俄歇电子能谱仪在材料分析中的应用 

俄歇电子能谱仪(AES)是建立在电子技术、弱信号检测技术和超高真空技术基础上的一种研究材料表面组成元素的新型分析仪器。本文介绍了俄歇电子能谱技术的基本原理、技术发展和样品制备技术,重点介绍了俄歇电子能谱仪在材料分析(失效分析、表面分析、微区分析等)方面的应用。俄歇电子能谱仪在材料表面性质研究方面,有着不可替代的作用。
《分析仪器》  2009年 第04期 下载次数(2221)| 被引次数(20)

俄歇电子能谱仪的研制和Ar的快电子碰撞研究 

本论文介绍了作者在攻读硕士学位期间的研究工作,主要包括:俄歇电子能谱仪的设计和研制情况;用电子能量损失谱方法对氩原子的内壳层2p激发进行研究,结合Cowan code的计算,得到了各个跃迁的能级和自然宽度。 在第一章中,主要介绍了俄歇电子能谱仪的建立目的。首先介绍了俄歇过程的基础知识,包括俄歇效应的概念、俄歇电...
中国科学技术大学  硕士论文  2011年 下载次数(201)| 被引次数(0)

利用俄歇电子能谱仪研究Al焊垫表面的F腐蚀 

Al焊垫的质量关系着半导体器件及封装的质量和可靠性。多项研究表明Al焊垫表面的沾污增强了Al焊垫腐蚀的可能性,特别是焊垫表面刻蚀后残留的F元素,极容易在焊垫表面引起各种类型得腐蚀。应用俄歇电子能谱仪,研究了两种发生在焊垫表面的腐蚀现象,结合其他失效分析手段,分析了Al焊垫表面的F腐蚀的成因。研究结果表明,被腐蚀的Al焊...
《半导体技术》  2009年 第10期 下载次数(245)| 被引次数(3)

JAMP—10型扫描俄歇电子能谱仪——显示部分常见故障检修 

日本产JAMP—10型扫描俄歇电子能谱仪在七十年代末进口,经过几年使用以后,故障逐渐增多。本文就显示部分电路结构、功能以及常见的几种故障现象和排除方法作简要叙述。一.电路结构、功能图1是显示部分的电路图。扫描发生器产生的水平扫描锯齿波(H—SCAN),由JC4/1进入显示单元DU—BC—8上IC1的反相端,经波...
《第五次全国电子显微学会议论文摘要集》  1988-10-01 下载次数(5)| 被引次数(0)

俄歇电子能谱仪中场发射电子枪发射电流的稳定措施 

场发射电子枪具有束斑直径小,能量色散小,亮度大等优点。它已广泛使用在扫描电子显微镜中。法国里昂第一大学材料物理系与里贝尔公司联合试制了一台俄歇电子能谱仪,所采用的电子源为场发射枪。使用场发射枪可使仪器体积缩小,但是获得稳定的场发射电子束流比较困难。发射电流大小与发射体的逸出功,灯丝形状和施
《第四次全国电子显微学会议论文摘要集》  1986-08-01 下载次数(16)| 被引次数(0)

俄歇电子能谱仪及其应用 

用一束具有一定能量的入射束轰击样品表面,从样品表面上会激发出多种信号。将各种检测器放在适当的位置上进行收集,就构成了不同的谱仪。近年来由于实验技术的飞速发展,出现了多种观察固体表面的新技术。根据入射束和被测信号的不同,可将这些观察技术归纳于表1。俄歇电子能谱分析是一种非破坏性化学分析技术。它具有特别小的深度分辩...
《理化检验通讯(物理分册)》  1978年 第03期 下载次数(4)| 被引次数()

俄歇电子能谱仪自动加热装置的研制及应用 

本文介绍了俄歇电子能谱分析仪自动加热装置的设计、制造及Fe-Cr合金的原位俄歇分析。加热装置采用了专用的小电炉、高纯度三氧化铝窗口,选用了红外线测温、控温系统,该装置加热温度达1050℃,使俄歇能谱分析仪实现了动态分析或原位分析的功能。Fe-Cr合金的原位俄歇分析表面:Fe-Cr合金的氧化开始主要是O和Fe发生作用,随...
《2000年材料科学与工程新进展(下)——2000年中国材料研…》  2000-06-30 下载次数(29)| 被引次数(0)

俄歇电子能谱仪在失效分析中的应用 

介绍俄歇电子能谱仪的测试原理 ,举例说明在失效分析中的应用。
《机械工艺师》  2001年 第08期 下载次数(354)| 被引次数(0)

俄歇电子能谱仪及其应用 

用一束具有一定能量的入射束轰击样品表面,从样品表面上会激发出多种信号。将各种检测器放在适当的位置上进行收集,就构成了不同的谱仪。近年来由于实验技术的飞速发展,出现了多种观察固体表面的新技术。根据入射束和被测信号的不同,可将这些观察技术归纳于表l。俄歇电子能谱分析是一种非破坏性化学分析技术。它具有特别小的深度分辩...
《理化检验.物理分册》  1978年 第03期 下载次数(1)| 被引次数()

VG ESCALAB MK Ⅱ电子能谱仪扫描俄歇像的转贮 

1 前言 80年代我国进口了不少英国VG公司生产的先进大型电子能谱仪,但是所配备的计算机大多数是DEC公司生产的PDP微机。该类型的微机早已被现今广为使用的IBM兼容微机所淘汰,这给此系统的维护和使用带来了很大的不便,尤其是能谱仪的测量结果是通过计算机输出的,其形式呆板、质量欠佳,且无法与第三方软件兼容。其中扫...
《现代仪器》  2000年 第02期 下载次数(20)| 被引次数(0)

微纳尺度俄歇电子能谱新技术开发及其应用进展 

随着纳米结构材料的广泛应用,新型微纳尺度表征技术成为纳米科学技术发展的重要途径。本文基于局域电子信息全面性的思想,从俄歇电子能谱的原理出发,理论推导出俄歇价电子能谱的简明表述方式,确定俄歇价电子能谱与微观电子结构信息的内在联系和物理意义,建立了俄歇电子能谱探测微区一系列宏观参量的新技术。其中应力测量技术的空间分辨率可优...
《物理学进展》  2008年 第04期 下载次数(737)| 被引次数(1)

俄歇电子谱仪及其对快离子导体的表面研究 

介绍了一台用于表面分析的俄歇电子能谱仪(AES)系统。用该系统研究了铜快离子导体CuI-Cu2O-MoO3-P2O5在AES的探针电子诱导下铜沉积的规律;并发现在这种样品表面,部分氧在电子轰击过程中被蒸发而减少,总的二次电子发射电流由于铜沉积在样品表面上而随电子轰击时间迅速改变。
《中国真空学会科技进步奖(1994-2000)得奖人员论文集》  2000-06-30 下载次数(15)| 被引次数(0)

场发射俄歇电子能谱显微分析 

场发射俄歇电子能谱的显微分析是一项新的分析技术,可对微尺度样品进行点、线、面的元素组分及元素化学态分析。本文简要介绍这项新技术的功能原理和在微电子器件检测等方面的具体应用。
《现代仪器》  2005年 第03期 下载次数(609)| 被引次数(11)

大型精密物理检验仪器简介 

随着科学技术的发展,对材料的物理检验提出了许多新的要求,而采用一般的检验手段将远远满足不了科研和生产发展的需要。近几十年来,相继出现了透射电子显微镜、电子探针和俄歇电子能谱仪等等一系列大型精密仪器,从而可以对样品的形貌、组份和结构等方面进行综合的研究,这对分析材料的缺陷及破坏的原因、提高材料的性能和发展新材料方...
《理化检验.物理分册》  1981年 第04期 下载次数()| 被引次数()

筒镜分析器最佳工作参数的实验测试 

利用筒镜分析器(CMA)固有的S形象差曲线求得最佳工作参数来设计CMA,可以显著地减小角度象差而大大提高俄歇电子能谱仪(AES)的性能。本文叙述用这一新方法设计的CMA的结构尺寸和测试结果,并与原按二级聚焦法设计的CMA的性能进行了比较。
《仪器仪表学报》  1985年 第01期 下载次数(8)| 被引次数(0)

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