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一维光子晶体缺陷模的滤波特性及应用研究  CNKI文献

研究了一维光子晶体缺陷膜的滤波特性,重点研究了影响其滤波特性的因素及其影响规律。并对利用一维光子晶体技术开展多通道滤光片设计的可行性进行了研究。结果表明,利用光子晶体的滤波特性,可以设计出传统光学薄膜设...

王济洲 熊玉卿... 《光学学报》 2009年10期 期刊

关键词: 光学设计 / 一维光子晶体 / 滤光片 / 光学薄膜

下载(543)| 被引(28)

薄膜应力的研究进展  CNKI文献

薄膜应力对薄膜性能具有重要的影响。主要介绍了薄膜应力形成机理和应力实验的研究进展,并探讨了薄膜应力研究的发展趋势。通过选择适当的工艺条件以及表面处理可以改变薄膜的应力分布,提高薄膜的性能。

陈焘 罗崇泰 《真空与低温》 2006年02期 期刊

关键词: 薄膜 / 应力 / 光学薄膜 / 模型

下载(1788)| 被引(54)

薄膜的应力控制技术研究现状  CNKI文献

薄膜应力普遍存在于薄膜元器件中,从而影响薄膜器件性能,限制了其良好的应用前景。所以控制薄膜的应力,消除其不良影响,是薄膜生产工艺中不可或缺的技术手段。本文对此详细阐述了几种常用的薄膜应力控制方法,并对以后...

蒋钊 陈学康 《真空科学与技术学报》 2008年S1期 期刊

关键词: 薄膜 / 应力 / 控制技术

下载(812)| 被引(39)

聚合物表面接枝改性方法和影响因素  CNKI文献

阐述聚合物表面光引发接枝、辐射接枝、化学接枝等方面近年来的进展,对该项技术的发展提出了一些看法。

陈炯枢 陈学康... 《科学技术与工程》 2007年09期 期刊

关键词: 聚合物 / 表面接枝改性方法 / 影响因素

下载(1149)| 被引(17)

碳化硅薄膜制备方法及光学性能的研究进展  CNKI文献

碳化硅薄膜有密度小、热导率高、热膨胀系数低、硬度高等优异的性能。介绍了制备碳化硅薄膜的2种常用方法,即化学气相沉积和磁控溅射技术,比较了2种方法的各自优势。总结了碳化硅薄膜光学性能及短波发光特性的研究进展...

张平 罗崇泰... 《真空与低温》 2009年04期 期刊

关键词: 碳化硅薄膜 / 制备方法 / 化学气相沉积 / 磁控溅射

下载(1208)| 被引(11)

MgO二次电子发射功能薄膜的制备方法  CNKI文献

综述了具有二次电子发射功能的MgO薄膜的主要制备方法,包括电子束蒸发、磁控溅射、溶胶-凝胶、分子束外延和脉冲激光沉积法。阐述了各种方法在制备MgO薄膜方面的优点和不足,讨论了不同的制备方法对MgO薄膜结晶取向、表...

李晨 罗崇泰... 《真空与低温》 2009年04期 期刊

关键词: MgO薄膜 / 二次电子 / 磁控溅射 / 结晶取向

下载(307)| 被引(17)

离子束轰击对电子束蒸发制备二氧化钛薄膜应力的影响  CNKI文献

在硅基底上用电子束蒸发方法制备了二氧化钛薄膜。通过XRD、AFM和薄膜应力测试仪研究了离子束轰击对薄膜应力的影响规律。结果表明沉积温度为323K、沉积速率为0.2nm.s-1时,二氧化钛薄膜具有较小的应力值,平均应力为48...

陈焘 罗崇泰... 《真空科学与技术学报》 2009年02期 期刊

关键词: 二氧化钛 / 离子束轰击 / 张应力 / 压应力

下载(445)| 被引(12)

磁控溅射法制备高反射铝膜  CNKI文献

通过先后调整溅射沉积时间、溅射功率以及溅射气压等镀膜参数,然后结合所镀样品的反射率测量,分析了镀膜参数对铝膜反射率的影响;通过调整不同的离子束清洗时间,结合所镀样品的太阳光谱反射率测量以及附着力测试,研究...

赵印中 许旻... 《真空与低温》 2008年03期 期刊

关键词: 磁控溅射 / 铝膜 / 溅射参数 / 离子束清洗

下载(623)| 被引(17)

直流磁控溅射沉积WO_3薄膜电致变色性能研究  CNKI文献

以金属钨为靶材,采用直流反应磁控溅射方法,在玻璃上制备电致变色WO3薄膜。利用X射线衍射(XRD)方法对薄膜的结构进行了分析,得出了WO3薄膜的沉积工艺。制备了WO3)ITO)Glass电致变色器件,并对其性能进行了研究。结果表...

何延春 邱家稳 《真空与低温》 2007年01期 期刊

关键词: 直流磁控溅射 / WO_3 / 电致变色 / 薄膜

下载(326)| 被引(21)

掺杂氧化物半导体在复合隐身方面的研究进展  CNKI文献

从掺杂氧化物半导体材料的隐身理论、复合隐身研究方向以及研究进展等方面,介绍了掺杂氧化物半导体在隐身材料方面的研究现状。

赵印中 许旻... 《真空与低温》 2009年03期 期刊

关键词: 掺杂氧化物半导体 / 复合隐身 / 研究现状

下载(362)| 被引(7)

掺钛对类金刚石薄膜力学性能影响研究  CNKI文献

利用脉冲电弧离子镀技术制备了一系列钛含量不同的类金刚石薄膜。对样品研究发现:随着钛含量的增加(原子百分比小于5.3%),薄膜的硬度和应力都开始下降,且应力的下降幅度大于硬度下降幅度;但当钛含量继续增大时(原子百...

赵栋才 肖更竭... 《真空与低温》 2008年01期 期刊

关键词: 类金刚石膜 / 掺钛 / 应力 / 硬度

下载(205)| 被引(14)

新型热控涂层Al-Al_2O_3金属陶瓷复合膜制备与性能研究  CNKI文献

介绍了柔性基底金属陶瓷复合膜的膜系结构设计,利用脉冲直流磁控溅射技术,在聚酰亚胺基底上制备了Al-Al2O3金属陶瓷复合膜,自基底至膜层表面依次为:聚酰亚胺、金属反射层、金属陶瓷层、减反射层。并对所制备的金属陶瓷...

祝力伟 赵慨... 《真空与低温》 2008年04期 期刊

关键词: 太阳选择性吸收 / 热控 / 金属陶瓷 / 磁控溅射

下载(371)| 被引(6)

线性渐变滤光片镀制挡板设计  CNKI文献

提出了一种膜厚修正挡板的设计方法,分析给出了使用挡板情况下基片膜厚和监控片膜厚的关系,对线性渐变滤光片镀制挡板进行了设计,给出了设计结果。用设计的挡板成功镀制了线性渐变滤光片,并给出了镀制结果。

秦洁玉 罗崇泰... 《真空与低温》 2007年01期 期刊

关键词: 薄膜厚度 / 修正挡板 / 设计

下载(206)| 被引(8)

离子注入空间齿轮传动副用30CrMnSi材料真空摩擦学性能研究  CNKI文献

通过多种表面测试手段对几种单一及双离子注入空间齿轮传动副用30CrMnSi材料的真空摩擦学性能进行了研究,同时对不同注入条件进行了计算机模拟计算。结果表明,Ti++N+双注入后表面真空摩擦磨损性能相对最好。这主要是由...

蒋钊 周晖... 《真空科学与技术学报》 2010年03期 期刊

关键词: 离子注入 / 空间齿轮传动副 / 30CrMnSi / 真空摩擦学

下载(197)| 被引(4)

磁控溅射沉积二氧化钒薄膜及其电致相变特性研究  CNKI文献

采用反应射频磁控溅射技术在熔融石英玻璃衬底上制备了组分单一的二氧化钒薄膜。在制备好的二氧化钒薄膜上使用半导体工艺制备了金属叉指电极,通过半导体测试仪测试其电致相变特性。结果表明,当电极上所加电压达到一定...

张玲 牟永强... 《真空与低温》 2010年01期 期刊

关键词: 二氧化钒、薄膜 / 电致相变

下载(364)| 被引(4)

原子氧处理减小多晶PZT-PMN薄膜漏电流的实验研究  CNKI文献

漏电流是铁电薄膜应用过程中的关键问题。本文通过磁控溅射法制备了结晶性能良好的铌镁锆钛酸铅(PZT-PMN)铁电薄膜,并在室温下用原子氧对其进行处理,研究了原子氧对PZT-PMN薄膜表层微观结构和漏电流的影响。实验结果表...

杨学龙 陈学康... 《真空科学与技术学报》 2012年09期 期刊

关键词: PZT-PMN薄膜 / 原子氧 / 漏电流 / 晶界

下载(75)| 被引(1)

一种双通道窄带滤光片的设计与制备  CNKI文献

对光子晶体技术在滤光片设计中的应用进行了可行性研究。利用一维光子晶体进行了双通道窄带滤光片的设计,并利用离子束辅助沉积方法进行了滤光片的镀制。同时研究了膜层的误差对滤光片光谱性能的影响,表明其敏感层主要...

王济洲 熊玉卿... 《真空与低温》 2008年01期 期刊

关键词: 一维光子晶体 / 双通道滤光片 / 光学薄膜

下载(245)| 被引(5)

C/E表面镀Al膜的原子氧试验  CNKI文献

为了提高C/E复合材料的导电性及耐空间环境的能力,应用电弧离子镀技术在C/E复合材料表面沉积了A l膜,研究了地面模拟原子氧环境对C/E复合材料表面镀A l前后的侵蚀、质损及A l膜的附着力、导电性的影响。通过XRD、SEM、...

任屏源 任妮... 《宇航材料工艺》 2007年04期 期刊

关键词: C/E复合材料 / Al膜 / 电弧离子镀 / 原子氧

下载(129)| 被引(7)

氧化镁薄膜二次电子发射系数的测试方法  CNKI文献

综述了氧化镁薄膜二次电子发射系数的主要测试方法,包括静电法、脉冲中和法、双枪法、热控法、单脉冲法以及PDP间接法等。阐述了各测试方法的原理以及在测试中各自的优点和不足。分析表明,脉冲中和法和双枪法比较适合...

龙建飞 罗崇泰... 《真空与低温》 2009年04期 期刊

关键词: 测试方法 / 氧化镁薄膜 / 二次电子发射系数

下载(259)| 被引(2)

柔性基底Mo-Al_2O_3金属陶瓷薄膜性能及其应用  CNKI文献

柔性Mo-Al2O3金属陶瓷复合膜以聚酰亚胺为基底,具有膜系结构简单、轻质、高效吸热以及热稳定性等优点,是一种新型吸热型热控薄膜材料,可应用于航天器热控器件。着重介绍了柔性Mo-Al2O3金属陶瓷复合膜的膜系结构设计,并...

祝力伟 邱家稳... 《真空与低温》 2008年02期 期刊

关键词: 选择性吸收 / 热控 / 金属陶瓷 / 航天器

下载(278)| 被引(3)

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