在深亚微米和超深亚微米集成电路中,互连线失效是影响集成电路可靠性的主要因素之一.由于在集成电路制造过程中存在着缺陷,缺陷的出现导致了集成电路可靠性的下降,尤其是出现在互连线上的丢失物缺陷加剧了互连线的电迁...
基于缺陷均匀分布的集成电路制造成品率与可靠性之间的关系... CNKI文献
在集成电路可制造性设计研究中,成品率与可靠性之间的关系模型备受人们关注.缺陷对成品率和可靠性的影响不仅与出现在芯片上的缺陷粒径大小有关而且与缺陷出现在芯片上的位置有关.本文主要考虑了出现在互连线上的金属...
随着高校连年扩招,"精英式"的高等教育已被普及式的大众教育所代替。随之而来,高等教育面临着不少新问题:在高等教育大众化背景下,本科生的入学人数急剧增加,学生在知识、能力、个性等诸多方面的差异幅度明...
本文对集成电路制造过程中的缺陷空间分布模型和IC的容错结构及其成品率 做了系统地理论研究。主要研究结果如下： 根据缺陷在圆片上的位置首先给出了每个缺陷的模糊度，然后利用圆片上的 ...
缺陷是影响集成电路成品率与可靠性的主要因素.本文在区分缺陷与故障两个概念的基础上,将缺陷区分为成品率缺陷(硬故障)、可靠性缺陷(软故障)和良性缺陷.利用关键区域的面积,给出了一个缺陷成为“硬故障”或“软故障”...
大规模集成电路 (VLSI)使亚微米特征尺寸的大面积集成电路制造以及集成数百万个器件在一芯片上成为可能。然而 ,缺陷的存在致使电路版图的拓扑结构发生变化 ,产生 IC电路连接错误 ,导致电路丧失功能 ,从而影响 IC的成...
利用关键面积的思想分析了冗余电路的成品率 ,并给出了其计算模型 .实例模拟表明 ,与传统的成品率分析方法相比 ,该模型预测 IC成品率具有更高的精度 .
大量实验表明了在集成电路 (IC)制造过程中形成的缺陷团之间具有很强的相关性 ,然而现用于划分缺陷团的方法均忽略了缺陷之间的相关性 .因此 ,得到的缺陷分布规律不能有效地反映缺陷在圆片上的分布 .为了提高IC成品率...
从缺陷造成电路故障的机理出发 ,给出了芯片故障概率和成品率的计算新模型 .利用 IC功能成品率仿真系统 XD- YES对实际电路 XT- 1成品率参数的提取 ,同时利用新模型进行计算 ,其结果与实际结果符合很好
集成电路的可靠性和成品率是制约半导体制造发展的两个主要因素 .如何表征可靠性和成品率之间的关系是一个非常重要的问题 .本文利用一种离散的成品率模型导出了二者的关系式 ,该关系式不仅考虑了线宽、线间距等版图的...
利用最优化思想描述了子单元级冗余的最优分配模型 ,用遗传算法给出了全局最优解 .该模型中考虑了影响成品率的两个因素 :缺陷的平均密度 D和支撑电路的面积占单元总面积的比率δ.通过实例分析得到 ,在D保持不变时最优...
随着VLSI芯片面积的增加和电路复杂性的增强,芯片的成品率受制造缺陷影响的概率逐渐增加。为了解决这一问题,人们将容错技术结合入集成电路设计中。要使一个系统具有较强的容错能力,必须给系统提供一定量冗余单元。本...
本文提出了一种有效的电路容错结构 ,给出了一种重组算法 .按照这种重组算法 ,对该结构的成品率进行了分析 ,并给出了其成品率的表达式 .最后 ,通过电路设计和分析说明了该容错结构的有效性 .
集成电路功能成品率的研究是集成电路可制造性工程和设计中的重要内容。本文主要对导致成品率下降的缺陷的轮廓模型和集成电路的功能成品率的研究作了简单介绍。
在半导体制造业中 ,IC的成品率和可靠性 (Y/R)是倍受关注的两个问题 .研究表明它们之间存在着显著的相关性 .为了表征这种相关性 ,本文从缺陷造成互连线开路的机理出发 ,分析了成品率关键面积和可靠性关键面积 ,提出了...
在 IC的制造过程中 ,由于工艺的随机扰动 ,过刻蚀和欠刻蚀造成了导线条的宽度和线间距的变化 .论文在分析过刻蚀和欠刻蚀对 IC版图影响的基础上 ,提出了基于工艺偏差影响的 IC关键面积计算新模型和实现方法 .模拟实验...
主要讨论了一类随机规划的目标函数分别在概率测度序列分布收敛、函数序列上图收敛以及随机变量序列均方可积收敛等收敛意义下目标函数序列的收敛情况,基于上述收敛情况本文给出了一些逼近思想,这些思想可应用于求解这...
讨论了形如的随机规划的目标函数#f（x，ξ（ω）的连续性。
赵天绪 李宏涛 《宝鸡文理学院学报(自然科学版)》 1997年02期 期刊
关键词： 期望泛函 / 下半连续函数 / Lipschitz连续函数
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主要讨论了一类随机规划在函数序列上图收敛和随机变量序列均方收敛意义下 ,该类随机规划的最优解和最优值的收敛情况。
集成电路参数成品率的研究是集成电路可制造性工程和设计研究的重要内容之一。作者首先给出了参数成品率的计算模型 ;其次讨论了模拟参数成品率的原理和算法 ;最后给出了参数成品率的优化模型和求解方法。
