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加速度传感器ICP关键制作工艺及检测电路的研究  CNKI文献

随着微机械工业的越来越成熟,继压力传感器后,MEMS加速度传感器也成为了成功的商业化器件。本文对微机械加速度传感器进行了设计分析,并深入研究了器件的制作工艺尤其是ICP刻蚀工艺,并制作了检测电路。首先,通过材料力...

周敬然 导师:陈维友 吉林大学 2008-05-01 博士论文

关键词: 加速度传感器 / 微机械 / 检测电路 / 折叠梁

下载(872)| 被引(7)

基于聚合物分散液晶的可变光衰减器的材料制备及器件实现  CNKI文献

可变光衰减器(VOA),是一种旨在降低波导中传输的光功率的器件,可以按照用户的要求将光信号能量进行预期地衰减,它是随着光通信事业发展出现的一种非常重要的纤维光学无源器件。可变光衰减器在光纤通信、光纤传感器及光...

李福民 导师:陈维友 吉林大学 2008-05-01 硕士论文

关键词: VOA / V型定位槽 / PDLC / ITO

下载(209)| 被引(5)

硅基MEMS光强型光纤加速度计的设计与制作  CNKI文献

微光机电系统(Micro-opto-electro-mechanical System, MOEMS)是微光学、微机械、微电子技术的融合,由于采用了集成工艺制作技术,具有体积小,响应快,集成定位精确,具有大规模生产能力,价格低廉的特点。采用微机械加工...

玄伟 导师:陈维友 吉林大学 2007-05-01 硕士论文

关键词: 加速度计 / 光强 / 光纤 / MEMS

下载(512)| 被引(1)

平行梁结构电热微夹持器研究  CNKI文献

微夹持器是微装配与微操作中的执行部件,广泛应用于细胞操作、微镜头装配等场合,其性能的优劣直接影响到夹持动作的成败。论文综述了几种典型微夹持器的工作原理,并比较了各自特点。选择具有结构简单、夹持力大等优点...

阴学朴 导师:李宇鹏 燕山大学 2007-04-01 硕士论文

关键词: MEMS / 电热驱动 / 微夹持器 / 有限元法

下载(254)| 被引(4)

2×2微机械(MEMS)光开关  CNKI文献

本文通过对MEMS光开关工作原理的系统分析,根据静电驱动MEMS光开关对机电特性和光耦合特性的要求,主要以2DMEMS光开关为研究方向,开展了新型MEMS工艺加工技术研究、机械结构设计研究、光耦合技术研究。设计实现了一...

徐永青 导师:杨银堂 西安电子科技大学 2006-10-10 硕士论文

关键词: 微机械 / MEMS / 光开关 / 静电驱动

下载(514)| 被引(3)

无线多传感器网络红外热释电传感器的微小型化设计与研究  CNKI文献

对无线多传感器网络中红外热释电传感器模块进行微小型化设计,一方面利用实际的工艺进行整个传感器的电路板设计,另一方面提出利用微机械电子系统制造(MEMS技术)进行整个模块的微型化设计是整个课题的构思设想。 ...

舒辉 导师:孟迎军 南京理工大学 2006-06-01 硕士论文

关键词: 无线多传感器网络 / 红外热释电传感器 / 热释电效应 / 微系统

下载(568)| 被引(5)

MOEMS阵列光开关的制作与性能测试  CNKI文献

微光机电系统(Micro-opto-electro-mechanical System, MOEMS)是微光学、微机械、微电子技术的融合,由于采用了集成工艺制作技术,具有体积小,响应快,集成定位精确,具有大规模生产能力,价格低廉的特点。它的出现为光开...

王丹 导师:陈维友 吉林大学 2006-05-10 硕士论文

关键词: MOEMS / 光开关 / 驱动电压 / 开关时间

下载(269)| 被引(0)

基于MEMS技术的Fabry-Perot腔长可调滤波器研究  CNKI文献

法布里-珀罗(Fabry-Perot)效应利用多光束干涉效应能够产生精细条纹,具有极高的色分辨本领,利用F-P效应制作的各种滤波器也成为现代光通信和传感器领域中的重要器件。利用MEMS(Micro Electro-Mechanical System)技术...

龙文华 导师:王跃林 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) 2006-05-01 硕士论文

关键词: F-P滤波器 / 微机电系统 / 静电驱动 / 金属薄膜

下载(445)| 被引(4)

MOEMS光开关封装的设计与制作  CNKI文献

全光网络解决了目前光电交换的瓶颈,光开关是实现全光网络中的关键技术之一。MOEMS光开关技术以其无法比拟的技术优势,将可能在下一代全光通信网络中起到主导地位。本论文正是围绕光开关的封装工作展开的,主要有以下四...

赵莉娜 导师:梁静秋 中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所) 2005-12-01 硕士论文

关键词: 全光网络 / MOEMS光开关 / 插入损耗 / 湿法腐蚀

下载(385)| 被引(6)

基于(100)硅片的MOEMS光开关的研制  CNKI文献

微机械电子系统(Micro-electro-mechanical System, MEMS)是以微传感器、微执行器以及驱动和控制电路为基本元器件组成的自动性能高、可以活动和控制、机电合一的微机械装置。MEMS器件和系统具有体积小、重量轻、功耗...

潘建旋 导师:陈维友 吉林大学 2005-05-10 硕士论文

关键词: MOEMS / 光开关 / 开关时间

下载(213)| 被引(0)

MEMS压阻式加速度传感器的研究  CNKI文献

论文简述了微电子机械系统(MEMS)技术的发展概况,并对MEMS压阻式加速度传感器进行了研究。详细介绍了压阻式加速度传感器的工作原理和结构特性,具体讨论了器件的设计、工艺、封装和测试。 传感器设计...

张艳凤 导师:姜德龙 长春理工大学 2004-12-01 硕士论文

关键词: 微电子机械系统 / 压阻 / 加速度传感器 / “三明治”结构

下载(1195)| 被引(11)

微光机电系统(MOEMS)研究综述  CNKI文献

在过去的十几年里,随着微机械加工技术的惊人发展,微机电系统(MEMS)与光学技术的结合应用成为可能,这种结合体被称为微光机电系统(MOEMS)。作为一个新兴的多学科交叉的研究领域,其也成为了光学器件发展的新方向。本文...

付博 赵月月 《传感器世界》 2004年10期 期刊

关键词: 微光机电系统(MOEMS) / 微机电系统(MEMS)

下载(1451)| 被引(31)

微机械光开关微反射镜的制作和驱动结构的有限元分析  CNKI文献

将微机电系统(MEMS)与光器件融合于一体的微光机电系统(MOEMS)是MEMS的一个重要的研究方向,它采用微细加工的技术手段,把微光学器件、微电子器件和微机械结构或装置集成在相兼容的基体材料上,充分发挥三者的综...

纪平 导师:陈维友 吉林大学 2004-05-01 硕士论文

关键词: 光开关 / 插入损耗 / 微反射镜 / 驱动结构

下载(439)| 被引(0)

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