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微机械热电堆红外探测器  CNKI文献

红外探测器是红外技术的心脏,军事的需要极大地推动了它的发展。热电堆 红外探测器作为一种非致冷的热红外探测器,具有较多的优势,应用广泛。在 20世纪80年代微电于机械系统(MEMS)发展起来之后...

徐峥谊 导师:王跃林 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) 2002-05-01 博士论文

关键词: 微电子机械系统 / 热电堆 / 热偶 / 红外探测器

下载(1143)| 被引(21)

微机械红外热电堆探测器  CNKI文献

阐述了微机械红外热电堆探测器的工作机理以及主要结构 ,并用微机械工艺制作得到 4× 4的探测器阵列 ,该制作工艺与标准IC工艺兼容。在获得的探测器阵列中 ,热电堆支撑结构为氧化硅与氮化硅的介质复合膜 ,热电偶材...

徐峥谊 熊斌... 《机械强度》 2001年04期 期刊

关键词: 微电子机械系统 / 红外热电堆 / 阵列

下载(312)| 被引(18)

新老自动化主站系统无缝过渡探讨  CNKI文献

新建调度自动化主站OCS系统,建设过程不影响调度员的正常操作,不影响与上级之间的通讯。厂站从老自动化系统切换接入新自动化系统的过程不会造成通道及自动化信息传输中断。利用新服务器、工作站、网络交换机等设备,搭...

徐峥谊 《中国高新技术企业》 2017年09期 期刊

关键词: 调度自动化主站 / OCS系统 / 无缝过渡 / 变电站

下载(14)| 被引(0)

正面腐蚀方法制作新型微机械红外热堆探测器  CNKI文献

阐述了微机械制造工艺制作红外热堆探测器的方法 ,其采用新的正面湿法腐蚀的方法释放体硅 ,获得悬梁结构的红外热堆探测器。该探测器用LPCVD(低压化学气相沉积 )氮化硅膜 ,与热氧化得到的氧化硅膜形成三明治结构作为热...

徐峥谊 熊斌... 《微细加工技术》 2001年04期 期刊

关键词: 微机电系统 / 红外热堆 / 正面腐蚀 / 各相异性腐蚀

下载(63)| 被引(3)

城市配网综合自动化及其实现  CNKI文献

城市配网自动化是一项系统的综合性工程,成功的配网自动化是设备的可靠性和方案的有机结合。针对配网综合自动化技术发展的过程及其特点,在环网配电的前提下,结合楚雄地区城网实际情况,给出灵活多变、易于实施的技术方...

徐峥谊 《中国新技术新产品》 2011年17期 期刊

关键词: 配网综合自动化 / 环网配电 / 供电可靠性 / 电能质量

下载(30)| 被引(2)

地调自动化系统图模库一体化技术的应用  CNKI文献

近几年,由于地方经济不断发展,电网建设也以非常快的速度展开。面对规模不断扩大的楚雄电网,需要新增的数据库和接线图徒然增多,并且要求电力调度自动化系统及时更新其数据库及网络模型。图模库一体化的应用是自动化水...

徐峥谊 《中国高新技术企业》 2011年08期 期刊

关键词: 图模库一体化 / 电力调度自动化系统 / 技术的应用

下载(30)| 被引(0)

地调调度自动化发展  CNKI文献

在电力系统的生产运行中,电网的实时数据要保证及时的反映到调度自动化系统中来。调度人员能及时浏览整个电网的运行情况,并且能够对电网中发现的异常情况及时地做出正确的判断及准确的调度,调度自动化系统在保证电网...

徐峥谊 《科技资讯》 2007年35期 期刊

关键词: 电力系统调度 / 自动化 / 发展

下载(25)| 被引(0)

PZT厚膜压电悬臂梁结构的有限元分析  CNKI文献

设计了一种硅微悬臂梁结构,在低频环境中以压电厚膜进行信号转换、谐振。使用有限元分析软件ANSYS对结构建模,并进行模态和谐响应分析。模拟分析的结果表明:通过制备添加金属质量块及选择合理的尺寸范围,结构固有频率...

方华斌 徐峥谊... 中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一) 2005-08-01 中国会议

关键词: 压电悬臂梁 / 低频 / 谐振 / 有限元分析

下载(242)| 被引(1)

PZT厚膜拾振器微图形化工艺研究  CNKI文献

采用sol-gel方法制备了PZT铁电厚膜,构成了SiO2/Si/SiO2/Ti/Pt/PZT/Ti/Pt形式的拾振器敏感元结构。基于半导体光刻技术,通过干法刻蚀电极和化学湿法刻蚀PZT厚膜等技术,成功地实现了敏感元的微图形化,解决了Pt/Ti下电极...

方华斌 刘景全... 《微细加工技术》 2005年04期 期刊

关键词: 拾振器 / PZT厚膜 / Pt/Ti电极 / 湿法化学刻蚀

下载(208)| 被引(13)

压电型微悬臂梁制备中RIE刻蚀硅工艺的研究  CNKI文献

介绍了一种压电型微悬臂梁的制作工艺流程,重点研究了其中硅的反应离子刻蚀(RIE)工艺,分析了工艺参数对刻蚀速率、均匀性和选择比的影响,提出通过适当调整气体流量、射频功率和工作气压,以加快刻蚀速率,改善均匀性,提...

董璐 方华斌... 《微细加工技术》 2006年05期 期刊

关键词: 压电型微悬臂梁 / 反应离子刻蚀 / 刻蚀速度 / 均匀性

下载(320)| 被引(5)

微拾振器压电悬臂梁结构的设计与测试  CNKI文献

提出了一种压电悬臂梁结构的微拾振器,利用有限元法计算了结构的固有频率和电压输出,以设计适合具体应用环境的器件结构。采用MEMS技术制备了器件原型并进行了试验测试。研究表明,所制备的器件在加速度为9.8 m/s2的低...

方华斌 董璐... 《微细加工技术》 2006年05期 期刊

关键词: 微拾振器 / 压电悬臂梁 / 有限元模拟 / 固有频率

下载(227)| 被引(2)

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