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低压硅外延生长的热力学研究  CNKI文献

本文对SiCl_4氢还原的复杂化学反应体系的平衡状态作了计算.给出体系在低压(P=0.1大气压、P=0.01大气压)和常压(P=1大气压),温度T从900K至1500K,及不同初始成分条件下的平衡成分图、产率图、外延生长控制参数的阈值图...

徐宝琨 赵慕愚 《半导体学报》 1982年05期 期刊

关键词: 平衡状态 / 平衡成分 / 控制参数 / 硅外延

下载(96)| 被引(12)

SiCl_4外延生长硅晶体中碳沾污的热力学分析  CNKI文献

本文采用热力学计算方法对引起SiCl_4外延生长硅晶体中碳沾污的三个来源作了较详细的分析.所得结果对外延硅中SiC沾污问题的认识,外延工艺和H_1、SiCl_4原材料制备及提纯工艺的改进将有一定的参考意义.

徐宝琨 赵慕愚 《半导体学报》 1984年03期 期刊

关键词: 沾污 / SiCl_4 / 含碳物质 / 热力学分析

下载(45)| 被引(5)

热解CVD方法制备氧化铍薄膜的研究  CNKI文献

本文用碱式甲酸铍为源,在源区温度250—330℃,沉积区温度440—650℃的条件下,利用热解CVD方法制得了BeO薄膜,并对BeO 薄膜的物理和化学性能做了测量和试验.

徐宝琨 杨弘 ... 《半导体学报》 1992年10期 期刊

关键词: CVD / 热解 / BeO / 沉积时间

下载(64)| 被引(1)

等离子体化学气相沉积法制备氮化碳薄膜的研究  CNKI文献

试图制备某一方面性能超过现有材料的新一代材料,一直是材料科学的一个发展方向。人们知道金刚石是硬度材料之王,然而美国Soienoe等报道:从经验模型和量子力学从头计算出发,预估碳氮之间的假想的共价化合物β-C_3N_4若...

徐宝琨 岳万刚... 《化学通报》 1993年11期 期刊

关键词: 薄膜材料 / 下制 / 金刚石 / 宝石

下载(104)| 被引(1)

关于石门坪水电站经济运行模式的探讨  CNKI文献

按照石门坪水电站所处流域的水文资料,结合电站的引水特点,综合本站水轮发电机组的运行特性,依据发电量的计算公式,确定经济运行的主要方向。从而探索出一条适合电站特点的经济运行模式,以便使电站取得最大的经济效益...

徐宝琨 王宏科 《中国水运(下半月)》 2012年03期 期刊

关键词: 水电站 / 经济效益 / 经济运行模式

下载(21)| 被引(0)

H_2气氛中微量H_2O和O_2对硅外延生长温度限制的热力学分析  CNKI文献

本文用热力学方法计算得出了H_2气氛中微量H_2O和O_2在硅衬底上产生SiO_2的临界值.计算结果对从事低温硅外延生长有一定参考价值.

徐宝琨 《固体电子学研究与进展》 1985年03期 期刊

关键词: 生长温度 / 硅外延 / 单晶硅膜 / H_2O

下载(26)| 被引(2)

热喷涂法制作NiO热敏材料  CNKI文献

本文介绍了采用热喷涂法制备以 NiO 为主体成分的薄膜材料,并根据其性能制作热敏电阻.用5DX—FT—IR 测定了不同工艺条件制备的薄膜样品的红外吸收光谱.用差热分析方法测量了样品的温度稳定性。结果表明,这种方法制得...

徐宝琨 何静红... 《仪表材料》 1990年01期 期刊

关键词: 热喷涂 / 氧化镍 / 热敏材料

下载(50)| 被引(0)

SiH_4-SiCl_4-H_2、SiH_4-HCl-H_2混合硅源CVD法生长硅晶体...  CNKI文献

本文从热力学角度,通过计算机计算,研究了SiH_4—SiCl_4—H_2及SiH_4—IICl—H_2混合硅源气相生长硅晶体体系的平衡状态。给出了不同配比的混合硅源沉积硅的产率和产率随温度、压力等控制参数变化的图解。根据准平衡理...

徐宝琨 夏欣夫... 《计算机与应用化学》 1984年03期 期刊

关键词: 硅源 / 产率 / SiH_4-SiCl_4-H_2 / 硅晶体

下载(35)| 被引(0)

PECVD法沉积SiO_xN_y及其性质研究  CNKI文献

本文采用PECVD技术制备了SiO_xN_y薄膜。用光电子能谱仪和红外光谱仪等对薄膜的结构、组成和其它物理性质作了测量。对温度、功率等工艺参数对薄膜性质的影响作了研究。结果表明,该薄膜是一种非晶态无序结构的、具有良...

徐宝琨 赵凤云... 《功能材料》 1991年05期 期刊

关键词: SiO_xN_y / 绝缘膜 / PECVD

下载(40)| 被引(0)

In-Ga合金源汽相外延生长In_xGa_(1-x)As体系的热力学分析  CNKI文献

本文采用独立组元法对In-Ga合金源汽相外延生长In_xGa_(1-x)As体系的平衡状态作了热力学计算和分析,所得结果对认识该体系外延生长的规律性及改进工艺条件有一定参考价值.

徐宝琨 李钟华... 《半导体学报》 1989年04期 期刊

关键词: 热力学计算 / 气相外延 / 铟镓砷固溶体

下载(15)| 被引(1)

SiCl_4-H_2外延系统的Si迁移反应  CNKI文献

本文用热力学方法研究了SiCl_4-H_2外延系统中的各种腐蚀反应和沉积反应。所得结果可以用于认识硅外延生长过程中的硅迁移效应。

徐宝琨 《上海金属.有色分册》 1983年04期 期刊

关键词: 迁移效应 / 气相腐蚀 / 外延生长 / 石墨

下载(28)| 被引(0)

用直、交流方法分析高分子电阻型湿敏元件的敏感机理  CNKI文献

利用接枝共聚反应合成了具有良好湿敏特性的功能高分子材料 ,用该材料制作了特性良好的电阻型湿度传感器 .利用瞬时直流极性反转法研究了该元件在不同的温度环境中的导电粒子 ;利用复阻抗分析进一步研究了元件在不同的...

张彤 徐宝琨... 《传感技术学报》 2001年02期 期刊

关键词: 湿敏元件 / 复阻抗 / 瞬时直流极性反转 / 柯尔-柯尔图

下载(177)| 被引(28)

纳米TiO_2光催化降解水中有机污染物的研究与发展  CNKI文献

光催化降解水中有机污染物是一项新兴的颇有发展前途的废水处理技术。纳米TiO2因其活性高、稳定性好而在该领域广泛被用作光催化剂。本文系统介绍了纳米TiO2的制备、光催化降解水中有机污染物的机理、动力学规...

李晓平 徐宝琨... 《功能材料》 1999年03期 期刊

关键词: 纳米晶 / TiO_2 / 光催化 / 光分解

下载(3167)| 被引(582)

纳米晶La_(1-_x)Sr_xFeO_3的合成及气敏特性的研究  CNKI文献

用柠檬酸盐法合成出La_(1-_x)Sr_xFeO_3(x=0.1,0.2,0.3,0.4)原粉,再经固相反应得到纳米晶粉末,用TG、DTA、XRD、IR进行了表征,确证复合氧化物La_(1-_x)Sr_x...

吴凤清 徐宝琨... 《高等学校化学学报》 1994年06期 期刊

关键词: 纳米晶 / 钙钛矿型 / 气敏特性

下载(146)| 被引(34)

按独立组元计算复杂化学平衡的方法  CNKI文献

本文通过分析独立组元的本质,提出了一个按独立组元来计算复杂化学平衡的方法。这个方法中的未知数和方程数比现有的自由能最小化法、质量作用方程组的方法和反应进度的方法中的未知数和方程数显著减少,因而计算过程大...

赵慕愚 徐宝琨 《应用化学》 1983年00期 期刊

关键词: 方程式 / 自由能最小化 / 摩尔数 / 方程

下载(76)| 被引(12)

LaFeO_3 栅膜 FET 气体传感器的研究  CNKI文献

本文采用溶胶-凝胶技术制备LaPeO3纳米晶薄膜,并摸索出该薄膜的光刻方法,将这一成膜技术与集成电路平面工艺相结合,首次研制出了纳米晶薄膜作为栅极的场效应晶体管气体传感器,它对乙醇具有较高的灵敏度和良...

赵善麒 徐宝琨... 《半导体学报》 1994年02期 期刊

关键词: 气体传感器 / 场效应晶体管 / 栅极 / 成膜技术

下载(72)| 被引(5)

TiO_2晶型与光催化活性关系的研究  CNKI文献

A series of studies were carried out to investigate the effect of crystal forms of TiO 2 on the activities in the photocatalyzing degradation of aqueous methyl orange. It is shown that the rutile co...

高伟 吴凤清... 《高等学校化学学报》 2001年04期 期刊

关键词: TiO2 / 光催化降解 / 甲基橙

下载(1468)| 被引(424)

纳米TiO_2的制备,表征及光催化性能的研究  CNKI文献

采用硬脂酸凝胶 (SAG)法制备了TiO2 纳米材料 ,用差热分析 ,热重分析 ,X射线衍射对合成过程进行了研究。用X射线光电子能谱 (XPS)对其表面状态进行了分析。TiO2 纳米材料对甲基橙溶液光催化降解结果表明 :催化剂浓度、...

吴凤清 阮圣平... 《功能材料》 2001年01期 期刊

关键词: 光催化 / 二氧化钛 / 甲基橙溶液 / 降解

下载(699)| 被引(115)

CdS/CdTe太阳电池制备过程的热力学分析  CNKI文献

本文通过热力学理论分析方法,配合实验,对丝网印刷薄膜CdS/CdTe太阳电池制作过程中的复杂化学反应体系的平衡状态作了计算。给出了体系在常压下、温度从600—1100K及不同初始条件下的各物种的平衡分压图及CdO的产率图...

高省三 徐宝琨... 《太阳能学报》 1992年01期 期刊

关键词: CdTe / 烧结过程 / 平衡状态 / 丝网印刷

下载(74)| 被引(0)

纳米TiO_2薄膜的制备及其紫外光吸收性能的研究  CNKI文献

采用sol gel法制备TiO2薄膜。用XRD、AFM对其结构及表面形态进行了表征。用UV、SPS测试其光谱吸收、表面光伏特性。结果表明,在高软化温度ITO玻璃上得到比较好的锐钛矿型TiO2薄膜,且具有很强的紫外光吸收特性。随着烧...

邹博 吴凤清... 《功能材料》 2004年05期 期刊

关键词: TiO2薄膜 / 紫外吸收 / 光伏效应

下载(518)| 被引(25)

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