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共轭距可变的光刻投影物镜光学设计  CNKI文献

一种用于印刷电路板(PCB)的激光直接成像(LDI)光刻设备,需要加工高密度互连(HDI)基板的厚度变化范围为0.025~3mm,为此设计了一种共轭距可变的光刻投影物镜。采用双远心光路结构,通过压缩物方和像方远心度误差的办法,可...

蔡燕民 王向朝... 《中国激光》 2014年04期 期刊

关键词: 光学设计 / 成像系统 / 光刻投影物镜 / 远心光路

下载(392)| 被引(13)

光刻机照明光瞳测量用傅里叶变换物镜光学设计  CNKI文献

浸液光刻投影物镜的数值孔径目前已经达到1.35,这对与之匹配的照明系统光瞳测量提出了十分苛刻的需求,为此设计了一种用于照明光瞳测量的傅里叶变换物镜。分析了傅里叶变换物镜应该满足的畸变要求,并针对照明光瞳测量...

蔡燕民 王向朝... 《中国激光》 2015年04期 期刊

关键词: 光学设计 / 成像系统 / 傅里叶变换物镜 / 正弦条件

下载(270)| 被引(4)

用于ArF光刻机偏振照明系统的沃拉斯顿棱镜的设计  CNKI文献

ArF光刻机偏振照明系统中需要采用偏振器件(沃拉斯顿棱镜),根据传统技术选用在193nm波长透明材料设计沃拉斯顿棱镜,其分束角较小,或者分束角大时棱镜较长。为了解决这些实际问题,利用折射定律分析推导了由正晶体构成沃...

蔡燕民 王向朝... 《中国激光》 2014年06期 期刊

关键词: 光学器件 / 沃拉斯顿棱镜 / 石英晶体 / 氟化镁晶体

下载(196)| 被引(8)

空间激光通信系统进展  CNKI文献

描述了空间激光通信的特点 ,简单介绍了国际上几个空间激光通信发展先进国家在激光通信领域的发展动态 ,指出了空间激光通信的发展趋势。

蔡燕民 陈刚... 《激光与光电子学进展》 2000年05期 期刊

关键词: 空间激光通信 / 卫星通信 / 星间链路

下载(503)| 被引(72)

155Mbits/s大气传输光通信系统及其测试  CNKI文献

研制了通信速率达 155Mbits/ s的大气传输光通信系统 ,传输距离为 2 km,采用光纤输入、光纤输出方式。介绍了该系统的设计考虑、基本原理、系统组成等 ,总结了长期外场实验的结果 ,该系统具有一定的实用价值与市场潜力...

蔡燕民 陈刚... 《中国激光》 2000年11期 期刊

关键词: 光通信 / 半导体激光器 / 误码率 / 光学系统

下载(253)| 被引(63)

波分复用系统中的交错复用器(Interleaver)技术  CNKI文献

鉴于波分复用技术已成为光纤通信的发展方向,介绍几种新型的交错复用器的原理、结构等情况,对各种器件进行了比较。

蔡燕民 陈高庭... 《激光与光电子学进展》 2002年01期 期刊

关键词: 复用/解复用器 / 交错复用器 / 光纤光栅 / 光纤马赫-陈德尔干涉仪

下载(229)| 被引(15)

用于DWDM系统的双折射型Interleaver原理分析  CNKI文献

介绍了交叉复用器 (Interleaver)在密集波分复用 (DWDM)光纤通信系统中的作用 ,利用各向异性晶体的双折射和偏振光的干涉分析了双折射型Interleaver器件的原理 ,给出了一种双折射型Interleaver与薄膜滤波器混合结构的...

蔡燕民 王昕歌... 《中国激光》 2001年11期 期刊

关键词: 交叉复用器 / 密集波分复用 / 双折射

下载(159)| 被引(23)

立方角锥棱镜的有效反射区  CNKI文献

定义了立方角锥棱镜的有效反射区 ,证明了立方角锥棱镜底面角部区域 (即非有效反射区 )入射光与出射光不平行 ,并且在入射光垂直棱镜底面入射情况下计算得有效反射区的面积为底面的三分之二。

蔡燕民 陈刚... 《光学技术》 2000年03期 期刊

关键词: 立方角锥棱镜 / 反射

下载(285)| 被引(18)

基于偏振光干涉仪的Interleaver解复用器实验研究  CNKI文献

为实现更窄信道间隔的密集波分复用 ,提出了一种基于偏振光干涉仪的新型Interleaver解复用器 ,分析了结构组成与基本工作原理 ,对其进行了初步的测试实验 ,该器件所分开的DWDM系统两组波长功率均衡 ,隔离度分别为 1 0...

蔡燕民 赵岭... 《中国激光》 2003年03期 期刊

关键词: 光纤通信技术 / 密集波分复用 / 偏振光干涉仪 / 双折射

下载(119)| 被引(6)

光纤波分复用通信系统中的双向交错传输技术  CNKI文献

鉴于波分复用(WDM)技术已成为光纤通信的发展方向,本文综述了双向交错传输技术。由于相邻信道之间的相位失匹配,它是抑制四波混频的有效手段;采用适当的放大技术可以抑制瑞利背向散射;另外介绍了偏振位交错复用传...

蔡燕民 陈高庭... 《激光与光电子学进展》 2002年03期 期刊

关键词: 双向交错传输 / 四波混频 / 瑞利背向散射 / 串扰

下载(71)| 被引(2)

C波段偏振光干涉仪型交错滤波器实验研究  CNKI文献

为实现更窄信道间隔的密集波分复用 (DWDM) ,设计了一种基于偏振光干涉仪的交错滤波器 (in-terleaver)。该器件可以把 10 0 GHz信道间隔的 DWDM信号光波分成两组 2 0 0 GHz间隔信号 ,各信道功率均衡 ,与 ITU- T建议的...

蔡燕民 赵岭... 《光电子·激光》 2002年07期 期刊

关键词: 密集波分复用(DWDM) / 双折射 / 交错滤波器(interleaver) / 干涉

下载(53)| 被引(1)

空间激光通信技术若干问题的讨论  CNKI文献

文中讨论了卫星间和星地间激光通信技术方案的若干问题。从背景噪声、体积、质量、器件性能和可行性角度 ,比较分析了激光波段的选择。 80 0和 1550nm波段的半导体激光器具有体积小、质量轻、效率高的优点。与可见波段...

陈刚 蔡燕民... 《红外与激光工程》 2000年03期 期刊

关键词: 激光技术 / 空间通信 / 光纤通信

下载(392)| 被引(51)

磁场特性对光纤光栅波长磁调谐的影响  CNKI文献

本文对光纤光栅波长磁调谐中的磁场特性作了定性的分析 ,提出了 2种不同的磁调谐方法 ,并从理论和实验上加以比较 ,证实了用永磁铁和电磁线圈调谐的线性度优于用 2个电磁线圈调谐 ;但在灵敏度方面 ,后者优于前者

赵岭 蔡燕民... 《光电子·激光》 2002年02期 期刊

关键词: 光纤光栅 / 调谐 / 线性度 / 灵敏度

下载(43)| 被引(0)

光刻机偏振照明系统偏振态测量实验结果  CNKI文献

偏振照明系统是浸液光刻机增强分辨率的标准配置,针对浸液光刻机偏振照明系统在安装集成时偏振参数检测的需求,本课题组设计制造了一套偏振照明系统偏振态检测装置,为偏振照明系统安装集成时的故障诊断、性能评估等提...

蔡燕民 步扬... 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集 2016-09-25 中国会议

关键词: 光刻机 / 照明系统 / 偏振态 / 测量实验

下载(35)| 被引(0)

光刻机照明系统偏振态测量装置  CNKI文献

半导体前道光刻技术,采用氟化氩激光和浸液技术(ArFi)、偏振照明技术、并与多重曝光技术相结合,目前已经实现2Xnm~1Xnm节点的量产,其中偏振照明技术是浸液光刻机必备的、关键的分辨率增强技术(RET)。照明光的振动方向...

蔡燕民 王向朝 第十五届全国光学测试学术交流会论文摘要集 2014-10-26 中国会议

关键词: 光刻机 / 照明系统 / 偏振态 / 测量装置

下载(47)| 被引(0)

用于DWDM系统的双折射型Inter leaver特性分析  CNKI文献

光纤通信技术现已成为现代通信系统的基本组成部分,随着国民经济的持续发展,信息交流的日益增多,语音、图像、数据等信息量成爆炸式增长,尤其是因特网的迅速崛起,对通信系统的带宽提出了更高的要求.现代高速大容量光纤...

蔡燕民 赵岭... 全国第十次光纤通信暨第十一届集成光学学术会议(OFCIO’20... 2001-10-01 中国会议

关键词: 光纤通信系统 / 介质薄膜滤波器 / Inter / leaver

下载(28)| 被引(0)

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