作  者

不  限

  • 不  限
  • 1915年
  • 1949年
  • 1979年

不  限

  • 不  限
  • 1979年
  • 1949年
  • 1915年
  • 全  文
  • 主  题
  • 篇  名
  • 关键词
  • 作  者
  • 作者单位
  • 摘  要
  • 参考文献
  • 基  金
  • 文献来源
  • 发表时间
  • 中图分类号

全  文

不  限

  • 不  限
  • 1915年
  • 1949年
  • 1979年

不  限

  • 不  限
  • 1979年
  • 1949年
  • 1915年
  • 全  文
  • 主  题
  • 篇  名
  • 关键词
  • 作  者
  • 作者单位
  • 摘  要
  • 参考文献
  • 基  金
  • 文献来源
  • 发表时间
  • 中图分类号
设置
  • 关闭历史记录
  • 打开历史纪录
  • 清除历史记录
引用
筛选:
文献类型 文献类型
学科分类 学科分类
发表年度 发表年度
作者 作者
机构 机构
基金 基金
研究层次 研究层次
排序:
显示:
CNKI为你找到相关结果

智能优化技术在CMP铜抛光材料与工艺参数优化中的应用研究  CNKI文献

随着GLSI的高度集成化和立体化,互连线的特征尺寸越来越小,对平坦化的要求越来越高,在多层铜布线的化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing,CMP)过程中,抛光液和抛光工艺是影响抛光后晶圆的表面质量和平坦化性能...

樊世燕 导师:刘玉岭 河北工业大学 2015-11-01 博士论文

关键词: 化学机械平坦化 / 抛光液 / 抛光速率 / 片内非均匀性

下载(314)| 被引(2)

优化CMP碱性铜抛光液配比的新方法  CNKI文献

采用响应曲面法(RSM)和人工神经网络(ANN)分别对化学机械抛光(CMP)碱性铜抛光液的主要成分(Si O2磨料、FA/O型螯合剂、H2O2氧化剂)进行优化研究。采用RSM优化,当抛光液中磨料、氧化剂和FA/O型螯合剂的体积分数分别为1...

樊世燕 刘玉岭... 《半导体技术》 2015年03期 期刊

关键词: 抛光液 / 化学机械抛光(CMP) / 响应曲面法(RSM) / 人工神经网络(ANN)

下载(270)| 被引(7)

A quantitative investigation of the influence with the...  CNKI文献

The influence of the components of an alkali polishing slurry and the mutual influences on the Cu polishing rate were investigated by a CMP polishing rate prediction model established with a modified...

樊世燕 刘恩海... 《Journal of Semiconductors》 2015年09期 期刊

关键词: polishing / slurry / polishing / rate

下载(48)| 被引(3)

Next generation barrier CMP slurry with novel weakly a...  CNKI文献

To strengthen the device performance with the pattern wafer by enhancing the Cu polishing rate and improve the surface roughness with the Cu lines, a new weakly alkaline chelating agent with a barrie...

樊世燕 刘玉岭... 《Journal of Semiconductors》 2015年01期 期刊

关键词: barrier / CMP / chelating / agent

下载(57)| 被引(2)

多维序列模式挖掘算法在广播收听率分析中的研究与应用  CNKI文献

随着数据库和计算机网络的广泛应用,加上使用先进的自动数据生成和采集工具,人们所拥有的数据量急剧增大。数据挖掘技术正是目前解决“数据爆炸”但“信息贫乏”的一种有效方法。目前,在广播收听调查领域,从上个世纪3...

樊世燕 导师:彭玉青 河北工业大学 2007-11-01 硕士论文

关键词: 数据挖掘 / 多维序列模式 / 时态约束 / 广播媒体数字化

下载(111)| 被引(2)

基于改进残差结构的肺结节检测方法  CNKI文献

针对肺结节检测方法中网络结构复杂所导致的模型计算量大、过拟合的问题,提出了一种结合深度可分离卷积和预激活的改进残差网络结构,将提出的网络结构应用于肺结节检测模型。该模型以目标检测网络Faster RCNN为基础,采...

石陆魁 马红祺... 《计算机应用》 2020年07期 期刊

关键词: 肺结节检测 / U-Net / Faster / R-CNN

下载(281)| 被引(3)

新型表面活性剂对低磨料铜化学机械抛光液性能的影响  CNKI文献

介绍了一种用于铜膜化学机械抛光的多元胺醇型非离子表面活性剂。研究了该表面活性剂对抛光液表面张力、黏度、粒径、抛光速率和抛光后铜的表面状态的影响。抛光液的基本组成和工艺条件为:SiO2 0.5%,H2O2 0.5%,FA/OII...

李炎 刘玉岭... 《电镀与涂饰》 2014年08期 期刊

关键词: / 化学机械抛光 / 非离子表面活性剂 / 表面张力

下载(259)| 被引(13)

Application of a macromolecular chelating agent in che...  CNKI文献

The mechanism of the FA/O chelating agent in the process of chemical mechanical polishing(CMP) is introduced. CMP is carried on a 300 mm copper film. The higher polishing rate and lower surface rough...

李炎 刘玉岭... 《Journal of Semiconductors》 2014年01期 期刊

关键词: FA/O / chelating / agent / more

下载(97)| 被引(20)

铜膜化学机械抛光工艺优化  CNKI文献

对d为300mm blanket铜膜进行了低压低浓度化学机械抛光实验,分析了抛光工艺参数和抛光液组分对铜膜去除速率及其非均匀性的影响。通过实验表明,当抛光压力为13.780kPa,抛光液流量为175mL/min,抛光机转速为65r/min,0.5...

李炎 刘玉岭... 《电镀与精饰》 2014年07期 期刊

关键词: 化学机械抛光 / 碱性抛光液 / 磨料 / 片内速率非均匀性

下载(135)| 被引(3)

增强的Netflow数据采集系统设计与实现  CNKI文献

基于端口号进行网络流量分析的Netflow技术无法准确地回答网络流分别由哪些应用协议组成及其比例等问题,也不能提供web用户行为数据来反映用户对大多数网站的访问情况。为改进上述缺陷,提出一种增强的Netflow数据采集...

刘恩海 刘微... 《计算机工程与设计》 2015年05期 期刊

关键词: Netflow / 流量分析 / 深度包检测 / 协议识别

下载(93)| 被引(1)

基于程序切片的可达路径选择的研究  CNKI文献

测试作为软件开发过程中的一个重要环节,是保证软件质量的重要保证。对白盒测试(结构测试) 和测试用例的生成来说,如何选择测试路径直接影响着测试的充分性和有效性,以及测试用例的质量,单纯地测试程序难以达到良好的...

王磊 马建红... 2007北京地区高校研究生学术交流会通信与信息技术会议论文集... 2008-01-01 中国会议

关键词: 白盒测试 / 静态切片 / 可达路径

下载(77)| 被引(1)

综合特征的图像检索方法研究  CNKI文献

在基于内容的图像检索(CBIR)中,不同的图像特征反映了图像不同的内在特性,如何有效地组织这些特征来提高系统的检索性能是一个值得研究的课题。本文对颜色特征的累计直方图法,纹理特征的共生矩阵方法,形状特征的形状无...

贾莲 彭玉青... 2007北京地区高校研究生学术交流会通信与信息技术会议论文集... 2008-01-01 中国会议

关键词: 基于内容的图像检索 / 颜色 / 纹理 / 形状

下载(100)| 被引(0)

成膜剂硅溶胶的黏度对涂层性能的影响  CNKI文献

涂层黏度实验证实,硅溶胶黏度越大,所制备涂层的附着力越大,耐腐蚀性能越强。通过对硅溶胶的物理化学性能研究可知,硅溶胶体积分数的增加会导致体系pH值的上升,当体积分数为10%时,pH值达到最大值9.91。当pH值为9.7时,...

李炎 刘玉岭... 2014年全国无机硅化物行业年会暨行业“十三五”发展规划研讨... 2014-11-01 中国会议

关键词: 硅溶胶 / 黏度 / 表面粗糙度

下载(37)| 被引(0)

否定选择算法中高性能检测器的生成  CNKI文献

将自体集合依据r值分段提取出自体集合的补集,将这些补集连接成检测器集合的机制仍然存在大量冗余检测器,增大了时间和空间消耗,降低了检测器的性能和检测效率。为生成覆盖最大非自体空间的最小检测器集合,利用集合间...

刘恩海 宋瑞平... 《计算机工程与设计》 2014年08期 期刊

关键词: 否定选择算法 / 检测器 / 划分与覆盖 / 覆盖率

下载(51)| 被引(4)

成膜剂硅溶胶的黏度对涂层性能的影响  CNKI文献

涂层黏度实验证实,硅溶胶黏度越大,所制备涂层的附着力越大,耐腐蚀性能越强。通过对硅溶胶的物理化学性能研究可知,硅溶胶体积分数的增加会导致体系pH值的上升,当体积分数为10%时,pH值达到最大值9.91。当pH值为9.7时,...

李炎 刘玉岭... 《粘接》 2014年07期 期刊

关键词: 硅溶胶 / 黏度 / 表面粗糙度

下载(158)| 被引(1)

水体X-γ剂量率测量中宇宙射线的影响研究  CNKI文献

为确保水体X-γ剂量率测量数据的准确和有效,对自主研发的水体X-γ剂量率探测器进行了水环境影响实验。结果表明:宇宙射线对测量影响随深度的变化而变化,当水深大于1.5 m时,宇宙射线影响可忽略不计;自主研发的探测器具...

李红志 王磊... 《核电子学与探测技术》 2015年10期 期刊

关键词: X-γ剂量率 / 宇宙射线 / 水体 / 水下测量

下载(72)| 被引(1)

乙二醛合成反应动力学研究  CNKI文献

本文通过对乙二醛合成反应动力学的研究,得到了不同温度下各反应的化学反应速率常数。根据阿伦尼乌斯方程对上述化学反应速率常数进行线性拟合分析,最终得到了不同阶段化学反应速率的活化能表达式,具体表达为:乙二醛的...

李炎 王傲尘... 《化工中间体》 2014年02期 期刊

关键词: 乙二醛 / 化学反应动力学 / 线性拟合 / 反应活化能

下载(144)| 被引(0)

Benzotriazole removal on post-Cu CMP cleaning  CNKI文献

This work investigates systematically the effect of FA/O II chelating agent and FA/O I surfactant in alkaline cleaning solutions on benzotriazole(BTA) removal during post-Cu CMP cleaning in GLSI unde...

唐继英 刘玉岭... 《Journal of Semiconductors》 2015年06期 期刊

关键词: chelating / agent / non-ionic / surfactant

下载(36)| 被引(2)

关于广播收听调查领域中数据处理问题的研究  CNKI文献

随着数据库和计算机网络的广泛应用,加上使用先进的自动数据生成和采集工具,人们所拥有的数据量急剧增大。在广播收听调查领域,广播媒体数字化成为一种趋势、一种必然。本文针对在广播媒体收听调查领域中的数据处理问...

樊世燕 彭玉清... 2007北京地区高校研究生学术交流会通信与信息技术会议论文集... 2008-01-01 中国会议

关键词: 广播媒体数字化 / 数据挖掘 / 序列模式

下载(28)| 被引(0)

化工中间体乙二醛的最佳合成工艺探索  CNKI文献

乙二醛作为一种重要的化工中间体,用途涉及到诸多行业,但是其合成工艺一直不太成熟。本文通过研究控制乙二醛合成反应的因素对乙二醛产率和产率选择性的影响,得出了乙醛硝酸氧化法制备乙二醛的最佳工艺流程,并详细的分...

李炎 李洪波... 《化工中间体》 2013年12期 期刊

关键词: 乙二醛 / 氧化法 / 醋酸 / 主反应

下载(104)| 被引(0)

学术研究指数分析(近十年)详情>>

  • 发文趋势
时间的形状