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大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计  CNKI文献

针对衍射光栅刻划机开环控制的定位精度不能满足指标要求的问题,在刻划机已有的状态和结构下,设计了微定位系统的控制器。首先,介绍了衍射光栅刻划机,分析了微定位系统及其定位精度指标。然后,运用系统辨识的方法,设计...

糜小涛 于宏柱... 《仪器仪表学报》 2015年02期 期刊

关键词: 微定位系统 / 控制器设计 / 数学模型 / 定位精度

下载(235)| 被引(7)

大型衍射光栅刻划机拉杆结构的分析与改进  CNKI文献

由于大型衍射光栅刻划机刻划系统的双拉杆结构不能使其满足精度指标要求,本文设计了一套单拉杆结构。讨论了石英导轨分度方向弯曲误差产生的原因及其减小该误差的方法,分析和比较了两种拉杆结构的鞍型滑块的受力情况。...

糜小涛 于宏柱... 《光学精密工程》 2015年03期 期刊

关键词: 光栅刻划机 / 衍射光纤 / 双拉杆结构 / 单拉杆结构

下载(123)| 被引(8)

光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法  CNKI文献

衍射波前质量是衡量刻划光栅性能的重要指标之一,光栅刻划机若存在阿贝误差,将直接影响刻线位置精度,从而影响光栅的波前质量。建立了刻划机阿贝误差与光栅衍射波前质量的物理模型,并分析了该误差对波前质量的影响。针...

糜小涛 于海利... 《中国激光》 2017年09期 期刊

关键词: 衍射光栅 / 阿贝误差 / 衍射波前 / 刻线位置误差

下载(146)| 被引(8)

大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校...  CNKI文献

衍射光栅是一种纳米级精度的光学元件,其兼具色散、偏振和相位匹配等性能,广泛应用于国防、军事、航空航天、天文以及民用等领域。衍射光栅制造技术是当今最为精密的技术之一。对于槽形要求苛刻的低刻线密度红外激光光...

糜小涛 导师:万秋华 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所) 2018-06-01 博士论文

关键词: 衍射光栅 / 光栅刻划机 / 微定位系统 / 控制器设计

下载(310)| 被引(5)

电液混合驱动五轴仿真转台结构设计及静动态特性研究  CNKI文献

五轴仿真转台主要用于制导系统的半实物仿真,其性能的优劣直接关系到飞行器或制导武器的仿真精度。因此,对五轴仿真转台的研究有着重要的现实意义。 本文在查阅了国内外相关资料的基础上,综述了转台的研究背景、...

糜小涛 导师:许宏光 哈尔滨工业大学 2012-07-01 硕士论文

关键词: 五轴仿真转台 / 结构设计 / 综合空间误差 / 控制器设计

下载(257)| 被引(9)

圆光栅偏心对仿真转台角位置精度的影响  CNKI文献

为了满足仿真转台角位置精度的指标要求,减小圆光栅安装偏心引起的角位置误差,本文提出了运用最小二乘拟合对该误差进行修正的方法。首先介绍了仿真转台的工作原理并给出了角位置精度的技术指标,然后理论分析了圆光栅...

糜小涛 高胜英 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2014年03期 期刊

关键词: 仿真转台 / 圆光栅 / 测角误差 / 误差修正

下载(156)| 被引(13)

仿真转台机械台体固有频率与系统频带的关系  CNKI文献

研究了机械台体对转台频响特性的影响。首先要求出机械台体的固有频率,基于模态分析理论,建立了转台有限元模型,得出前五阶振型的固有频率和振型,论证了转台机械台体设计将直接影响频响指标。

糜小涛 许宏光... 《长春工业大学学报(自然科学版)》 2013年02期 期刊

关键词: 仿真转台 / 机械台体 / 频响特性 / 模态分析

下载(119)| 被引(5)

大型衍射光栅刻划机刀架导轨设计  CNKI文献

根据衍射光栅刻划机刀架导轨的精度指标要求以及刻划机的整体结构,设计了刀架导轨并建立了三维模型。运用ANSYS软件进行了刀架导轨静力学分析,分析结果表明,设计的刻划机刀架导轨满足其精度指标要求。

糜小涛 《长春工业大学学报(自然科学版)》 2014年01期 期刊

关键词: 衍射光栅刻划机 / 刀架导轨 / 静力学分析

下载(48)| 被引(2)

大尺寸天文光栅铝膜均匀性研究  CNKI文献

天文观测所使用的光栅为大尺寸中阶梯光栅,其制作方法是利用金刚石刻刀对铝膜进行加工,形成光栅槽形,所以铝膜的质量能够直接影响光栅的性能。铝膜的厚度均匀性是判断铝膜质量的重要指标,以现有的内径1.8米镀膜设备为...

周敬萱 糜小涛... 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2019年01期 期刊

关键词: 天文光栅 / 蒸气发射特性 / 铝膜厚度均匀性

下载(59)| 被引(0)

仿真转台用电液伺服系统低速性研究及实现  CNKI文献

详细讨论了仿真转台用液压伺服系统低速性的影响因素,以及其实现的可能性。通过实验研究验证了该液压伺服系统具有良好的低速性,满足系统设计时的指标要求。

曲展龙 糜小涛... 《液压与气动》 2013年09期 期刊

关键词: 仿真转台 / 电液伺服系统 / 低速性

下载(60)| 被引(6)

大光栅刻划机工作台的摆角矫正机构研制  CNKI文献

大光栅刻划机若存在摆角误差,将直接影响刻划光栅的波前质量。首先,计算得到李特洛设置下的摆角误差与波前质量的映射关系。其次,论述了双压电触动器校正摆角的工作原理,并设计了摆角测量光路,测量在该结构下工作台的...

杨超 于海利... 《仪器仪表学报》 2014年05期 期刊

关键词: 光栅刻划机 / 刻划光栅 / 摆角误差 / 压电触动器

下载(162)| 被引(9)

光栅刻划机导向导轨支撑结构刚度优化设计  CNKI文献

运用有限元手段对刀桥导轨的刚度进行了有限元分析,得到了刚度方面的分析结果和模态分析结果,并在不同位置加40N载荷进行实验验证。在此基础上,对原有的结构进行一体式结构优化设计。有限元分析结果表明,刀桥底座刚度...

姚雪峰 糜小涛... 《长春工业大学学报(自然科学版)》 2014年05期 期刊

关键词: 光栅刻划机 / 刚度 / 有限元分析 / 模态

下载(49)| 被引(1)

基于波前法的光栅拼接误差检测及计算方法  CNKI文献

光栅拼接法是目前制作大尺寸平面衍射光栅的重要方法之一,而拼接误差是评价拼接光栅是否能够使用的重要指标之一。实时定量测量拼接误差,能够实现对拼接误差的自动闭环调整,通过实时指导拼接提高光栅拼接的精度。建立...

卢禹先 齐向东... 《光学学报》 2016年05期 期刊

关键词: 衍射 / 光栅拼接 / 干涉仪 / 衍射波前

下载(145)| 被引(9)

大尺寸反射式光栅拼接技术的研究进展  CNKI文献

大尺寸反射式光栅是提高天文光谱仪分辨率和啁啾脉冲放大系统输出能量的核心元件。随着天文和激光核聚变技术的发展,大尺寸反射式光栅的研制已成为国内外学者研究的热点。相较于单块大尺寸反射式光栅的研制,拼接法以其...

杨国军 齐向东... 《光学精密工程》 2019年03期 期刊

关键词: 光栅拼接 / 误差检测 / 误差分离 / 相位校正

下载(143)| 被引(3)

光栅复制拼接光路中入射光角度对拼接误差的影响  CNKI文献

设计了一种基于干涉检验法的复制拼接光栅测量光路。针对光栅复制拼接光路中入射光角度难以精确测量的问题,分析了光栅拼接实验中入射光角度对光栅拼接的影响。建立了光栅拼接误差模型,分析了五维拼接误差的容限要求。...

丛敏 齐向东... 《光学精密工程》 2017年12期 期刊

关键词: 光栅拼接 / 光栅复制 / 拼接误差 / 误差分析

下载(75)| 被引(2)

高精度双V型导轨的研磨与检测技术  CNKI文献

对于普通精度的双V型导轨,现代机床加工行业已有成熟的技术,但对于大型光栅刻划机所用1 560mm导轨所要求的高精度(0.2″)仍难以满足要求。文中介绍了一种高精度加工方案,对传统加工技术制造的成品双V型导轨进一步研磨...

宋楠 姚雪峰... 《长春工业大学学报(自然科学版)》 2013年02期 期刊

关键词: 双V型导轨 / 直线度 / 平行度 / 研磨

下载(143)| 被引(5)

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