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微米/纳米技术在微惯性器件中的应用  CNKI文献

微型硅加速度计采用挠性结构、电容传感器和电容静电力矩器。挠性接头厚度和电容极板间隙均在微米量级。而电极表面绝缘层厚度应在纳米量级。它的结构设计和制作工艺紧密依靠细微加工技术。从需要出发,合理设计,采用...

陈锦杜 《仪器仪表学报》 1996年S1期 期刊

关键词: 力矩器 / 绝缘层厚度 / 挠性接头 / 电容传感器

下载(79)| 被引(2)

微机械加工硅电容式加速度传感器  CNKI文献

介绍了硅电容式加速度传感器的工作原理和制作过程。传感器的敏感元件为一个差分电容器 ,它是由活动质量块与两个玻璃极板通过阳极键合形成。活动质量块用标准的双极工艺和各向异性腐蚀工艺制作。该传感器的量程为 2 ...

李跃进 杨银堂... 《传感器技术》 2001年01期 期刊

关键词: 加速度传感器 / 悬臂梁 / 差分电容器 / 各向异性腐蚀

下载(351)| 被引(12)

微机械加工硅电容式加速度传感器  CNKI文献

1 引言随着世界科学技术的发展,微型机电系统(MEMS)近几年在许多国家已有了较大的突破与发展,并已成功地应用于航空、航天、汽车、医学等诸多领域。作为MEMS的一个主要分支——微型惯性器件也在发达国家迅速发展起来,...

李跃进 朱作云... 2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集 2000-07-01 中国会议

关键词: 电容式加速度传感器 / 微机械加工 / 线性度 / 挠性梁

下载(77)| 被引(0)

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