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基于原子力显微镜的同一位置重复接触对微纳粘着的影...  CNKI文献

两表面之间的相互作用是表面科学的基本问题之一。在微观领域,因异常大的表-体比使得微机电系统受到表面效应的影响。粘着是导致微纳系统失效的一个主要原因。为进一步地减小和控制粘着,需开展大量的实验和理论研究来...

朱婷 导师:赖添茂 广州大学 2022-06-02 硕士论文

关键词: 粘着力 / 原子力显微镜 / 相对湿度 / 重复接触

下载(6)| 被引(0)

激励频率对TM-AFM相位成像的影响  CNKI文献

相位成像是轻敲模式下原子力显微镜(tapping mode atomic force microscope, TM-AFM)最具有特色的成像方式。本文以获得高质量的相位像为主要研究目的,利用Euler-Bernoulli(欧拉-伯努利)梁方程,将系统动力学模型...

魏瑞华 彭安杰... 《电子显微学报》 2021年06期 期刊

关键词: 原子力显微镜 / 轻敲模式 / 激励频率 / 相位成像

下载(69)| 被引(0)

原子力显微镜轻敲模式下能量耗散的机理研究  CNKI文献

显微术由十六世纪的光学显微镜开始,逐步发展到二十世纪的电镜、扫描隧道显微镜原子力显微镜(AFM)等,帮助人们不断深入探索微观世界。AFM使用悬臂梁探针来探索微观世界,在轻敲模式下,探针的...

孙岩 导师:王克俭 北京化工大学 2021-11-23 博士论文

关键词: 原子力显微镜 / 轻敲模式 / 动力学模型 / 能量耗散

下载(368)| 被引(1)

轻敲式原子力显微镜动力学响应的仿真与实验研究  CNKI文献

轻敲模式(TM)是原子力显微镜(AFM)中使用最广泛的操作模式之一,其核心部件是对力极为敏感的微悬臂梁。因此,研究微悬臂梁的动态响应对于轻敲式原子力显微镜(TM-AFM)的成像具有重要意义。为了获得微悬臂梁的响应,建立了...

彭安杰 魏征 第十四届全国振动理论及应用学术会议(NVTA2021)摘要集 2021-10-23 中国会议

关键词: 原子力显微镜 / 轻敲模式 / 单侧受限 / 时程响应

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轻敲式原子力显微镜空气阻尼耗散研究  CNKI文献

轻敲模式原子力显微镜(TM-AFM)的相位像相比其形貌像可以更加准确地反应出样品表面物理化学性质的变化,但影响相位或相位对比度的原因很复杂,当前对相位像的解释仍然是理论上和实验上的热点问题,存在着巨大的挑...

刘晶 导师:魏征 北京化工大学 2021-06-01 硕士论文

关键词: 原子力显微镜 / 微悬臂梁 / 空气粘性阻尼 / 压膜阻尼

下载(57)| 被引(0)

基于原子力显微镜的微纳粘着接触时间依赖性的实验研...  CNKI文献

两固体表面间的粘着对微机电系统的发展意义重大。在微纳尺度下,机械系统主要受表面效应的影响而非惯性效应。粘着是微机电系统在制造和使用中失效的一个主要原因。随着微机电系统进一步微型化,研究如何避免粘着失效也...

陈雨果 导师:赖添茂 广州大学 2021-05-01 硕士论文

关键词: 粘着力 / 原子力显微镜 / 力-位移曲线 / 接触时间

下载(30)| 被引(0)

基于AFM敲击模式的纳米结构动态刻划加工技术研究  CNKI文献

近年来,随着纳米技术的快速发展,纳米结构越来越广泛地应用于各种研究领域:纳米点或纳米凹痕可用于拉曼增强基底或进行信息存储;纳米沟槽可作为纳流控芯片的通道;周期性纳米沟槽阵列可作为纳米光栅。因此,纳米结构在纳...

何洋 导师:闫永达 哈尔滨工业大学 2020-12-01 博士论文

关键词: 原子力显微镜 / 纳米加工 / 动态刻划 / 纳米结构

下载(116)| 被引(0)

基于裙摆型探针的三维原子力显微技术  CNKI文献

近年来,以半导体器件关键尺寸测量为代表的高端工业应用需求使微纳米结构真三维形貌的检测受到越来越广泛的关注。三维原子力显微镜(3D-AFM)分辨力高,不损伤样品,且能探测陡峭侧壁,是一种极具潜力的真三维检测技...

张锐 导师:傅星 天津大学 2020-07-01 博士论文

关键词: 三维原子力显微镜 / 裙摆针尖 / 接触力 / 侧壁

下载(56)| 被引(0)

轻敲模式下原子力显微镜动力学特性研究  CNKI文献

微纳机电系统((Micro/Nano-electromechanical System,MEMS/NEMS)的核心部件——微纳谐振器有着高灵敏度、高品质因数、高谐振频率等多种优越的性能。原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)的核心部件探针...

郑骁挺 导师:魏征 北京化工大学 2020-06-16 硕士论文

关键词: 原子力显微镜 / 轻敲模式 / 能量耗散 / 等效阻尼

下载(215)| 被引(0)

压膜阻尼对原子力显微镜振动特性的影响研究  CNKI文献

原子力显微镜(Atomic Force Microscope, AFM)在轻敲模式下工作时,随着探针针尖与样品距离的逐渐减小,空气压膜阻尼的作用随之增大。为研究压膜阻尼对原子力显微镜振动系统的影响,分别使用无针尖探针和微...

柳世华 魏征... 《振动与冲击》 2020年11期 期刊

关键词: 轻敲模式原子力显微镜 / 振动刚度 / 压膜阻尼 / 一维振子

下载(113)| 被引(5)

改进迭代学习控制在原子力显微镜系统中的应用  CNKI文献

根据原子间相互力的作用通过原子力显微镜(Atomic Force Microscope,简称AFM)可以获得纳米样品的三维形貌,目前商用AFM系统通常采用传统PI控制算法实现对样品扫描成像。但是AFM系统操作复杂以及压电陶瓷非...

张胜 导师:许红梅 长春理工大学 2020-06-01 硕士论文

关键词: 纳米测量与操纵 / 原子力显微镜 / 扫描成像 / 模糊自适应迭代控制

下载(100)| 被引(0)

基于基底修饰的液相下DNA分子操纵技术研究  CNKI文献

DNA分子在生命各项过程中的核心作用使得针对DNA层面的研究具有极大的科学价值和现实意义。由于DNA本身独特的结构与功能特性,如何实现对单个DNA分子进行精准操纵成为当前DNA分子研究的热点及难点。传统的生物学研究手...

刘子瑜 导师:许红梅 长春理工大学 2020-06-01 硕士论文

关键词: 原子力显微镜 / DNA分子成像 / DNA分子操纵 / 离子修饰

下载(55)| 被引(0)

高真空环境下原位AFM控制系统开发及实验研究  CNKI文献

设计出与扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)相结合工作的原位原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)系统将对样品形貌信息的定量化表征及三维微纳结构轮廓信息表征具有重要的意义。...

唐飞扬 导师:汝长海 苏州大学 2020-06-01 硕士论文

改变激励频率对轻敲模式下原子力显微镜相位的影响  CNKI文献

原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)是一种研究材料表面性质的强大工具,其核心部件是一根用于扫描的微悬臂梁,即力的传感器。微悬臂梁一端固定,一端自由,自由端的端部存在可以探测样品表面...

魏瑞华 导师:魏征 北京化工大学 2020-05-30 硕士论文

关键词: 原子力显微镜 / 轻敲模式 / 激励频率 / 相位成像

下载(31)| 被引(0)

轻敲模式下AFM动力学模型及能量耗散机理研究  CNKI文献

轻敲模式下探针从远离到间歇性接触样品表面,是一个连续的能量耗散过程.针对该连续过程的能量耗散机理研究仅零星存在于各个文献之中,对于连续过程中各个阶段的能量耗散机理也没有一个系统的解释和实验验证.本文提出了...

魏征 郑骁挺... 《力学学报》 2020年04期 期刊

关键词: 原子力显微镜 / 动力学模型 / 能量耗散 / 空气阻尼

下载(236)| 被引(5)

可用于原子力显微镜的石英音叉结构优化及工艺研究  CNKI文献

近些年来,随着原子力显微镜(AFM)技术的发展,其对显微镜测头部分的力传感器要求越来越高,而传统AFM中的硅悬臂力传感器由于品质因数低、稳定性差、检测装置复杂、探测范围有限等缺点,已经不能满足A...

张明烨 导师:徐叙瑢 北京交通大学 2020-05-01 硕士论文

关键词: 石英音叉 / 有限元仿真 / 版图绘制 / 加工工艺

下载(100)| 被引(0)

基于纳米成像技术对癌细胞的研究  CNKI文献

纳米技术是人类认识和研究微观世界的重要手段之一。尤其纳米测量技术的发展,实现了纳米精度尺寸和位移的测量。扫描电子显微术和扫描探针显微术是纳米测量技术的重要组成部分。随着纳米测量技术的快速发展,其在纳米新...

黄羽茜 导师:宋贵才 长春理工大学 2020-03-01 硕士论文

关键词: 纳米成像 / 原子力显微术 / 扫描电子显微术 / 细胞力特性

下载(111)| 被引(0)

轻敲模式原子力显微镜相位、频移特性研究  CNKI文献

原子力显微镜在轻敲模式下工作时,相位像相比于高度像能提供更多的样品信息,因此如何提供高分辨率的相位像成为理论和实验研究的重要内容。原子力显微镜其核心部件为微悬臂梁系统,在轻敲模式下将其...

刘运鸿 郑骁挺... 《机械设计与制造工程》 2020年02期 期刊

关键词: 原子力显微镜 / 轻敲模式 / 相位 / 激振频率

下载(192)| 被引(4)

原子力显微镜悬臂梁压膜阻尼特性研究  CNKI文献

微悬臂梁是轻敲式原子力显微镜(TM-AFM)的关键部件之一,而品质因数又是衡量其动态特性的关键指标。本文求解雷诺方程,给出了微悬臂梁随速度分布相关的压膜阻尼表达式,并通过构建微悬臂梁振动方程,得到微悬臂梁自由振动...

刘晶 魏征 北京力学会第26届学术年会论文集 2020-01-12 中国会议

关键词: 轻敲式原子力显微镜 / 微悬臂梁 / 压膜阻尼 / 品质因数

下载(38)| 被引(0)

原子力显微镜阻尼特性研究  CNKI文献

在原子力显微镜的轻敲模式中,探针-样品系统的能量损耗可以分为内禀耗散和外部耗散两类。本文建立了新的位移激励下原子力显微镜探针-系统的简化模型;在此基础上分析了各类阻尼对探针系统动力学特性的影响;进而得到了...

郑骁挺 魏征 北京力学会第26届学术年会论文集 2020-01-12 中国会议

关键词: 原子力显微镜 / 空气阻尼 / 低雷诺数 / 热弹性阻尼

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