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小量程MEMS电容式压力传感器设计与工艺研究  CNKI文献

研究小量程压力传感器的目的在于解决小量程压力环境下的压力测量问题。针对传统MEMS压力传感器在测量小量程压力时灵敏度会下降的问题,本文设计了一种小量程压力传感器。鉴于电容式传感器在测量小量程压力时的潜在优...

张瑞 导师:熊继军 中北大学 2016-05-25 硕士论文

关键词: 小量程 / 电容式 / 压力传感器 / 表面微加工工艺

下载(899)| 被引(11)

MEMS加速度传感器及其调理电路测试技术研究  CNKI文献

MEMS(Micro-electro-mechanical Systems,微机电系统)加速度传感器是新一代地震检波器的核心部件,它主要由MEMS传感器件、ASIC(Application SpecifiedIntegrated Circuits,专用集成电路)读出电路等组成,可实现...

张寒 导师:乔东海 苏州大学 2014-05-01 硕士论文

关键词: MEMS加速度传感器 / ASIC读出电路 / 噪声测试

下载(1335)| 被引(13)

微加速度传感器的结构特性与仿真研究  CNKI文献

微机械系统(MEMS)以其微型化、集成化等优点,在汽车工业、生物医学、信息、军事和航天工程等领域具有极为广泛的应用和广阔的前景。然而,传统的研究微机电系统的方法一般是在对材料进行研究的基础上,分析器件的结...

马淑敏 导师:蒋亚东 电子科技大学 2013-04-10 硕士论文

关键词: MEMS / CAD / 加速度传感器 / 悬臂梁结构

下载(355)| 被引(3)

差动电容式加速度传感器测量系统的研究与应用  CNKI文献

传感器技术作为现代科学技术及各项领域的重要技术基础,是当今世界上令人瞩目、迅猛发展的一种高新技术,是一个国家科学技术发展和综合实力的重要标志之一。作为传感器的一个重要分支,加速度传感器受到了越来越多的...

王小鑫 导师:王再英 西安科技大学 2012-06-30 硕士论文

关键词: 变间隙式差动电容 / 张弛振荡电路 / DSP数据采集系统 / LabVIEW

下载(600)| 被引(8)

基于微惯性测量单元的末敏弹稳态扫描参数测量方法研究  CNKI文献

末敏弹是末端敏感弹药的简称,是一种攻击装甲车辆顶部装甲的灵巧弹药,如何获取末敏弹在稳态扫描阶段的参数是末敏弹技术研究急需解决的问题。本文采用微惯性测量单元来进行末敏弹稳态扫描参数的测量,在原有飞行体姿...

马凯臣 导师:范锦彪 中北大学 2012-04-28 硕士论文

关键词: 末敏弹 / 惯性测量 / 微惯性测量单元 / 陀螺

下载(152)| 被引(6)

嵌入可动电极的微惯性传感器的设计与相关IC检测电路研究  CNKI文献

MEMS电容式微惯性传感器因其具有尺寸小、灵敏度高、稳定性好、温度漂移小、功耗低、很好的工作在力平衡模式下等等优点,在军事、汽车工业、生物医学、消费电子、惯性导航等领域得到广泛的应用。 本论文首先分析了...

王晓迪 导师:董林玺 杭州电子科技大学 2012-01-01 硕士论文

关键词: MEMS / 电容式 / 微惯性传感器 / 电磁驱动

下载(127)| 被引(5)

微机电系统的研究与展望  CNKI文献

微机电系统(MEMS)是利用集成电路制造技术和微架构技术把微结构、微传感器、微执行器、控制处理电路甚至接口、通信和电源等制造在一块或多块芯片上的微型集成系统。MEMS技术是多种学科交叉融合具有战略意义的前沿技术...

陈勇华 《电子机械工程》 2011年03期 期刊

关键词: 微机电系统 / 纳电子机械系统 / 微传感器

下载(1517)| 被引(76)

MEMS数字检波器采集系统技术研究  CNKI文献

地震检波器是地震数据采集的关键设备,其性能好坏直接影响地震勘探数据的质量。随着地震勘探技术的发展,特别是近几年发展的高分辨率勘探,需要动态范围大、失真低、抗干扰能力强的检波器,传统检波器难以达到要求。新型...

王春田 导师:王彦春 中国地质大学(北京) 2011-05-01 博士论文

关键词: MEMS / 数字检波器 / 采集系统 / 研究与测试

下载(1006)| 被引(28)

微机械电容式加速度计的设计及制备  CNKI文献

微机械电容式加速度计是一种典型的利用表面微加工( Surface Micromachining)技术设计制造的惯性器件,因其高精度、良好稳定性以及与集成电路(IC)工艺技术良好兼容等优点,被广泛的应用于军事和民用各个领域,世界各国的...

韩小林 导师:袁凯 电子科技大学 2011-04-01 硕士论文

关键词: 微机电系统 / 微机械加速度计 / 表面微加工 / ANSYS

下载(535)| 被引(0)

基于6-SPS并联机构的压电式六维加速度传感器的研究  CNKI文献

六维加速度传感器是一个多学科交叉的机电一体化系统,是机器人、航空航天等领域获得动力学参数的一种惯性元件。与六维加速度传感器相关的一些关键技术问题未彻底解决,国内外对其研究还处于探索阶段。本文提出并研究了...

尤晶晶 导师:李成刚 南京航空航天大学 2009-12-01 硕士论文

关键词: 六维加速度传感器 / 并联机构 / 动力学 / 灵敏度

下载(406)| 被引(8)

低功耗闭环加速度计接口ASIC设计  CNKI文献

电容式微机械加速度计是近年来在市场上取得巨大成功的加速度计,在消费市场和军工国防领域都有着广泛的应用。许多公司和研究机构都在致力于高精度或大量程的加速度计的研制,这其中低功耗和数字化是加速度计研究的两个...

司朝伟 导师:陈伟平 哈尔滨工业大学 2009-06-01 硕士论文

关键词: 闭环加速度计 / 低功耗 / 输出动态范围 / 开关运放

下载(222)| 被引(1)

面向微加速度计系统的运放设计与优化  CNKI文献

微机械加速度计作为一种重要的惯性器件,在汽车、消费电子、惯性制导等方面有广泛的应用前景。本文介绍了低噪声和高速全差分运算放大器的设计基本原理,另外针对本实验室的闭环加速度计系统结构,设计了其内部的运算放...

王利颖 导师:谭晓昀 哈尔滨工业大学 2009-06-01 硕士论文

关键词: 微系统 / 加速度传感器 / 低噪声运算放大器 / 全摆幅运算放大器

下载(183)| 被引(1)

闭环微加速度计系统性能分析与优化  CNKI文献

目前微加速度计的应用领域越来越广,甚至涉及到一些特殊领域:石油勘探、导航、地震检测等,这些领域对加速度计的性能提出了更高的要求。对高精度微加速度计的研究成为国内外关注的焦点。 本文在分析了闭环微加速...

陈炜 导师:张宇峰 哈尔滨工业大学 2009-06-01 硕士论文

关键词: 闭环微加速度计 / 噪声特性 / 温漂 / 稳定性

下载(238)| 被引(2)

基于MEMS加速度传感器的空间运动轨迹追踪系统设计与实现  CNKI文献

随着计算机科学的不断发展,人机交互技术越来越受到人们的重视,空间定位与运动轨迹追踪系统将作为动作检测与输入设备被广泛应用于虚拟现实人机交互领域。目前,用于虚拟现实人机交互过程的空间定位与轨迹追踪系统主要...

胡三庆 导师:刘勃 华中科技大学 2009-05-01 硕士论文

关键词: 空间运动 / 轨迹追踪 / 加速度传感器 / 陀螺仪

下载(2049)| 被引(68)

基于巨应力阻抗效应的加速度计若干技术研究  CNKI文献

巨应力阻抗(Giant Stress-impedance,简称GSI)效应是继巨磁阻抗(GMI)效应之后,在软磁材料领域发现的又一个非常具有研究价值和实用价值的特殊物理现象。GSI效应是指被高频信号激励的某种非晶态合金,当其受到外应力作用...

白钰 导师:卜雄洙 南京理工大学 2009-05-01 硕士论文

关键词: 巨应力阻抗效应 / 复合薄膜 / 加速度计 / ANSYS

下载(172)| 被引(3)

基于无线网络的构筑物强震监测仪器设计  CNKI文献

设计了基于MEMS加速度传感器和无线网络传输的构筑物强震监测仪器,仪器由MEMS传感器、数据采集器、无线网络传输模块及存储模块组成。该强震监测仪器具有体积小、质量轻、功耗低、价格低的优点。测试证明,其性能可以满...

唐巍 滕云田... 《地震研究》 2009年02期 期刊

关键词: 构筑物 / 强震监测 / MEMS / 无线网络

下载(78)| 被引(1)

小直径高速旋转弹姿态参数测试技术研究  CNKI文献

导弹飞行姿态信息的获取是现代化精确制导武器研究过程中的关键技术之一。在传统惯性测量系统中,常利用线加速度计测量物体的加速度,利用陀螺测量物体的角速度。但是由于陀螺难以承受大的加速度和角加速度冲击,使得目...

郝宏伟 导师:马铁华 中北大学 2009-03-25 硕士论文

关键词: 加速度计 / 高速旋转弹 / 姿态参数 / 数据采集

下载(413)| 被引(6)

MOSFETs力/磁传感器集成化研究  CNKI文献

多功能集成传感器以其体积小、重量轻及集成一体化等诸多优点具有广阔应用领域。本文采用MEMS工艺技术在n型单晶硅片上腐蚀硅杯,再利用CMOS工艺技术在硅膜上的最大应力区范围内制作四个沟道互相平行的MOSFET,其中两个...

任华 导师:温殿忠 黑龙江大学 2008-05-10 硕士论文

关键词: MOSFET / 压力传感器 / 磁传感器 / 多功能传感器

下载(205)| 被引(5)

纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究  CNKI文献

随着科学技术的飞速发展,在航空航天、环境监测、工业生产、医学、军事等领域,经常需要对压力、温度、磁场、湿度、加速度和流速等多个参数进行同时测量。在不同应用领域,针对环境适应性、体积、成本和功能的限定,对传...

赵晓锋 导师:温殿忠 黑龙江大学 2008-04-04 博士论文

线加速度计的现状与发展趋势综述  CNKI文献

讨论了线加速度计的基本原理、特点和主要技术性能指标,介绍了国内外的研制情况,并讨论了线加速度计未来的发展趋势。

赵君辙 邢馨婷... 《计测技术》 2007年05期 期刊

关键词: 线加速度计 / 现状 / 发展

下载(1127)| 被引(62)

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