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用于太空望远镜的大口径薄膜菲涅尔衍射元件  CNKI文献

为了满足空间衍射成像系统对大口径、轻量化衍射元件的需求,设计制作了直径为400mm的聚酰亚胺(PI)薄膜菲涅尔衍射元件。通过紫外光刻、离子束刻蚀等微细加工方法在石英基底上制作衍射图形,然后将衍射图形复制到PI薄膜...

张健 栗孟娟... 《光学精密工程》 2016年06期 期刊

关键词: 衍射光学 / 大口径衍射元件 / PI薄膜 / 衍射效率

下载(453)| 被引(31)

90°顶角中阶梯光栅的研制  CNKI文献

结合单晶硅各向异性腐蚀和倾斜光刻技术,在14°斜切(110)单晶硅片上成功制作出90°顶角的中阶梯光栅。在1500~1600nm波段对其进行了闪耀级次衍射效率测量,测量结果的趋势与C方法计算结果基本吻合,其中在1500~...

王琦 郑衍畅... 《光学学报》 2014年09期 期刊

关键词: 光栅 / 中阶梯光栅 / 单晶硅 / 各向异性腐蚀技术

下载(192)| 被引(7)

大尺寸衍射光学元件的扫描离子束刻蚀  CNKI文献

总结了大尺寸衍射光学元件离子束刻蚀技术的研究进展。针对自行研制的KZ-400离子束刻蚀装置,提出了组合石墨束阑结构和多位置分步刻蚀策略来提高离子束刻蚀深度的均匀性,目前在450mm尺寸内的刻蚀深度均匀性最高可达&#...

邱克强 周小为... 《光学精密工程》 2012年08期 期刊

关键词: 衍射光学元件 / 离子束刻蚀 / 刻蚀深度 / 在线检测

下载(425)| 被引(18)

同步辐射小角和广角X射线散射在高分子材料研究中的应用  CNKI文献

同步辐射X射线散射是研究高分子材料不可替代的重要工具。第三代同步辐射光源—上海光源的成功建设,标志着我国进入国际先进光源俱乐部,为我国高分子材料研究大发展提供了一个契机。本文结合作者和国内外同行的工作,以...

许璐 柏莲桂... 《高分子通报》 2010年10期 期刊

关键词: 同步辐射X射线散射 / 高分子材料 / 结构-性能关系

下载(4399)| 被引(47)

自动聚焦激光诱导击穿光谱远程测量系统  CNKI文献

激光诱导击穿光谱(LIBS)技术具有非接触测量、无需样品预处理以及快速多元素同时分析等特点,适合于高温、高压、真空、有毒以及敌对环境等仪器和操作人员无法靠近观测对象的应用中。LIBS技术结合望远镜系统可以实现物...

韩振宇 潘从元... 《光谱学与光谱分析》 2015年02期 期刊

关键词: 激光诱导击穿光谱 / 远程 / 望远镜 / 自动聚焦

下载(327)| 被引(14)

SiO_2/Si衬底上石墨烯的制备与结构表征  CNKI文献

在分子束外延设备中,利用直接沉积C原子的方法在覆盖有SiO_2的Si衬底(SiO_2/Si)上生长石墨烯,并通过Raman光谱和近边X射线吸收精细结构谱等实验技术对不同衬底温度(500℃,600℃,700℃,900℃,1100℃,1200℃)生长的薄膜...

康朝阳 唐军... 《物理学报》 2012年03期 期刊

关键词: 分子束外延 / SiO_2/Si / 石墨烯薄膜 / 同步辐射

下载(778)| 被引(17)

基于层状过渡金属氧族化合物原位插层结构的研究进展  CNKI文献

利用客体插层剂原位插层到二维层状材料,不仅能够在原子尺度上实现对材料电子结构和本征物理性质的调控,提高材料的载流子浓度、迁移率、磁学、光学和热学等物理性质,而且还有望拓展其在光电子器件、能源存储与转化以...

刘琴 刘道彬... 《化学学报》 2015年09期 期刊

关键词: 化学合成 / 层状过渡金属氧族化合物 / 插层结构 / 表征

下载(446)| 被引(2)

真空环境熔融金属成分检测的激光诱导击穿光谱系统  CNKI文献

激光诱导击穿光谱(LIBS)技术是应用于冶金在线分析最具前景的技术之一。为了研究真空和高温条件下LIBS光谱特性和物质成分定量分析方法,设计并搭建了可实现真空环境高温熔融金属LIBS光谱测量的实验系统。系统以调Q Nd...

潘从元 杜学维... 《光谱学与光谱分析》 2013年12期 期刊

关键词: 激光诱导击穿光谱 / 系统 / 真空 / 高温

下载(286)| 被引(18)

LED灯的结构特点及应用  CNKI文献

作为优质高效的照明光源,LED灯的广泛应用将为现代社会提供更加优良、环保的照明环境和高效、节能的照明品质,并且替代白炽灯的应用。由于LED灯和白炽灯泡两者的发光原理、结构方式及使用特性截然不同,因此在替代应用...

杨光 《灯与照明》 2012年03期 期刊

关键词: LED灯 / 配光结构 / 散热结构 / 驱动电源

下载(2019)| 被引(36)

退火时间对6H-SiC(0001)表面外延石墨烯形貌和结构的影响  CNKI文献

在分子束外延(MBE)设备中,采用高温退火的方法在6H-SiC(0001)表面外延石墨烯,并研究了退火时间对外延石墨烯形貌和结构的影响.利用反射式高能电子衍射(RHEED)、原子力显微镜(AFM)、激光拉曼光谱(Raman)和近边X射线吸收...

唐军 刘忠良... 《物理化学学报》 2010年01期 期刊

关键词: Raman / 石墨烯 / 6H-SiC / 退火时间

下载(949)| 被引(50)

HfO_2顶层多层介质膜脉宽压缩光栅的离子束刻蚀  CNKI文献

多层介质膜光栅是高功率激光系统的关键光学元件.为了满足国内强激光系统的迫切需求,首先利用考夫曼型离子束刻蚀机开展了HfO2顶层多层介质膜脉宽压缩光栅的离子束刻蚀实验研究.采用纯Ar及Ar和CHF3混合气体作为工作气...

徐向东 刘颖... 《物理学报》 2013年23期 期刊

关键词: 光栅 / 多层介质膜 / 离子束刻蚀

下载(189)| 被引(8)

核壳结构氧化锌/石墨烯的光催化性能及机理研究  CNKI文献

采用一步法制备了还原氧化石墨烯(RGO)包覆ZnO纳米颗粒(NPs)的准核壳结构ZnO@RGO光催化复合材料.光催化实验表明,石墨烯的包覆使得ZnO@RGO对有机染料亚甲基蓝(MB)的光催化效率较ZnO NPs提高了10倍左右.透射电镜(TEM)和...

杨晓喻 王超... 《中国科学技术大学学报》 2014年08期 期刊

关键词: 氧化锌 / 光催化活性 / 纳米颗粒 / 石墨烯

下载(551)| 被引(13)

质谱仪离子导向装置的原理、应用和进展  CNKI文献

离子导向装置(ion guide)是传输离子的重要手段。在质谱仪器中,离子导向装置是离子光学(ion op-tics)系统的重要组成部分,是联络处于低真空(或大气压)电离源和质量分析器的桥梁。离子导向装置不仅用于传输离子,还可降...

王健 朱治祥... 《质谱学报》 2012年03期 期刊

关键词: 质谱 / 离子导向装置 / 离子光学

下载(582)| 被引(16)

全息光刻中的驻波效应研究  CNKI文献

对光刻胶内光强分布进行了计算与模拟,结果表明,来自基底的反射光与入射光干涉,光强在垂直基底的方向上呈现强弱周期性变化,即驻波效应.进一步的分析与实验结果表明,随着基底反射率的增加,驻波效应变得严重,进而影响光...

邱克强 刘正坤... 《物理学报》 2012年01期 期刊

关键词: 全息光刻 / 驻波 / 减反射膜

下载(425)| 被引(13)

XAFS在凝聚态物质研究中的应用  CNKI文献

详细介绍了X射线吸收精细结构谱学(XAFS)的理论、数据分析及实验等基本原理,以及XAFS在薄膜、纳米结构和体相材料(包括半导体、合金以及复杂氧化物)等凝聚态物质研究中的应用;同时,还介绍了原位XAFS、微区XAFS和时间分...

韦世强 孙治湖... 《中国科学技术大学学报》 2007年Z1期 期刊

关键词: 同步辐射 / XAFS / 原子和电子结构 / 纳米结构

下载(1155)| 被引(58)

利用LIBS技术实现钢液中多元素含量检测  CNKI文献

在钢铁冶炼中,成分含量检测是保证冶炼质量的关键之一,激光诱导击穿光谱技术(LIBS)具有遥测的特点,非常适合于炉内钢水成分的检测。实验室搭建了一熔融合金LIBS检测实验系统,该系统由Nd:YAG调Q激光器(重复频率10 Hz,波...

于云偲 潘从元... 《光谱学与光谱分析》 2016年08期 期刊

关键词: 激光诱导击穿光谱技术 / 钢液 / 成分检测

下载(219)| 被引(7)

道路照明中大功率LED路灯散热方案的研究  CNKI文献

大功率LED的发光效率、使用寿命、光输出定向性等指标均优于常规的高压钠灯光源,因此在道路照明中将会逐步得到应用。在决定大功率LED的性能和路灯设计的几个关键技术中,散热设计是非常重要的一环,散热设计的好坏将直...

杨光 《照明工程学报》 2010年01期 期刊

关键词: 散热 / 大功率LED路灯 / 若干建议

下载(1385)| 被引(29)

一种时间分辨激光诱导击穿光谱的测量方法  CNKI文献

激光诱导击穿光谱(LIBS)是一种动态光谱。时间分辨LIBS光谱测量是研究激光诱导等离子体演化和谱线自吸收的重要技术。结合激光诱导击穿光谱测量的时序特性,提出一种利用常规性能光谱探测设备获得微秒级时间分辨LIBS光...

潘从元 韩振宇... 《光谱学与光谱分析》 2014年04期 期刊

关键词: 激光诱导击穿光谱 / 时间分辨 / 方法 / 演化

下载(340)| 被引(8)

不同极性6H-SiC表面石墨烯的制备及其电子结构的研究  CNKI文献

在超高真空设备中,采用高温退火的方法在6H-SiC两个极性面(0001)和(0001-)面(即Si面和C面)外延石墨烯(EG).利用低能电子衍射(LEED)和同步辐射光电子能谱(SRPES)对样品的生长过程进行了原位研究,而后利用激光拉曼光谱(...

康朝阳 唐军... 《物理学报》 2011年04期 期刊

关键词: 石墨烯 / 6H-SiC / 同步辐射 / 电子结构

下载(584)| 被引(13)

基于薄膜热电堆的新型高温瞬态热流密度传感器的研制  CNKI文献

目前针对国内薄膜瞬态热流传感器一致性较差、制备工艺不成熟等问题,提出了一种基于光刻工艺和离子束溅射镀膜工艺的制备方法,200对T型金属薄膜热电偶沉积在10mm×10mm的水冷块上,测量1μm的氧化铝热阻层温差,从而...

周丽丽 刘正坤... 《宇航计测技术》 2018年06期 期刊

关键词: 热流传感器 / 光刻工艺 / 薄膜 / 离子束

下载(258)| 被引(3)

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