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窄线宽激光器微环共振腔的研究  CNKI文献

窄线宽激光器具有高时间相干性,低相位噪声,在光通信、光传感、光谱学以及测量和检测等领域中具有重要应用。现有半导体激光器具有低成本、低功耗、尺寸小等特点,而其输出线宽通常较宽,因此,开发具有窄线宽的半导体激...

陈敏超 导师:张晶 长春理工大学 2022-06-01 硕士论文

关键词: 窄线宽激光器 / 微环谐振器 / 氮化铝 / 电子束光刻

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高热导电绝缘氮化铝陶瓷在宇航器件中的应用:概述、挑战和...  CNKI文献

氮化铝(AlN)陶瓷具有高热导、高电阻、低介电损耗、低膨胀以及良好的力学性能等特性,可用作高性能导热基板和陶瓷封装材料。本工作评述了AlN粉体及陶瓷的制备技术、性能特性及宇航应用等方面的研究状况,讨论了宇航应...

何端鹏 黄雪吟... 《硅酸盐学报》 2022年06期 期刊

关键词: 氮化铝 / 高导热 / 电绝缘 / 宇航器件

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超宽禁带半导体材料AlN的掺杂技术研究  CNKI文献

Al N拥有宽带隙、高击穿场强、好的热稳定性等优良特性,能够应用于制备高温、高功率电子器件、深紫外光电器件、声表面波器件和压电器件等。Al N作为宽禁带半导体材料应用于高频、高功率器件和电路的研究还处于起步阶...

熊倩 导师:杨发顺 贵州大学 2022-05-01 硕士论文

关键词: Al / N薄膜 / 第一性原理计算 / 热扩散掺杂

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基于氮化铝薄膜的高频、高性能压电声波谐振器的设计与制备...  CNKI文献

全球第五代(The Fifth-Generation,简称5G)移动通信技术正在飞速发展,推动终端射频网络系统全面升级,压电声波谐振器凭借其高性能、低损耗、小型化以及低成本等优势,被广泛应用于移动通信系统射频前端的滤波器中。为满...

刘会灵 导师:赵祥永 上海师范大学 2022-05-01 硕士论文

关键词: 氮化铝薄膜层状结构 / 声表面波 / 体声波 / 有限元仿真

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基于金属氧化物的薄膜晶体管制备工艺与关键特性研究  CNKI文献

金属氧化物薄膜晶体管(MO TFT)是目前的研究热点,与传统的α-Si TFT比较,其性质更加优秀,其中以氧化铟镓锌(IGZO)作为有源层的器件拥有高迁移率,透光性好,均一性稳定性好,可弯曲,制作工艺简单等特点,被广泛而深入的研...

王宇婷 导师:胡绍刚 电子科技大学 2022-04-01 硕士论文

关键词: 薄膜晶体管 / IGZO / 热稳定性 / 光照稳定性

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原子层沉积超薄氮化铝薄膜的椭圆偏振光谱法表征  CNKI文献

采用原子层沉积(ALD)工艺在硅衬底上生长了35 nm以下不同厚度的超薄氮化铝(AlN)晶态薄膜。利用椭圆偏振光谱法在波长275~900 nm内测量并拟合薄膜的厚度及折射率和消光系数等光学参数。利用原子力显微镜(AFM)表征AlN晶...

瞿敏妮 乌李瑛... 《微纳电子技术》 2022年02期 期刊

关键词: 椭圆偏振光谱法 / 折射率 / 超薄膜 / 氮化铝(AlN)

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太赫兹铝超导动态电感探测器阵列设计、制备与特性研究  CNKI文献

动态电感探测器(Kinetic inductance detectors,KID)是由加州理工学院于2003年首次实验验证,至今在天文观测领域表现出极大潜力的一种超导探测器。相比于其他类型超导探测器,其具有以下独特优势:采用频分复用读出技术...

石晴 导师:史生才 中国科学技术大学 2021-09-10 博士论文

关键词: 太赫兹 / 超导 / 动态电感探测器 / 光子噪声

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氮化铝和铌酸锂微腔光频梳的研究  CNKI文献

集成的高相干性自参考光频梳(Optical frequency comb)在超快精密测距、光学频率合成、光学时钟等领域展现出巨大的应用前景。为实现低噪声且倍频程展宽的光频梳,本文首先研究了基于单晶氮化铝材料的光学微腔,及倍频程...

刘佳 导师:国伟华 华中科技大学 2021-05-01 博士论文

关键词: 氮化铝 / 铌酸锂 / 光频梳 / 光孤子

下载(199)| 被引(0)

二维VB族过渡金属硫化物的制备及光学磁学性质研究  CNKI文献

二维过渡金属硫属化合物拥有丰富的结构和独特的性质,在微电子、光电子、自旋电子、催化以及储能器件等领域受到研究者们的广泛关注。VB族过渡金属硫化物为其中的重要组员,具有优异的光学性质、多样化的磁性状态、金属...

苏建伟 导师:翟天佑 华中科技大学 2021-05-01 博士论文

关键词: 二维材料 / VB族硫属化合物 / 光学性质 / 各向异性

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一维光声晶体与回音壁腔的计算与应用研究  CNKI文献

腔光力学是物理学的一个分支,主要研究微纳尺度介质上光场与机械运动之间的相互作用。它可用于研究丰富的光物质相互作用过程,可实现量子基态冷却、量子纠缠、电磁诱导透明及慢波传播等物理现象,在量子信息科技领域具...

吕晓敏 导师:郭光灿 电子科技大学 2021-03-23 硕士论文

关键词: 基态冷却 / 硅基一维光声晶体微腔 / 工艺误差 / 颗粒机械特性

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激光调控氮化物薄膜晶体质量研究  CNKI文献

图形化GaN、AlN或蓝宝石衬底,已被业内证明是提高薄膜质量的有效方法,而激光作为单步制备微/纳米结构的一种新方法已应用于很多领域。飞秒激光可以高精度、高效率地直接在材料上刻蚀形成小尺度的微纳图形;也可以诱导薄...

东芳 导师:刘胜 武汉大学 2021-03-01 博士论文

关键词: GaN / AlN / 飞秒激光直写 / LIPSS

下载(75)| 被引(0)

微型非制冷近红外压电谐振探测器的表面修饰及传感性能研究  CNKI文献

非制冷近红外压电谐振探测器是以微机电系统工艺为基础制备的一类近红外传感器,它可将红外辐射能量直接转换为谐振频率的变化,在小型化,便携式和高信噪比等方面显示出独特的优势。但较低的灵敏度和高检测极限,以及复杂...

郭全全 导师:王艳艳 天津大学 2020-12-01 硕士论文

微结构湿法腐蚀和释放技术研究  CNKI文献

湿法腐蚀是微机械加工技术中的关键工艺之一,具有腐蚀速率快、选择性和均匀性好、设备简单、可批量生产等优点,因此在微结构的释放技术中得到广泛应用。本论文针对微结构湿法腐蚀和释放技术中的<110>晶向微梁的...

朱安赐 导师:韩建强 中国计量大学 2020-08-01 硕士论文

关键词: 湿法腐蚀 / 微结构释放 / 硅的各向异性腐蚀 / BHF-Gl溶液

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基于AlN减反射膜的4H-SiC光导开关研究  CNKI文献

高功率脉冲技术在国防军事、航空航天、重工业等领域有着广泛的应用,功率开关在功率脉冲系统中担任着重要的角色。光导开关与其他类型的功率开关相比具有高峰值功率、高频率、低触发抖动、响应速度快等特点,是超高超快...

赖开元 导师:顾玉宗 河南大学 2020-08-01 硕士论文

关键词: 光导开关 / 4H-SiC / AlN减反射膜 / Silvaco

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氮化铝周期性微纳结构阵列的可控制备研究  CNKI文献

氮化铝(AlN)作为第三代宽禁带半导体材料,具有禁带宽度大,介电常数小,电子漂移速率较高,导热率高,化学性质稳定等许多优良的特性,是深紫外光电器件、高温高频大功率微波器件等第三代半导体产业的核心,尤其在军事、卫星...

李恩达 导师:张纪才 北京化工大学 2020-06-12 硕士论文

关键词: 氮化铝 / 刻蚀 / 微/纳米阵列 / 柔性衬底

下载(42)| 被引(0)

高性能氮化铝钪薄膜的制备及性能表征  CNKI文献

氮化铝钪(ScAlN)压电薄膜材料具有声速高,热稳定性好、带隙宽、尤其是与CMOS工艺兼容等显著优点,同时可以克服氮化铝(AlN)压电薄膜存在的压电系数小、机电耦合系数低等不足,在体声波、声表面波、能量收集、超声探测以...

陈宇昕 导师:尚正国 重庆大学 2020-06-01 硕士论文

关键词: 氮化铝 / 氮化铝钪 / 磁控溅射 / 压电薄膜

下载(175)| 被引(0)

金属/介质多层微结构的吸波器件研究  CNKI文献

随着精密加工技术和生长技术的不断进步,现代光学器件朝着精密化和微型化快速发展,微纳光学器件也随之受到人们广泛关注。自Landy等人首次提出超材料近乎完美吸波器(MPA)后,超材料吸波器件慢慢成为微纳光学器件中的热...

齐红龙 导师:桑田 江南大学 2020-06-01 硕士论文

基于磁控溅射制备技术面向大尺寸基板氮化铝薄膜的研究  CNKI文献

微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System MEMS)是指可以批量制造的微设备或系统,主要包含微机械,微传感器,微执行器以及信号处理、控制电路,通信和电源等。其工作原理是外部环境物理、化学和生物等信号输入,通过...

李宏广 导师:王丽丽 长春大学 2020-06-01 硕士论文

关键词: 微机电系统 / 氮化铝薄膜 / 磁控溅射 / 膜厚均一性

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基于光学超表面的导模共振和结构色特性研究  CNKI文献

超表面通过亚波长单元阵列,实现电磁波相位、振幅、偏振等特性的有效操控,结构色的研究一直是超表面领域重要的研究方向。相比传统的化学染料普遍存在着环境污染和易于褪色的情况,结构色提供了一种对环境友好的可持续...

洪云帆 导师:温文龙 中国科学院大学(中国科学院西安光学精密机械研究所) 2020-06-01 硕士论文

关键词: 超表面 / 导模共振 / 结构色 / 高饱和度

下载(319)| 被引(0)

高熵合金(MoNbHfZrTi)基高温太阳能吸收涂层的可控制备及...  CNKI文献

基于高熵合金基涂层优异的性能,如高的强度、高的硬度、在高温下良好的热稳定性、优异的抗腐蚀性,本文率先在国际上开展了高熵合金基太阳能吸收涂层的可控制备及其构效关系研究。在氮气和氧气的氛围下,通过磁控溅射的...

何成玉 导师:郭惠霞 西北师范大学 2020-05-01 硕士论文

关键词: 高熵合金薄膜 / 磁控溅射 / 沉积参数 / 吸收截止限

下载(271)| 被引(1)

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