金属氧化物薄膜在中波红外光谱区内光学常数色散特性 

基于金属氧化物薄膜材料在中波红外波段应用的需求,研究了含水状态的TiO2、HfO2、Ta2O5和Y2O34种金属氧化物薄膜在中波红外波段内(2.5~5μm)光学常数的色散特性。利用电子束蒸发沉积技术,在超光滑的硅表面制备了4种氧化物薄膜,基于洛仑兹振子介电常数色散模型,通过透射率光谱反演计算了4种氧化物薄膜的光学常数。...
《光学学报》  2014年 第08期 下载次数(248)| 被引次数(7)

金属氧化物薄膜晶体管器件的稳定性研究 

薄膜晶体管(Thin-Film Transistors,TFT)是场效应晶体管的一种,其制作方法是在衬底基板上沉积各种功能薄膜叠加而成,如绝缘层、半导体有源层及金属电极层。薄膜晶体管是液晶和有源矩阵有机发光二极管显示器的核心部件,其对显示器件的工作性能起到至关重要的作用。薄膜晶体管的背板技术中,非晶硅TFT迁移率较低,...
华南理工大学  博士论文  2014年 下载次数(1753)| 被引次数(7)

Co-M-Al复合金属氧化物薄膜制备及其选择性氧化性能 

近年来,新型薄膜催化剂的设计合成已成为催化研究领域的热点之一。催化氧化反应是一类重要的化学反应,其中烃类的氧化和醇类的氧化现代催化工业生产中占据十分重要的地位,代表反应有苯甲醇的氧化和乙苯的氧化。苯甲醇和乙苯都是重要的化工原料,而且其氧化产物苯甲醛和苯乙酮具有广泛的应用价值。本文采用氨原位合成法在阳极氧化铝基片上制备了...
北京化工大学  硕士论文  2015年 下载次数(96)| 被引次数(0)

基于半导体金属氧化物多孔薄膜气体传感器的研究 

基于金属氧化物材料的半导体气体传感器由于其不可替代的优势特点,如高灵敏度,小尺寸,成本低和简单易制造,已经开发出多种应用,如工业排放控制、居民生活、粮食安全检测、医疗诊断、易爆及有毒气体报警器和环境监测等各个领域。气体传感器的特性,如灵敏度,响应时间,选择性,稳定性和重复性等,很大程度上受比表面积、施体密度、孔隙率、催...
苏州大学  硕士论文  2014年 下载次数(277)| 被引次数(1)

柔性过渡金属氧化物薄膜的化学镀 

过渡金属氧化物薄膜在柔性有机基材表面低成本、大面积的化学溶液法连续加工,是相关柔性光电器件及高分子表面处理领域亟需突破的技术瓶颈,传统方法如溶胶凝胶法由于需要高温烧结,应用受到了较大限制。对于IVB-VIB族d0电子结构过渡金属氧化物薄膜,我们采用水溶性的金属过氧化物作为前驱体,同时引入有机共轭结构小分子作为还原剂,通...
《中国化学会第29届学术年会摘要集——第37分会:能源纳米…》  2014-08-04 下载次数(43)| 被引次数(0)

氧空位对有序多孔金属氧化物薄膜物性的影响 

对于稀磁半导体的研究,最有趣的发现之一是观察到未掺杂宽带隙半导体的室温铁磁性。虽然对于室温铁磁性的起因说法不一,但是氧空位对这类材料铁磁性的影响已经达成共识。近期的研究发现,氧空位对金属氧化物的物理性质影响非常大,比如铁电性,铁磁性以及电阻开关特性,从而受到人们广泛地关注。但是研究过程遇到的问题是室温铁磁性特别弱。由固...
河北师范大学  博士论文  2015年 下载次数(195)| 被引次数()

金属氧化物半导体薄膜气敏机理研究进展 

气体传感器的核心介质为气敏薄膜,而薄膜本身的特性有关键的影响,主要体现在薄膜微观结构如晶粒尺寸、膜厚、空隙率和有效表面积等方面。溶胶-凝胶法由于有方法简单及成膜温度低等优点,得到了广泛研究与应用。本文综述了溶胶-凝胶法制备的金属氧化物薄膜微纳结构与气敏机理进来的研究进展,结果表明最佳的晶粒尺寸约为10nm,最佳膜厚约为...
《功能材料与器件学报》  2011年 第02期 下载次数(609)| 被引次数(14)

IV B族金属氧化物HfO_2和ZrO_2薄膜的制备、表征和性质研究 

本文的主要内容是金属氧化物薄膜HfO2和ZrO2的制备及相应的样品表征和性质研究。我们摸索发展了一种制备HfO2和ZrO2的薄膜的新方法,利用等离子体辅助反应脉冲激光沉积的方法进行样品的制备。主要研究了薄膜的光学性质及电学性质,对薄膜的结构及界面性质、薄膜的光学常数及带宽、薄膜的电容-电压特性以及漏电流-电...
复旦大学  硕士论文  2010年 下载次数(294)| 被引次数(2)

多孔复合金属氧化物薄膜的制备及其性能研究 

尖晶石型铁氧体是铁氧体发展史上的一类重要材料。近年来,尖晶石型铁氧体薄膜材料的制备、结构、性能和应用已经成为国际上新型薄膜材料研究的一个热点。尖晶石型铁氧体薄膜以其优异的磁学特性,良好的机械耐磨性和稳定的化学性能而成为颇具应用价值的材料引起人们的关注。 本论文提出一种在单晶硅基体上由层状前体,经过焙烧...
北京化工大学  硕士论文  2008年 下载次数(337)| 被引次数(0)

紫外光照下金属氧化物薄膜气敏特性研究进展 

介绍了近期文献中对紫外光照下半导体金属氧化物薄膜气敏特性的研究结果:紫外光照引起SnO2,In2O3,ZnO薄膜电导显著增大;提高室温下薄膜对CO,NO2气体检测的灵敏度,减少响应和恢复时间;介绍了一种对紫外光增强气敏机制的物理模型分析方法。最后讨论了当前存在的难点问题(室温下气体检测的灵敏度不高及使用紫外光源不便)及...
《电子元件与材料》  2005年 第07期 下载次数(345)| 被引次数(12)

新型金属氧化物薄膜晶体管的性能研究及工艺开发 

高性能薄膜晶体管(TFT)背板技术是以有源驱动有机发光二极管(AMOLED)为代表的平板显示(FPD)产业的共性技术和核心技术,也是FPD产业提高产品质量、降低生产成本的重要环节。随着大尺寸、高分辨、3D显示技术的快速发展,其对TFT背板的要求越来越高。然而,传统的非晶硅TFT迁移率较低,无法实现高分辨率显示;多晶硅T...
华南理工大学  博士论文  2014年 下载次数(1121)| 被引次数(5)

原子层淀积制备金属氧化物薄膜研究进展 

原子层淀积(ALD)技术作为一种先进的薄膜制备方法近年来越来越得到重视,它能精确地控制薄膜的厚度和组分,实现原子层级的生长,生长的薄膜具有很好的均匀性和保形性,因而在微电子和光电子等领域有广泛的应用前景。本文综述了ALD技术的基本原理,及其在金属氧化物薄膜制备上的研究进展。
《功能材料》  2005年 第06期 下载次数(520)| 被引次数(11)

层状化合物及其复合金属氧化物薄膜的制备与性能研究 

层状双羟基复合金属氧化物(LDHs)也称类水滑石(HTlcs),是一类合成的阴离子粘土。近年,三元类水滑石及其复合金属氧化物(LDO)在催化等领域显示出广阔的应用前景,因而受到人们的普遍重视,已成为国内外催化学科研究的热点之一。但是目前国内外都尚无相关涉及三元LDHs及LDO薄膜的制备研究文献及专利报...
北京化工大学  硕士论文  2007年 下载次数(298)| 被引次数(0)

金属氧化物和有机薄膜晶体管的溶液法制备与应用研究 

高性能薄膜晶体管(TFT)是平板显示产业中背板技术的核心部件,也是提高电子设备显示效果、降低成本的重要环节。目前,基于硅半导体(无定型和多晶)的晶体管仍是商业中应用最广的。然而,随着柔性、大面积、高分辨和三维显示技术的发展,对晶体管背板的性能要求越来越高,非晶硅的低迁移率和脆性,多晶硅性能的非均一性限制了它们在这些领域...
苏州大学  博士论文  2016年 下载次数(138)| 被引次数()

复合金属氧化物薄膜电极的制备及除盐性能研究 

水滑石不仅在水处理吸附方面有很大应用,而且在超级电容器方面有广泛研究。本研究首先采用了共沉淀法,然后利用原位-水热法由泡沫镍作为基体,在泡沫镍表面合成了镍铝复合氧化物(NiAl-MMO)薄膜、镍钴铝复合金属氧化物(NiCoAl-MMO)薄膜、负载钯的镍铝复合氧化物(NiAl-MMO/Pd)薄膜即相应的类水滑石煅烧产物。...
河南工业大学  硕士论文  2016年 下载次数(85)| 被引次数()

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