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248 nm准分子激光加工锥形微孔的实验研究  CNKI文献

针对准分子激光加工PMMA薄板上的微孔形貌进行研究,首先分析了激光脉冲数目对微孔深度的影响,进一步探究了激光脉冲数、激光单脉冲能量和激光脉冲频率等参数对微孔锥度的影响。利用光学显微镜和扫描电镜对打孔效果进行...

王争飞 单等玉... 《应用激光》 2019年04期 期刊

关键词: 激光技术 / 微孔加工 / 锥度 / 准分子激光

下载(114)| 被引(6)

248nm准分子激光加工玻璃微通道的实验研究  CNKI文献

为了提高玻璃微通道的加工效率及质量,采用248nm准分子激光加工玻璃微通道的新型加工方法进行了理论分析和实验验证,取得了不同激光参量下玻璃微通道的加工工艺数据。结果表明,激光加工玻璃微通道的刻蚀阈值为4.54...

田姗姗 陈涛 《激光技术》 2016年05期 期刊

关键词: 激光技术 / 玻璃微通道 / 248nm激光 / 激光参量

下载(117)| 被引(7)

一种显微镜同轴观测的准分子激光加工系统  CNKI文献

随着微技术的发展,MEMS加工系统逐渐进入到我们的生活之中,人们以MEMS系统视角重新对微观世界进行认识,并同时对其进行新的改造。准分子激光刻蚀技术在新型的生物芯片微技术中,为MEMS加工系统打开了新的视野。在传...

谢正洋 导师:陈涛 北京工业大学 2012-07-01 硕士论文

关键词: STC90C516RD+单片机 / MEMS技术 / 显微镜同轴观测 / 准分子加工

下载(134)| 被引(4)

准分子激光加工表面微观形貌表征及其特征研究  CNKI文献

在微机电系统(MEMS)中,由于微构件的尺度效应、表面效应和量子效应,使得微观摩擦成为影响微机械运动及其性能的关键,是微机电系统研制中的关键基础问题,而微摩擦行为与表面形貌密切相关。本研究以微机电系统为背景...

刘莹 导师:温诗铸 武汉理工大学 2002-11-01 博士论文

关键词: 准分子激光 / 表面形貌 / 形貌特征 / 表征方法

下载(1187)| 被引(7)

PMMA基PCR微流控生物芯片准分子激光加工  CNKI文献

采用准分子激光在PMMA基片上刻蚀加工出PCR微流控生物芯片,分析了准分子激光能量密度和工作台移动速度对微通道加工质量(深度及粗糙度)的影响,加工过程中选择较低的激光能量密度和较高的工作台移动速度,都有利于获得底...

祁恒 姚李英... 《微细加工技术》 2006年01期 期刊

关键词: 微加工 / 微流控生物芯片 / 准分子激光 / 聚合酶链式反应

下载(331)| 被引(17)

准分子激光加工表面微观形貌测量和数据处理方法研究  CNKI文献

用紫外波长为 λ=2 4 8nm的准分子激光器 ,分辨率为 5 0 nm的精密微动工作台及其控制器 ,在一定的工艺参数下 ,对 Al2 O3陶瓷、不锈钢等材料表面分别进行准分子激光加工 ,构建准分子激光加工表面微观形貌。对加工表面...

刘莹 陈定方... 《中国机械工程》 2002年19期 期刊

关键词: 准分子激光加工 / 表面微观形貌 / 统计参数计算 / 3维数字化处理

下载(243)| 被引(17)

准分子激光加工PMMA生物芯片片基的实验研究  CNKI文献

用准分子激光对高聚物材料进行微加工制作,可以得到比较理想的高聚物基生物芯片。采用248nm的KrF准分子激光器对PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)进行微细加工,探讨了准分子激光与PMMA相互作用的机理。进行了表面微通道制作和打...

钱晓峰 陈涛... 《微纳电子技术》 2006年01期 期刊

关键词: 生物芯片 / 准分子激光 / 蚀刻 / 微加工

下载(278)| 被引(12)

准分子激光加工工艺参数优化  CNKI文献

本文采用准分子激光加工方法,选择不同的工艺参数对Al2O3 陶瓷材料试件进行加工,通过表面轮廓仪测量表面微观形貌,并计算其表面轮廓高度均方根值Rq.采用二次多项式拟合方法分析激光加工工艺参数对表面形貌的影响,即放...

刘莹 王强... 《南昌大学学报(工科版)》 2005年01期 期刊

关键词: 准分子激光加工 / 表面形貌参数 / 工艺参数优化

下载(179)| 被引(11)

Al_2O_3陶瓷表面准分子激光加工的形貌特征  CNKI文献

以微机械为应用背景,采用准分子激光加工方法对Al2O3陶瓷材料表面进行加工,考察加工表面的形貌特征。研究表明,准分子激光加工表面形貌的统计参数具有显著的规律性。其高度参数的算术平均值Ra和均方根值Rq随工艺参数呈...

刘莹 温诗铸 《机械科学与技术》 2005年08期 期刊

关键词: 准分子激光加工 / 表面形貌 / 形貌参数特征

下载(196)| 被引(7)

准分子激光加工技术结合模塑技术加工...  CNKI文献

利用准分子激光微加工技术与模塑技术相结合的方法制造微流控芯片。用准分子激光在玻璃基胶层上刻蚀出加工质量较高的微流控生物芯片形貌,通过电铸技术对微流控芯片进行复制,得到反向金属模具。用金属模具通过注塑成型...

申雪飞 陈涛... 《中国激光》 2011年09期 期刊

关键词: 激光技术 / 准分子激光 / 微加工 / 模塑技术

下载(514)| 被引(12)

准分子激光加工与研磨加工Al_2O_3陶瓷表面形貌...  CNKI文献

采用了准分子激光和研磨两种不同的加工方法,在微构件常用的Al2O3陶瓷材料表面构建表面微观形貌.通过表面轮廓仪测量加工试件表面形貌,采用自行研制的表面形貌参数表征系统进行表面形貌统计参数计算.分析不同加工方法...

郭纪林 刘莹... 《南昌大学学报(工科版)》 2007年01期 期刊

关键词: 表面形貌 / 准分子激光加工 / 研磨加工 / Al2O3陶瓷

下载(162)| 被引(4)

基于准分子激光加工技术的内嵌光纤型微流控器件的制...  CNKI文献

为了方便、快速、低成本地检测样品,提出一种内嵌光纤型微流控芯片的制备方法。利用248 nm的KrF准分子激光在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片上进行微加工,构建芯片结构,并嵌入腐蚀过的直径35μm的单模光纤,从而形成内嵌光...

金永龙 张宇... 《中国激光》 2008年11期 期刊

关键词: 激光技术 / 准分子激光微加工 / 微流控芯片 / 光纤

下载(177)| 被引(2)

准分子激光加工应用研究进展  CNKI文献

准分子激光加工技术基于光化学机制.准分子激光具有波长短、重复频率高、单脉冲能量大、输出光斑大且能量分布均匀等特点,在精准和高效微加工领域有着独特的优势.准分子激光微加工可以减小热影响区(Heat affected zon...

何立文 方晓东 《量子电子学报》 2018年06期 期刊

准分子激光加工参数对表面形貌影响的模糊分析  CNKI文献

采用准分子激光微细加工方法 ,选用不同的工艺参数加工Al2 O3 陶瓷材料试件。通过表面轮廓仪测量并计算表面形貌统计参数。分析了激光加工工艺参数对表面形貌的影响 ,利用模糊分析方法 ,就激光器的放大器电压、激光脉...

李小兵 赵磊... 《机械科学与技术》 2004年11期 期刊

关键词: 准分子激光加工 / 工艺参数 / 表面形貌参数 / 模糊分析

下载(158)| 被引(7)

准分子激光微细加工工艺和加工机理研究  CNKI文献

本文研究了紫外光子和高分子材料相互作用的机理和准分子激光刻蚀聚合物材料的物理化学模型,用拉曼谱、XPS 谱、SEM 和三维形貌分析仪等测试手段研究了准分子激光刻蚀PMMA 和PTFE 的机理,对准分子激光刻蚀PMMA 的工艺...

朱效立 导师:刘世炳 北京工业大学 2005-05-25 硕士论文

关键词: 准分子激光 / 微细加工 / 高聚物 / XPS

下载(773)| 被引(22)

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