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AlGaN/GaN异质结构中二维电子气的高温输运性质  CNKI文献

采用高温Hall测量仪对一个全应变和一个部分应变弛豫的AlGaN/GaN异质结构中2DEG的高温输运特性进行了研究,温度变化范围从室温到680K.研究结果表明:在高温段2DEG的迁移率主要受LO声子散射限制;在室温,异质界面处的非均...

陶春旻 陶亚奇... 《半导体学报》 2006年07期 期刊

关键词: AlGaN/GaN异质结构 / 二维电子气 / 高温输运

下载(289)| 被引(2)

SnO_2纳米薄膜氢敏特性的研究  CNKI文献

采用溶胶-凝胶法制备了SnO2氢敏纳米薄膜。将0.1和0.05mol/L的SnO2溶胶溶液旋涂在Au叉指电极衬底而制得。通过测量在不同温度下SnO2纳米氢敏薄膜的电阻信号来表征其氢敏特性。当温度为250℃时,试样的灵敏度较低,并且响...

陶春旻 殷晨波... 《功能材料》 2011年S4期 期刊

关键词: 氢传感器 / SnO2 / 溶胶-凝胶法 / 气体灵敏度

下载(118)| 被引(1)

基于恒流配气方式的微气体传感器测试系统研究  CNKI文献

为了安全、方便、可靠地进行气体敏感单元气敏性能测试,设计了一套基于恒流配气方式的微气体传感器测试系统。根据道尔顿分压定律和阿马伽定律,给出了恒流配气系统的理论实现公式。设计并制作了安全、可靠、防爆、防泄...

朱斌 殷晨波... 《仪器仪表学报》 2011年12期 期刊

关键词: 气体测试系统 / 恒流配气 / 加湿装置 / 反应室

下载(402)| 被引(21)

气体传感器叉指电极结构设计及电极间分布电阻计算  CNKI文献

气敏材料在工作环境下初始电阻值的大小,是影响其气敏特性的重要因素。叉指电极的应用在降低初始电阻值的同时会影响气敏材料工作区域的温度分布。利用热分析确定了叉指电极结构参数,理论计算了叉指电极间气敏材料电阻...

朱斌 殷晨波... 《仪表技术与传感器》 2011年08期 期刊

关键词: 气体传感器 / 分布电阻 / 叉指电极 / 热分析

下载(1376)| 被引(22)

基于MEMS工艺微气体传感器结构与工艺设计  CNKI文献

针对传统堆积式硅基微气体传感器制造工艺复杂的缺点,设计一种将Pt电极制成一层的共面式微气体传感器,利用有限元软件ANSYS对传感器的热性能进行了分析。结果表明:共面式微传感器的气敏薄膜表面工作区域的温度差在功耗...

张子立 殷晨波... 《南京工业大学学报(自然科学版)》 2012年03期 期刊

关键词: 微气体传感器 / 结构优化 / 热性能 / 制造工艺

下载(422)| 被引(11)

基于MEMS工艺的悬臂共面式气体传感器性能分析(英文)  CNKI文献

为了简化制作工艺,使温度分布均匀以及降低功耗,设计了一种基于MEMS制造工艺的悬臂共面式SnO2气体传感器.使用有限元法对这种传感器及膜结构堆积于硅基底上的封闭膜式气体传感器进行了稳态热分析,结果表明悬臂共面式传...

张子立 殷晨波... 《Journal of Southeast University(English Edition)》 2012年03期 期刊

关键词: 气体传感器 / 悬臂共面式 / 微加工 / 气敏性能

下载(104)| 被引(4)

基于SnO_2薄膜气体传感器的设计与制作(英文)  CNKI文献

设计了一种带硅岛结构的基于SnO2薄膜材料的共面式气体传感器.利用有限元工具对传感器进行了稳态热分析,分析结果表明这种传感器在33.84 mW的功耗下最高温度达到400℃,气敏薄膜上温度分布均匀.详细阐述了传感器的制作...

张子立 殷晨波... 《纳米技术与精密工程》 2012年05期 期刊

关键词: 气体传感器 / 共面式 / 硅岛 / 温度分布

下载(150)| 被引(1)

微气体传感器测试系统的恒流配气系统研究  CNKI文献

针对恒流混合气体在微气体传感器实验中的重要性,根据道尔顿分压定律和阿马伽定律,采用质量比动态配气法,实现了实验用恒流配气系统。基于NI USB6215系列多功能数据采集卡,以LabVIEW8.5为软件开发平台,设计了恒流配气...

朱斌 殷晨波... 《自动化与仪表》 2011年09期 期刊

关键词: 质量流量控制器 / 恒流 / LabVIEW / 配气系统

下载(165)| 被引(0)

微气体敏感单元实验平台  CNKI文献

为了安全、方便、可靠地进行微气体敏感单元气敏性实验,设计了一套微气体敏感单元实验平台,包括配气系统、反应室和检测系统。利用组态软件作为软、硬件的连接桥梁,实现了在计算机中对采集到的数据进行处理和存储。制...

朱斌 殷晨波... 《仪表技术与传感器》 2010年07期 期刊

关键词: 气体敏感单元 / 实验平台 / 气体检测系统 / LabVIEW

下载(81)| 被引(3)

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