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椭偏法测量AIN薄膜的光学常数 CNKI文献
氮化铝是Al-N二元系中唯一稳定的相,它具有电阻率高,热膨胀系数低,硬度高,化学稳定性好,热导率高等特点。此外,氮化铝从紫外到红外频段都具有很高的光学透射比,这些特性使氮化铝膜在微电子和光电器件等许多方面都有着...
周杨
梁海锋...
第十一届全国光学测试学术讨论会论文（摘要集）
2006-08-20
中国会议
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