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光敏聚酰亚胺牺牲层工艺研究  CNKI文献

微机电系统(Micro Electromechanical System,MEMS)作为微电子技术应用的新突破,促进了现代信息技术的发展。牺牲层技术是MEMS应用的关键。介绍了光敏性聚酰亚胺作为牺牲层材料的优势,研究了工艺中光敏聚酰亚胺的厚度...

彭自求 王军... 《微处理机》 2010年05期 期刊

关键词: 牺牲层技术 / 光敏聚酰亚胺 / 亚胺化 / 牺牲层释放

下载(381)| 被引(20)

双牺牲层微测辐射热计最新研究进展  CNKI文献

通过改善结构,来研制更小尺寸、更高分辨率的器件,成为微测辐射热计研制的新趋势,而其中最普遍的做法就是使用双牺牲层。本文介绍了双牺牲层微测辐射热计研究的最新成果,即以Raytheon和DRS等为代表的两种做法,并从器件...

彭自求 王军... 《电子器件》 2010年03期 期刊

关键词: 微测辐射热计 / 双牺牲层 / 屋檐结构 / 伞状结构

下载(148)| 被引(9)

图形反转方法制备MEMS器件电极的研究  CNKI文献

研究了利用AZ5214光刻胶图形反转实现抗腐蚀金属NiCr剥离的关键工艺步骤,该方法可以用于制备金属电极,进而优化器件性能。理论上讨论了图形反转的形成机理,根据Dill理论对光刻胶曝光模型进行了推导,并使用MATLAB模拟工...

彭自求 王军... 《电子器件》 2010年05期 期刊

关键词: AZ5214光刻胶 / 图形反转 / 倒台面 / 反转烘

下载(263)| 被引(5)

双层结构红外焦平面阵列的设计与制备  CNKI文献

微测辐射热计型非制冷红外探测器由于其便携性好、成本低和卓越的性能等优点,近年来成为红外探测器研究中的热点。然而,传统单牺牲层器件填充率的提高和器件的热学性能的提升有所冲突,影响了器件性能的提升。双牺牲层...

彭自求 导师:蒋亚东 电子科技大学 2011-04-01 硕士论文

关键词: 微测辐射热计 / 双牺牲层 / 掩膜设计 / 力学仿真

下载(228)| 被引(1)

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