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光学元件表面缺陷的显微散射暗场成像及数字化评价系统  CNKI文献

根据国际ISO10110-7的表面缺陷标准及惯性约束聚变(ICF)工程标准,提出了一种新颖的光学元件表面缺陷的光学显微散射成像及数字化评价系统,多束光纤冷光源呈环状分布并以一定角度斜入射到数毫米视场的被检表面,形成适合...

杨甬英 陆春华... 《光学学报》 2007年06期 期刊

关键词: 光学测量 / 表面疵病 / 显微散射成像 / 形态学

下载(892)| 被引(75)

超光滑表面瑕疵的光学显微成像和数字化评价系统  CNKI文献

提出了利用一种特殊设计的LED多光束环状分布照明光源,与显微镜组成超光滑表面元件缺陷检测的光学显微散射成像系统,获取适合于数字图像二值化处理的暗背景上的亮瑕疵图像。利用X、Y两方向的精密移导系统对表面实施子...

杨甬英 高鑫... 《红外与激光工程》 2010年02期 期刊

关键词: 表面缺陷 / 光学测量 / 显微散射成像 / 图像拼接

下载(287)| 被引(17)

可用于瞬态激光波前畸变实时检测技术的研究  CNKI文献

激光核聚变研究是人类解决未来能源危机及改善严重环境污染的一项重大举措。该研究需要光机电等多学科的技术支持以保证高能激光束具有很好的光束空间特性。而激光系统波前畸变检测则是激光束空间参数诊断中的一个主要...

杨甬英 导师:卓永模 浙江大学 2002-06-01 博士论文

关键词: 干涉术 / 径向剪切干涉仪 / 空间位相调制 / 付氏变换

下载(592)| 被引(16)

非球面光学元件的面形检测技术  CNKI文献

介绍了非球面各加工阶段的面形检测技术及其最新进展,重点介绍了非球面精密抛光期的面形检测技术,并对其中的非零位子孔径拼接干涉检测法和部分补偿法进行了详细阐述,提出了适用于大口径、深度非球面面形检测的组合干...

师途 杨甬英... 《中国光学》 2014年01期 期刊

关键词: 非球面检测 / 非球面加工 / 组合干涉检测 / 自由曲面

下载(2303)| 被引(74)

宽范围大曲率半径数字化非接触测量系统  CNKI文献

本文提出了一种新颖的利用激光偏振干涉体系产生非接触的牛顿环并与 CCD图像处理技术相结合的测量方法。可测量的曲率半径为 1~ 2 5m,具有很宽的测量范围 ;非接触测量不会损坏高精度表面 ;并可测试任意反射率的凹、凸...

杨甬英 卓永模 《仪器仪表学报》 2002年01期 期刊

关键词: 干涉仪 / 曲率半径 / 干涉图分析 / CCD列阵

下载(177)| 被引(19)

用于超光滑表面无损检测的光学轮廓仪  CNKI文献

所述的光学轮廓仪是利用双焦透镜产生的偏振光束经被检面反射后形成了一共路干涉体系 ,因此该干涉体系可对超光滑表面做非接触无损检测而无需标准参考面 ;同时 ,利用双通道电子共模抑制技术可有效地抑制系统的各类噪声...

杨甬英 卓永模... 《光电工程》 1999年06期 期刊

关键词: 光学轮廓仪 / 无损检测 / 表面光洁度测量 / 偏振干涉术

下载(332)| 被引(15)

一种新型的大曲率半径实时检测系统  CNKI文献

在分析各种大曲率半径测量方法的基础上 ,提出了一种新颖的利用干涉体系产生非接触的牛顿环并与 CCD图像处理技术相结合的新方法。其可测量的曲率半径从 1~ 2 5 m,具有很宽的测量范围 ,而整个测试体系结构却非常紧凑...

杨甬英 陈坚 《光电工程》 2001年03期 期刊

关键词: 干涉仪 / 曲率半径测量 / 图像处理 / 非接触测量

下载(214)| 被引(10)

动态变化场的高速高精度实时干涉检测  CNKI文献

利用数字化的干涉技术对受温度、压力、湍流等具有大畸变的动态变化场波前实现高速高精度实时化的检测是非常需要的。介绍了一种基于空间位相调制的径向剪切干涉系统,配以具有连续与脉冲光于一体的半导体泵浦固体激光...

杨甬英 刘东... 《红外与激光工程》 2008年05期 期刊

关键词: 剪切干涉仪 / 高速图像采集系统 / 流场 / 脉冲激光

下载(163)| 被引(4)

实时扫描非接触测量表面微观轮廓仪  CNKI文献

介绍了一种利用非接触式方法实时扫描测量精密元件表面轮廓的技术,同时研制了计算机自动控制的多功能表面轮廓仪.该仪器可对各种超光滑球面及平面进行平移和旋转的实时扫描采样;利用干涉共模抑制技术,有效抑制了各...

杨甬英 徐敏... 《浙江大学学报(自然科学版)》 1999年03期 期刊

关键词: 干涉术 / 轮廓仪 / 粗糙度

下载(196)| 被引(10)

超光滑表面无损检测轮廓仪  CNKI文献

本文所述的超光滑表面无损检测轮廓仪,无需标准参考面;利用双焦干涉作非接触无损检测;利用干涉及电子共模抑制技术可有效地抑制各类噪音;计算机控制测量,即时给出表面粗糙度参数,与WYKO比对,结果吻合.仪器...

杨甬英 卓永模 《光子学报》 1999年04期 期刊

关键词: 干涉术 / 轮廓仪 / 粗糙度 / 表面轮廓

下载(155)| 被引(10)

基于日盲区紫外成像的无人机着陆引导技术研究  CNKI文献

针对无人机(UAV)着陆时机身相对于着陆点的精确位姿参数的需求,设计了一套基于日盲区紫外成像的无人机自主着陆引导系统。利用日盲区紫外成像技术对典型特征的紫外信标点进行成像,基于摄像机透视投影变换以及直接线性...

张磊 杨甬英... 《中国激光》 2016年07期 期刊

关键词: 机器视觉 / 无人机着陆引导系统 / 位姿测量 / 日盲区紫外

下载(269)| 被引(14)

大气遥感高光谱分辨率激光雷达研究进展  CNKI文献

高光谱分辨率激光雷达由于可实现对大气参数的精确反演,在大气遥感领域具有较好的发展前景。介绍了高光谱分辨率激光雷达探测气溶胶、大气温度以及风速的基本原理以及目前国内外的研究进展,并重点介绍了高光谱分辨率激...

刘东 杨甬英... 《红外与激光工程》 2015年09期 期刊

关键词: 高光谱分辨率激光雷达 / 气溶胶探测 / 温度测量 / 风速测量

下载(895)| 被引(25)

激光扫描力显微轮廓术的研究  CNKI文献

本文论述了一种用于超高分辨率精密检测技术的激光扫描力显微镜(SFM)。它是以一钨丝微探针作为力传感器,用双焦干涉仪作为光探针来检测样品扫描时微探针受力产生的偏摆。微探针以谐频振动,当样品与探针距离变化...

杨甬英 卓永模... 《仪器仪表学报》 1996年S1期 期刊

关键词: 双焦透镜 / 干涉仪 / 光探针 / 激光扫描

下载(72)| 被引(7)

点衍射干涉检测技术  CNKI文献

本文介绍了点衍射干涉仪不同发展阶段的特点和应用。点衍射干涉仪由波长量级的针孔产生高质量的球面波作为参考波前,能够得到衍射极限性能的分辨率。按照不同的光路特点,点衍射干涉仪可分为点衍射共路干涉和点衍射非共...

李瑶 杨甬英... 《中国光学》 2017年04期 期刊

关键词: 点衍射 / 光纤点衍射 / 针孔点衍射 / 波前测量

下载(337)| 被引(9)

偏振共路扫描剪切干涉仪及其二维剪切波面重构的研究  CNKI文献

本文在共路剪切实时干涉仪的基础上,着重分析了利用斜率法和网格变维法进行二维(?)面重构的算法,并给出了计算机模拟计算结果。

杨甬英 卓永模 《浙江大学学报(自然科学版)》 1991年01期 期刊

关键词: 剪切 / 干涉仪 / 干涉术 / 非球面

下载(73)| 被引(6)

大口径光学元件表面灰尘与麻点自动判别  CNKI文献

在大口径光学元件表面疵病初检时,灰尘和麻点由于形态类似,不易区分。针对该问题,提出了一种基于模式识别理论的灰尘麻点判别方法。该判别方法以既有的疵病检测系统为基础,根据灰尘麻点的暗场成像特点,选取了合适的特...

李璐 杨甬英... 《强激光与粒子束》 2014年01期 期刊

关键词: 表面疵病 / 灰尘 / 麻点 / 模式识别

下载(281)| 被引(14)

基于滤波差分的双阈值弱划痕提取算法  CNKI文献

高质量光学元件表面缺陷中存在一些深度较浅或者宽度较窄的划痕,在暗场成像检测中,该类划痕产生的散射光灰度值很低,甚至淹没在背景光中,很难被目视或常规机器视觉识别,造成划痕缺陷的漏检。针对该问题,以既有的疵病检...

李晨 杨甬英... 《强激光与粒子束》 2015年07期 期刊

关键词: 弱划痕缺陷 / 双阈值 / 频域滤波 / 背景差分

下载(213)| 被引(10)

光学元件表面缺陷散射光成像数值模拟研究  CNKI文献

对于精密光学元件表面微米亚微米量级的表面缺陷,光在缺陷处会产生强烈的衍射和散射效应,其在像面的分布情况不能简单地使用几何光学进行解释。采用时域有限差分方法(FDTD)建立了光学元件截面为三角形、矩形的表面缺陷...

王世通 杨甬英... 《中国激光》 2015年07期 期刊

关键词: 测量 / 表面光学 / 散射 / 表面缺陷

下载(459)| 被引(15)

激光双焦干涉球面轮廓仪实时扫描及数据处理系统  CNKI文献

介绍了一种双焦干涉球面扫描轮廓仪,该仪器利用计算机及自动控制系统对曲率半径从±5mm~±30mm的球面进行扫描驱动及采样,并将球面轮廊信号通过A/D转换及数据处理后显示打印表面轮廓参数。整个系统功能齐全...

杨甬英 卓永模... 《光学仪器》 1994年Z1期 期刊

关键词: 双焦干涉 / 轮廓仪 / 实时扫描 / 数据处理

下载(79)| 被引(2)

激光双焦干涉球面微观轮廓仪  CNKI文献

激光双焦干涉球面微观轮廓仅是一种高灵敏度的表面粗糙度测量仪器。本文描述了利用激光双焦透镜偏振共路干涉系统及计算机自动控制系统对各种球面进行实时扫描、采样及数据处理的新技术、新仪器。实测表明该仪器的纵向...

杨甬英 卓永模... 《现代科学仪器》 1995年04期 期刊

关键词: 双焦透镜 / 共路干涉 / 轮廓仪

下载(78)| 被引(1)

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