬臂梁型微执行器的偏转模型.采用此模型,对硅基PZT压电悬臂梁型微执行器进行了模拟和分析.分析获得了各层薄膜结构参数与微执行器偏转位移的关系.根据此分析结果...

方华军 刘理天... 《传感技术学报》 2006年05期 期刊

关键词: MEMS / 压电多层膜 / 悬臂梁 / 微执行器

下载(202)| 被引(7)

铁电—硅集成微麦克风和扬声器研究  CNKI文献

目的是为实现高灵敏度、集成化的微麦克风和扬声器奠定基础。利用锆钛酸铅(PZT)铁电体具有的优良的力电耦合特性,提出将PZT铁电薄膜与硅工艺相结合,研制悬臂式铁电—硅集成微麦克风和扬声器。利用双膜片模型...

任天令 刘理天... 《清华大学学报(自然科学版)》 1999年S1期 期刊

关键词: 铁电-硅集成 / 微麦克风和扬声器 / 锆钛酸铅(PZT) / 悬臂式结构

下载(266)| 被引(10)

光刻胶灰化工艺与深亚微米线条的制作  CNKI文献

随着器件尺寸的缩小,细线条的制作成为很关键的工艺,普通光学光刻已接近其分辨率的极限,而电子束光刻和X射线光刻技术复杂、费用昂贵。本文对光刻胶灰化工艺进行了分析和研究,并应用此工艺进行了深亚微米线条的制...

孙自敏 刘理天... 《微细加工技术》 1998年02期 期刊

关键词: 光刻 / 光刻胶灰化工艺 / 深亚微米线条

下载(153)| 被引(15)

纹膜结构用于电容式硅微麦克风的研究  CNKI文献

本文提出的一种纹膜结构单硅片微麦克风,采用了硅微机械技术,且实现了麦克风电容两电极之间的自对准,大大提高了麦克风的生产效率,降低了成本.纹膜结构有降低和消除膜内应力的作用,而纹膜的三维结构使麦克风电容...

邹泉波 刘理天... 《半导体学报》 1996年12期 期刊

关键词: 麦克风 / 机械灵敏度 / 电容式

下载(184)| 被引(8)

新型MOS晶体管式压力传感器  CNKI文献

在应力作用下,MOS晶体管的源漏电流的大小会随着沟道区所受应力大小而变化。基于MOS晶体管的这种力敏效应,采用晶体管和电阻构成压敏电桥,提出了一种新型的MOS晶体管式压力传感器。该器件在与目前最常用的压阻式压力传...

张艳红 刘理天... 《微纳电子技术》 2007年Z1期 期刊

关键词: 力敏效应 / MOS晶体管 / 灵敏度 / 功耗

下载(207)| 被引(4)

学术研究指数分析(近十年)详情>>

  • 发文趋势

热门学者(按发文篇数排行)

相关机构

时间的形状