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27.12MHz容性耦合脉冲Ar/O2等离子体的探针诊断研究  CNKI文献

低温等离子体由于其较宽的电子温度和较高的化学活性等在集成电路、太阳能电池、光学器件等领域具有广泛的应用前景,其中,容性耦合等离子体由于其易产生大面积、高密度、均匀的等离子体而成为工业应用的选择之一。半导...

周瑜 导师:辛煜 苏州大学 2020-06-01 硕士论文

关键词: 脉冲容性耦合等离子体 / 朗缪尔探针 / 发射探针 / 激光光致解吸

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新型双极性高功率脉冲磁控溅射电源及放电特性研究  CNKI文献

独立设计研制了新型两段式双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射电源,本电源具备3种工作模式:(1)传统高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)放电模式,(2)双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射(BP-HiPIMS)放电模式和(3)两段式双极性脉冲高功率脉...

吴厚朴 田钦文... 《真空》 2019年06期 期刊

关键词: 双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射 / 正向脉冲 / 靶电压 / 靶电流

下载(190)| 被引(0)

超高脉冲石墨阴极弧放电及ta-C薄膜结构性能研究  CNKI文献

ta-C薄膜具有许多优良的性能,集石墨与金刚石众多优点于一身,如耐磨损性能好、硬度高、化学稳定性好、以及良好的生物相容性,应用领域广泛。ta-C与基体高速钢之间有着较大的结构成分差异,在沉积薄膜时会积累很大的内应...

陈兵 导师:田修波 哈尔滨工业大学 2019-06-01 硕士论文

关键词: ta-C薄膜 / 超高脉冲阴极弧 / 放电特性 / 光谱特性

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双脉冲HiPIMS放电特性及CrN薄膜高速率沉积  CNKI文献

提出了一种新型的高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)技术,即放电由脉宽短、电压高的引燃脉冲和脉宽长、电压低的工作脉冲2部分组成的双脉冲高功率脉冲磁控溅射技术,目的是解决传统高功率脉冲磁控溅射沉积速率低的问题。研究...

吴厚朴 田修波... 《金属学报》 2019年03期 期刊

关键词: 双脉冲高功率脉冲磁控溅射 / 引燃脉冲 / 放电特性 / CrN薄膜

下载(160)| 被引(3)

Ti阴极弧脉冲放电与Ti(Si,C)N薄膜结构及性能研究  CNKI文献

阴极弧技术具有离化率高、离子能量高、沉积速度快、膜基结合力好等优点,广泛应用于工业生产中。但随着工业技术的发展,对于薄膜质量要求也逐渐提高,而众多研究表明,等离子体密度是影响薄膜质量的关键因素之一。传统阴...

马英鹤 导师:田修波 哈尔滨工业大学 2018-10-01 博士论文

关键词: 脉冲阴极弧 / TiSiCN / 毒化抑制 / 等离子体光谱

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低频高功率脉冲电场构建及其对离子镀层组织结构的影响  CNKI文献

物理气相沉积两个主流技术之一的直流磁控溅射离子镀技术,虽已被光学和微电子产业广泛采用,但因难以沉积出厚膜镀层而限制了其在精密传动件产品领域的推广使用;同时,直流电弧离子镀因脱靶粒子夹带微熔液滴、易引起低温...

乔泳彭 导师:蒋百灵 西安理工大学 2018-06-30 博士论文

关键词: 低频高功率 / 脉宽 / 峰值电流 / 组织结构

下载(71)| 被引(0)

高功率脉冲磁控溅射电源设计及其控制方法研究  CNKI文献

高功率脉冲磁控溅射(HPPMS)技术是一种脉冲峰值功率极高,靶材原子离化率高,膜基结合力强的磁控溅射镀膜技术。由于其脉冲峰值功率可提升至兆瓦级,脉冲峰值电流高达几千安,这对制备耐磨性能优异的膜层具有重要意义。高...

李红泽 导师:张秀梅 长春工业大学 2018-06-01 硕士论文

关键词: 高功率 / 脉冲磁控溅射 / 复合控制 / 脉冲发生电路

下载(207)| 被引(1)

低温等离子体薄膜沉积对环氧树脂表面电特性影响的研究  CNKI文献

环氧树脂因优异的电气性能和机械性能而成为直流气体绝缘金属封闭开关和直流气体绝缘金属封闭输电线路中常见的绝缘材料。在直流电场作用下环氧树脂表面容易积累大量电荷,直接降低环氧树脂的绝缘性能,从而影响电力系统...

林浩凡 导师:谢庆 华北电力大学 2018-03-01 硕士论文

关键词: 等离子体 / 环氧树脂 / 表面电荷 / 沿面闪络

下载(198)| 被引(3)

石墨阴极弧增强放电及ta-C涂层沉积研究  CNKI文献

ta-C涂层具有许多能和金刚石相媲美的卓越性能,例如良好的化学稳定性、较高的硬度和优异的抗磨损性能,良好的生物力学性能和生物相容性。ta-C涂层与高速钢基体间热膨胀系数相差1个数量级,在高速钢上直接沉积ta-C涂层,...

刘宏也 导师:田修波 哈尔滨工业大学 2017-06-01 硕士论文

关键词: ta-C涂层 / 真空阴极电弧离子镀 / 高脉冲电流 / 线圈电流

下载(164)| 被引(1)

高功率脉冲放电阴极靶材溅射行为与薄膜沉积  CNKI文献

磁控溅射在薄膜制备领域具有广泛的应用,随着工业技术的发展,传统的磁控溅射已经不能满足对薄膜性能日益增长的高要求。高功率脉冲磁控溅射(HPPMS)具有高峰值功率,高靶材粒子离化率,低平均功率的特点,制备的薄膜致密平...

甄淑颖 导师:马欣新 哈尔滨工业大学 2016-09-01 博士论文

关键词: 高功率脉冲溅射 / 放电特性 / 溅射行为 / 薄膜制备

下载(426)| 被引(2)

复合脉冲高功率磁控溅射数值仿真及Ti靶放电实验研究  CNKI文献

高功率磁控溅射技术由于高功率脉冲引起高等离子体密度,可以制备出性能良好的薄膜体系。但是其较低的平均功率和较低的沉积速率限制了其在生产过程中的发展。本文利用了高低复合脉冲的电压工作模式,以获得高离子密度的...

王雪松 导师:巩春志 哈尔滨工业大学 2016-06-01 硕士论文

关键词: 复合脉冲 / 磁控溅射 / 数值仿真 / 放电特性

下载(98)| 被引(3)

二硼化铬涂层的制备及其结构和性能的研究  CNKI文献

随着现代制造业的飞速发展,难切削材料逐渐增多,如航空航天钛合金、高硅铝合金和碳纤维复合材料等,呈现出高强、高硬和高韧的特点,催生了硬切削、干切削和微润滑切削等恶劣的切削环境,传统的刀具涂层由于其高温稳定性...

张树参 导师:李志勇 中北大学 2016-04-23 硕士论文

关键词: CrB_2 / 硬质涂层 / 高功率脉冲磁控溅射 / 力学性能

下载(228)| 被引(1)

脉冲等离子体工艺中等离子体与表面相互作用数值研究  CNKI文献

本文旨在以高功率调制脉冲磁控溅射(Modulated Pulsed Power Magnetron Sputtering, MPPMS)、等离子体基离子注入(Plasma-Based Ion Implantation, PBⅡ)和等离子体基低能离子注入(Plasma-Based Low-Energy Ion Impla...

郑博聪 导师:雷明凯 大连理工大学 2016-03-01 博士论文

介质掺杂石墨阴极的爆炸电子发射特性  CNKI文献

随着高功率微波(HPM)技术的发展,其在定向能武器、高灵敏远距离雷达、等离子体加热等领域具有越来越广阔的应用。阴极是HPM源中最重要的部件之一,最终HPM的特性很大程度上取决于阴极产生电子束的品质。石墨是目前HPM源...

华叶 导师:万红 国防科学技术大学 2014-11-01 硕士论文

关键词: 介质掺杂 / 石墨阴极 / 爆炸电子发射 / 微观形貌

下载(75)| 被引(2)

氧化钒薄膜的脉冲反应磁控溅射制备及其特性研究  CNKI文献

氧化钒薄膜在红外探测、光电调制、能源存储等方面具有非常广泛的应用前景,氧化钒薄膜的制备技术及其性能研究一直受到世界各国研究人员的高度关注。本文采用脉冲反应磁控溅射技术制备氧化钒薄膜,通过多种分析测试方法...

董翔 导师:吴志明 电子科技大学 2014-09-01 博士论文

关键词: 氧化钒 / 脉冲反应磁控溅射 / 占空比 / 脉冲频率

下载(281)| 被引(1)

复合高功率脉冲磁控溅射的高离化率等离子体特性研究  CNKI文献

高功率脉冲磁控溅射因其溅射原子离化率较高,在薄膜沉积中表现出巨大的优势,成为当前磁控溅射技术领域一个新的发展趋势。在此基础上,近年来发展了脉冲与直流电源并联模式的复合高功率脉冲磁控溅射技术。高功率脉冲...

李小婵 导师:刘新才 宁波大学 2014-04-25 硕士论文

关键词: 高功率脉冲磁控溅射 / 复合 / 放电特性 / 等离子体特性

下载(287)| 被引(0)

调制中频高功率脉冲磁控溅射系统的研制与TiAl薄膜制备工艺...  CNKI文献

近几年国内外研究发展起来的高功率脉冲磁控溅射技术(High power pulsemagnetron sputtering(HPPMS)),是将直流磁控溅射和高功率脉冲磁控溅射叠加起来,其中的直流部分的作用主要是确保充分的预处理,使脉冲到来时起...

张凤晓 导师:王浪平 哈尔滨工业大学 2013-06-01 硕士论文

关键词: 调制脉冲 / 磁控溅射 / HPPMS / MPP

下载(484)| 被引(6)

高功率脉冲磁控溅射制备类石墨非晶碳膜的研究  CNKI文献

类石墨非晶碳薄膜(Graphite-like carbon,GLC)具有优良的自润滑性、高承载能力和高耐磨性等优点,在刀具、模具和航空航天等领域具有非常广阔的应用前景。然而,目前制备薄膜主要是利用普通直流磁控溅射的方法,溅射出来...

张学谦 导师:黄美东 天津师范大学 2013-03-01 硕士论文

关键词: 高功率脉冲磁控溅射 / 类石墨非晶碳膜 / 沉积 / 结构

下载(484)| 被引(6)

高频磁场在高速TIG焊管中的应用  CNKI文献

钨极惰性气体保护弧焊(简称TIG焊)是使用纯钨或活化钨(如钍钨、铈钨等)作为非熔化电极,采用惰性气体(如氩气、氦气等)作为保护气体的电弧焊方法,在现代工业中应用广泛,它的优点是焊接接头质量高,几乎可用于...

傅新皓 导师:李英民 沈阳工业大学 2012-12-20 硕士论文

关键词: 外加磁场 / 钨极氩弧焊 / 电弧特性 / 焊缝成形

下载(429)| 被引(1)

2kA高功率脉冲磁控溅射电源研制及Cr-DLC薄膜制备  CNKI文献

由于高的金属离化率,高功率脉冲磁控溅射(HPPMS)技术制备的薄膜结构致密,性能优异。对于大型磁控靶,HPPMS峰值功率可以提高到兆瓦级,脉冲电流可以达到几千安,这对于工业应用中大型工件的薄膜制备以及沉积效率都有着重...

桂刚 导师:田修波 哈尔滨工业大学 2011-06-01 硕士论文

关键词: 高功率脉冲磁控溅射 / HPPMS电源 / 掺Cr类金刚石薄膜 / 4MW

下载(441)| 被引(4)

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