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电弧离子镀过渡金属氮化物硬质薄膜的成分设计基础研究  CNKI文献

过渡金属氮化物陶瓷材料因具有优异的力学、电学、热学和光学等性能,已被广泛应用于机械加工、航空航天、交通运输、能源环境、电子信息等领域,特别是作为硬质薄膜材料,曾在上世纪八十年代引起过机械加工业广泛的技术...

韩克昌 导师:林国强 大连理工大学 2017-12-01 博士论文

关键词: 脉冲偏压电弧离子镀 / 过渡金属氮化物薄膜 / 强化机理 / 成分设计

下载(261)| 被引(4)

脉冲偏压电弧离子镀沉积Ti-Cu-N纳米复合膜  CNKI文献

纳米复合膜作为超硬膜的一大分支,以其优异的机械性能备受国内外科研工作者的青睐,其在工模具、刀具表面抗磨损、延长寿命等方面的应用领域逐渐扩大,具有很好的发展前景和应用潜力。纳米复合膜成为当前表面工程领域...

王学琪 导师:李凤岐 沈阳理工大学 2011-12-01 硕士论文

关键词: 电弧离子镀 / 纳米复合膜 / 择优取向 / 硬度

下载(124)| 被引(3)

深孔模具内壁电弧离子镀沉积类金刚石薄膜研究  CNKI文献

经过几十年的发展,外表面的薄膜沉积技术取得了长足的进步,已经在生产中得到了广泛应用,取得了巨大的经济效益。但是,在生产实践中以内表面为工作面的工件也同样门类众多,如发动机的缸筒、运输管道、离子加速管、炮筒...

刘琪 导师:林国强 大连理工大学 2010-05-15 硕士论文

关键词: 深孔内壁 / 电弧离子镀 / 高温永磁体 / DLC薄膜

下载(322)| 被引(0)

脉冲偏压离子镀的研究现状  CNKI文献

脉冲偏压电弧离子镀的成膜过程远离热力学平衡态,与直流偏压电弧离子镀相比,具有成膜温度低、薄膜质量好和应力低等优点。从大颗粒净化作用、低温沉积、沉积速率、微观组织结构、内应力与结合强度、硬度等方面,综述了...

张平 杜军... 《装甲兵工程学院学报》 2009年02期 期刊

关键词: 脉冲偏压 / 电弧离子镀 / 热力学平衡态

下载(309)| 被引(7)

脉冲偏压电弧离子镀沉积TiO_2与AlN介电薄膜  CNKI文献

介电薄膜是应用最广泛的一类功能薄膜,在机械、电子、信息、航天等领域起着越来越重要的作用。但由于其导电性能不好,给它们的沉积制备带来了难度。比如采用最为常用的PVD技术之一即离子镀方法来制备这类薄膜时,由...

张敏 导师:董闯 大连理工大学 2007-12-30 博士论文

关键词: 脉冲偏压电弧离子镀 / 介电薄膜 / 氧化钛薄膜 / 氮化铝薄膜

下载(430)| 被引(5)

脉冲偏压电弧离子镀的工艺基础研究  CNKI文献

电弧离子镀(Arc Ion Plating,AIP)是三大PVD薄膜制备技术(电弧离子镀、磁控溅射及蒸发镀)之首,在工业生产中应用最为广泛,是TiN类硬质薄膜合成的不可替代的生产工艺,曾在二十世纪八十年代里引起过一场广泛的刀具技术革...

林国强 导师:闻立时 大连理工大学 2007-10-01 博士论文

脉冲偏压电弧离子镀基础问题及应用研究  CNKI文献

脉冲偏压电弧离子镀引进了脉冲偏压频率和占空比,增加了沉积离子能量, 但同时工艺过程复杂难控。我们曾经从等离子体鞘层理论和模拟电路出发,建立电弧等离子体负载的等效电路模型,指出了工艺不稳定性源于等离子体鞘层...

张敏 林国强... TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集 2007-08-01 中国会议

关键词: 电弧离子镀 / 占空比 / 等离子体鞘层

下载(31)| 被引(0)

脉冲偏压电弧离子镀的工艺基础与技术开发  CNKI文献

脉冲偏压电弧离子镀是近年来出现的先进镀膜技术之一,但由于较传统工艺多引进了脉冲偏压频率和占空比两项动态参量,使得工艺过程变得更加复杂难控,一直限制着技术的推广应用。本文在针对脉冲偏压电弧离子镀的工艺基础...

林国强 赵彦辉... TFC'05全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集 2005-09-01 中国会议

关键词: 工艺基础 / 电弧离子镀

下载(54)| 被引(1)

电弧离子镀的等离子体负载特性与脉冲偏压电源研究  CNKI文献

脉冲偏压电弧离子镀是近年来离子镀技术的一个重要发展方向,但目前制约脉冲偏压电弧离子镀技术发展的一些问题亟待解决。本论文就其中电弧离子镀的等离子体负载特性、脉冲偏压电源及脉冲偏压电源与电弧离子镀等离子体...

戚栋 导师:郭东明 大连理工大学 2005-05-01 博士论文

关键词: 电弧离子镀 / 等离子体负载 / 脉冲偏压电源 / 匹配

下载(1064)| 被引(19)

脉冲偏压电弧离子镀大颗粒净化的理论与实验研究  CNKI文献

本文改进和完善了脉冲偏压电弧离子镀的大颗粒净化的理论模型,系统研究了脉冲偏压作用下的等离子体鞘层的物理特性和大颗粒在鞘层中的充电、受力以及运动行为,从理论上给出脉冲偏压工艺对于大颗粒净化效应的合理解释...

郭慧梅 导师:林国强 大连理工大学 2004-05-01 硕士论文

关键词: 脉冲偏压 / 电弧离子镀 / 大颗粒 / 等离子体鞘层

下载(282)| 被引(10)

脉冲偏压电弧离子镀低温沉积研究  CNKI文献

电弧离子镀膜过程中基体温度对薄膜的组织结构和性能有较大的影响,将脉冲偏压引入电弧离子镀膜技术来降低基体的温度是近年来离子镀技术的一个重要发展趋势。对脉冲偏压下基体温度、薄膜组织性能及偏压对其的影响等基...

黄美东 导师:董闯 大连理工大学 2002-06-01 博士论文

关键词: 电弧离子镀 / 脉冲偏压 / 基体温度 / 低温沉积

下载(802)| 被引(38)

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