俄歇电子能谱仪在材料分析中的应用 

俄歇电子能谱仪(AES)是建立在电子技术、弱信号检测技术和超高真空技术基础上的一种研究材料表面组成元素的新型分析仪器。本文介绍了俄歇电子能谱技术的基本原理、技术发展和样品制备技术,重点介绍了俄歇电子能谱仪在材料分析(失效分析、表面分析、微区分析等)方面的应用。俄歇电子能谱仪在材料表面性质研究方面,有着不可替代的作用。
《分析仪器》  2009年 第04期 下载次数(2221)| 被引次数(20)

俄歇电子能谱仪的研制和Ar的快电子碰撞研究 

本论文介绍了作者在攻读硕士学位期间的研究工作,主要包括:俄歇电子能谱仪的设计和研制情况;用电子能量损失谱方法对氩原子的内壳层2p激发进行研究,结合Cowan code的计算,得到了各个跃迁的能级和自然宽度。 在第一章中,主要介绍了俄歇电子能谱仪的建立目的。首先介绍了俄歇过程的基础知识,包括俄歇效应的概念、俄歇电...
中国科学技术大学  硕士论文  2011年 下载次数(201)| 被引次数(0)

利用俄歇电子能谱仪研究Al焊垫表面的F腐蚀 

Al焊垫的质量关系着半导体器件及封装的质量和可靠性。多项研究表明Al焊垫表面的沾污增强了Al焊垫腐蚀的可能性,特别是焊垫表面刻蚀后残留的F元素,极容易在焊垫表面引起各种类型得腐蚀。应用俄歇电子能谱仪,研究了两种发生在焊垫表面的腐蚀现象,结合其他失效分析手段,分析了Al焊垫表面的F腐蚀的成因。研究结果表明,被腐蚀的Al焊...
《半导体技术》  2009年 第10期 下载次数(245)| 被引次数(3)

JAMP—10型扫描俄歇电子能谱仪——显示部分常见故障检修 

日本产JAMP—10型扫描俄歇电子能谱仪在七十年代末进口,经过几年使用以后,故障逐渐增多。本文就显示部分电路结构、功能以及常见的几种故障现象和排除方法作简要叙述。一.电路结构、功能图1是显示部分的电路图。扫描发生器产生的水平扫描锯齿波(H—SCAN),由JC4/1进入显示单元DU—BC—8上IC1的反相端,经波...
《第五次全国电子显微学会议论文摘要集》  1988-10-01 下载次数(5)| 被引次数(0)

俄歇电子能谱仪及其应用 

一、前言 最近五、六年来,俄歇电子能谱仪成了固体材料分析的有力工具,在国外广受重视。俄歇电子是1925年由 Piere Auger 首先发现的。俄歇电子是电离化原子退激发时逸出的低能电子(目前受注意的是2000ev 以内的电子),这些电子的能量是由相关的原子能级决定的,每个元素都有其特征俄歇谱,并与原子所处化学...
《地质地球化学》  1975年 第12期 下载次数(325)| 被引次数(0)

俄歇电子能谱仪在氧化铜定量分析中的应用 

将基体效应修正引入到俄歇电子能谱仪定量分析中,基于Monte Carlo模拟和TPP-2M模型进行了氧化铜样品中各元素背散射因子和非弹性平均自由程的计算,对氧化铜标样在相同条件下重复10次进行俄歇能谱试验。将修正因子引入到氧化铜标样的俄歇定量分析中,基体效应修正后,氧化铜中各元素含量的相对误差大大减小,俄歇定量分析的精...
《理化检验(物理分册)》  2016年 第09期 下载次数(99)| 被引次数()

俄歇电子能谱仪中场发射电子枪发射电流的稳定措施 

场发射电子枪具有束斑直径小,能量色散小,亮度大等优点。它已广泛使用在扫描电子显微镜中。法国里昂第一大学材料物理系与里贝尔公司联合试制了一台俄歇电子能谱仪,所采用的电子源为场发射枪。使用场发射枪可使仪器体积缩小,但是获得稳定的场发射电子束流比较困难。发射电流大小与发射体的逸出功,灯丝形状和施
《第四次全国电子显微学会议论文摘要集》  1986-08-01 下载次数(16)| 被引次数(0)

俄歇电子能谱仪及其应用 

用一束具有一定能量的入射束轰击样品表面,从样品表面上会激发出多种信号。将各种检测器放在适当的位置上进行收集,就构成了不同的谱仪。近年来由于实验技术的飞速发展,出现了多种观察固体表面的新技术。根据入射束和被测信号的不同,可将这些观察技术归纳于表1。俄歇电子能谱分析是一种非破坏性化学分析技术。它具有特别小的深度分辩...
《理化检验通讯(物理分册)》  1978年 第03期 下载次数(4)| 被引次数()

俄歇电子能谱仪系统及其对铜快离子导体的表面研究 

介绍了一台用于表面分析的饿歇电子能谱仪(AES)系统。用该系统研究了铜快离子导体CuI-Cu_2O-MoO_3-P_2O_5在AES的探针电子诱导下铜沉积的规律;并发现在这种样品表面,部分氧在电子轰击过程中被蒸发而减少,总的二次电子发射电流由于铜沉积在样品表面上面随电子轰击时间迅速改变。
《华东化工学院学报》  1990年 第05期 下载次数(76)| 被引次数(0)

俄歇电子能谱仪自动加热装置的研制及应用 

本文介绍了俄歇电子能谱分析仪自动加热装置的设计、制造及Fe-Cr合金的原位俄歇分析。加热装置采用了专用的小电炉、高纯度三氧化铝窗口,选用了红外线测温、控温系统,该装置加热温度达1050℃,使俄歇能谱分析仪实现了动态分析或原位分析的功能。Fe-Cr合金的原位俄歇分析表面:Fe-Cr合金的氧化开始主要是O和Fe发生作用,随...
《2000年材料科学与工程新进展(下)——2000年中国材料研…》  2000-06-30 下载次数(29)| 被引次数(0)

俄歇电子能谱仪的设计与调试 

本文介绍一种用于分子束外延(MBE)装置中的俄歇电子能谱仪(简称AES)。为了尽量简化结构,首次采用了电子、离子复合同轴枪的设计方案。由于电子束和离子束是在同一对称轴上,从而很好地解决了一向认为很难实现的对中问题。借助于样品方位的改变,该AES仪器又可兼作中能电子衍射仪(MEED)用。当入射电子束的能量E_P=3keV...
《微细加工技术》  1988年 第01期 下载次数(57)| 被引次数(0)

俄歇电子能谱仪在失效分析中的应用 

介绍俄歇电子能谱仪的测试原理 ,举例说明在失效分析中的应用。
《机械工艺师》  2001年 第08期 下载次数(354)| 被引次数(0)

俄歇电子能谱仪分析绝缘样品的实用方法 

本文主要讨论了对绝缘样品作俄歇电子能谱(AES)分析的几种样品处理和实验参数的选择方法,并且介绍了在PHI 550ESCA/SAM以及PHI610SAM仪器上所作的一部分实验结果。
《理化检验.物理分册》  1988年 第06期 下载次数()| 被引次数()

俄歇电子能谱仪及其应用 

用一束具有一定能量的入射束轰击样品表面,从样品表面上会激发出多种信号。将各种检测器放在适当的位置上进行收集,就构成了不同的谱仪。近年来由于实验技术的飞速发展,出现了多种观察固体表面的新技术。根据入射束和被测信号的不同,可将这些观察技术归纳于表l。俄歇电子能谱分析是一种非破坏性化学分析技术。它具有特别小的深度分辩...
《理化检验.物理分册》  1978年 第03期 下载次数(1)| 被引次数()

俄歇电子能谱仪中场发射电子枪发射电流的稳定措施 

场发射电子枪具有束斑直径小,能量色散小,亮度大等优点。它已广泛使用在扫描电子显微镜中。法国里昂第一大学材料物理系与里贝尔公司联合试制了一台俄歇电子能谱仪,所采用的电子源为场发射枪。使用场发射枪可使仪器体积缩小,但是获得稳定的场发射电子束流比较困难。发射电流大小与发射体的逸出功,灯丝形状和施
《电子显微学报》  1986年 第03期 下载次数(32)| 被引次数(0)

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