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表面结构对集成式石英谐振器性能的影响  CNKI文献

在研究石英晶体谐振器力敏特性与加力方位角关系及晶体薄片内波的传播特性的基础上,设计制作了基于同一晶体基片上的集成式四电极谐振器。研究了这种结构的谐振器的力敏特性与加力方位、谐振频率稳定性与基片表面和边...

田文杰 田双... 《压电与声光》 2008年03期 期刊

关键词: 表面结构 / 集成式石英谐振器 / 抛光 / 倒边

下载(112)| 被引(5)

单基三电极石英晶体谐振器频率-温度特性研究  CNKI文献

设计了一种新型的单基三电极石英晶体谐振器,并在大气环境条件下测试分析了这种谐振器的频率温度特性,验证了其频率-温度特性与已有的单基单电极谐振器的频率-温度特性基本一致,曲线为三次曲线。在相同激励及环境条件...

崔媛媛 田文杰... 第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集 2007-08-01 中国会议

关键词: 多电极石英谐振器 / 频率温度特性 / 表面处理 / 差频补偿

下载(41)| 被引(0)

单基多电极石英晶体谐振器的力-频特性  CNKI文献

利用有限元法分析了同一圆形晶体基片上不同区域的应力分布,通过蒸镀电极的方法证实了理论分析结果的正确性。在此基础上,根据晶体振动的限波理论,设计制作了单基多电极石英晶体谐振器,由此构成的差频式力敏感元件的力...

田文杰 程红亚... 《压电与声光》 2007年06期 期刊

关键词: 有限元法 / 多电极石英谐振器 / 力-频特性 / 非线性度

下载(87)| 被引(5)

石英谐振器力频特性的ANSYS分析及实验对比  CNKI文献

利用ANSYS有限元理论模型,对AT切石英晶体受沿x轴方向的对径力作用时,晶片内的应力分布进行了分析计算;通过在不同区域蒸镀电极的方法对石英晶体的力频特性进行了实验检测。结果表明,ANSYS理论计算结果与实验结果近乎...

宁永怀 田文杰... 《电子元件与材料》 2007年05期 期刊

关键词: 电子技术 / ANSYS分析 / 石英谐振器 / 力频灵敏度系数

下载(238)| 被引(1)

表面处理对单基多电极石英晶体谐振器力-频特性的影响  CNKI文献

根据晶体振动的限波理论设计制作了单基多电极石英晶体谐振器。研究了这种结构的石英晶体谐振器的晶片表面处理(是否抛光)及边沿形状(是否倒边)对其力-频特性的影响;并与传统的单基单电极石英晶体谐振器的力-频特性进...

鄂然 田文杰... 第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会摘要集 2006-12-14 中国会议

关键词: 石英谐振器 / 抛光 / 倒边 / 力-频特性

下载(53)| 被引(1)

石英单基多谐振器力敏特性与加力方位的关系  CNKI文献

根据石英晶体振动理论及力敏特性,在同一圆形晶体基片上设计制作了多个石英晶体谐振器。采用对径加力的方式,研究了这种石英单基多谐振器的力敏特性与加力方位的关系,并与传统的单基单电极谐振器的力敏特性进行了比较...

田文杰 宁永怀... 第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集 2007-08-01 中国会议

关键词: 石英单基多谐振器 / 力敏特性 / 加力方位角

下载(24)| 被引(0)

单基三电极石英晶体谐振器频率-温度特性研究  CNKI文献

设计了一种新型的单基三电极石英晶体谐振器,并在大气环境条件下测试分析了这种谐振器的频率-温度特性,验证了其频率-温度特性与已有的单基单电极谐振器的频率-温度特性基本一致,曲线为三次曲线。在相同激励及环境条件...

崔媛媛 田文杰... 《微纳电子技术》 2007年Z1期 期刊

关键词: 多电极石英谐振器 / 频率-温度特性 / 表面处理 / 差频补偿

下载(115)| 被引(0)

石英单基多谐振器力敏特性与加力方位的关系  CNKI文献

根据石英晶体振动理论及力敏特性,在同一圆形晶体基片上设计制作了多个石英晶体谐振器。采用对径加力的方式,研究了这种石英单基多谐振器的力敏特性与加力方位的关系,并与传统的单基单电极谐振器的力敏特性进行了比较...

田文杰 宁永怀... 《微纳电子技术》 2007年Z1期 期刊

关键词: 石英单基多谐振器 / 力敏特性 / 加力方位角

下载(66)| 被引(1)

集成式石英晶体谐振器的力-频特性及稳定性  CNKI文献

利用有限元分析并根据晶体振动的限波理论,将多对电极集成在同一晶体基片上,构成集成式石英晶体谐振器。利用对径加力的方法研究了这种集成式结构中处于不同位置的电极对应的谐振器的力-频特性及不同位置的谐振器之间...

田文杰 宁永怀... 第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会摘要集 2006-12-14 中国会议

关键词: 集成式石英谐振器 / 力-频特性 / 差频输出 / 频率稳定性

下载(25)| 被引(0)

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