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化学汽相淀积(CVD)法合成金刚石薄膜的ESR研究 CNKI文献
1前言和自然金刚石一样,用化学汽相淀积法合成的金刚石簿膜有许多优越的物理性质,如宽带隙,高硬度、高热导、高电子和空穴迁移率等;特别是掺杂后可成为高性能半导体材料。但合成过程中膜内产生的大量缺陷限制了它作为...
张文军 吴全忠... 首届中国功能材料及其应用学术会议论文集 1992-10-26 中国会议
关键词: 金刚石薄膜 / 悬挂键 / 化学汽相淀积 / 金刚石膜
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