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二维龙门式直线驱动气浮精密定位平台的... CNKI文献
基于静压气浮支撑和直线电机驱动的气浮定位工作台是一种典型的精密机械结构。静压气浮支承因其具有精度高、寿命长、摩擦阻力小、清洁等优点,在精密、超精密测量和...
龚乘龙 导师:马平 广东工业大学 2014-05-01 硕士论文
关键词: 静压气浮导轨 / 控制系统 / 定位精度 / 机电联合仿真
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