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电容薄膜式绝对压力变送器的发展  CNKI文献

电容薄膜式绝对压力变送器从 70年代末发展至今 ,以其优良的性能 ,逐渐成为低真空测量的主要仪表。随着工艺、技术的不断发展 ,在原有产品的基础上进一步开发出带恒温系统产品 ,使仪表的性能更趋完善。为了满足用户将...

丁基敏 《真空》 2001年04期 期刊

关键词: 薄膜压力变送器

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国内电容薄膜式压力变送器发展现状  CNKI文献

一、概述电容式薄膜真空计是根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的 ,其主要由电容式薄膜规 (又称电容式绝压变送器 )和测量仪器两部分组成 ,其原理如图 1所示。以下将主要介绍国内电容式薄膜规...

丁基敏 《上海计量测试》 2002年01期 期刊

关键词: 压力变送器 / 真空计 / 发展现状

下载(183)| 被引(13)

电容薄膜式绝对压力变送器的发展  CNKI文献

1.序论电容薄膜式绝对压力变送器(以下简称薄膜规),是一种检测低真空压力的专用仪表,自20世纪80年代初诞生至今已有20年的历史,由于它的高稳定性、高精度、耐腐性、耐污染、耐粉尘、可在许多恶劣场合工作、使用寿命长...

丁基敏 新世纪 新机遇 新挑战——知识创新和高新技术产业发展(上册... 2001-09-13 中国会议

关键词: 压力变送器 / 传感器

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