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高速原子力显微镜技术及系统研究  CNKI文献

近年来,微纳米技术飞速发展,原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)以其极高的分辨率和不受样品表面导电性限制等特性,成为微纳米技术研究中最重要的扫描成像与检测分析工具之一。目前,国内外大多数...

王英达 导师:章海军 浙江大学 2020-06-01 博士论文

关键词: 高速原子力显微镜 / 高速扫描 / 高速AFM探头 / 光电检测模块

下载(482)| 被引(2)

高速原子力显微系统关键技术研究  CNKI文献

原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)是微纳米尺度几何及物性信息的重要测量工具,在基础研究和半导体工业领域中均有着广泛应用。但随着各领域中研究的不断深入,AFM较慢的成像速度限制了其应用。尽管学术...

刘璐 导师:胡小唐 天津大学 2019-05-01 博士论文

关键词: 原子力显微镜 / 高速 / 超短微悬臂梁 / 探针夹持器

下载(162)| 被引(1)

无线控制原子力显微镜系统  CNKI文献

提出了一种基于嵌入式系统和WiFi无线控制的接触模式原子力显微镜(AFM)系统。该AFM系统直接由迷你型移动电源给扫描与反馈电路及嵌入式系统等供电;嵌入式系统由微型...

章海军 陈佳骏... 《光学精密工程》 2018年09期 期刊

关键词: 原子力显微镜 / 嵌入式系统 / WiFi / 无线控制

下载(144)| 被引(4)

基于多重扫描器的原子力显微镜系统研制  CNKI文献

近年来,微纳米技术在国内外得到飞速发展,对现代社会的进步起到了至关重要的作用。扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)等超高分辨率仪器的运用越来越广泛,其在科学研究、工业生产等多方面都起...

秦春 导师:章海军 浙江大学 2017-01-06 硕士论文

关键词: AFM / 多重扫描器 / 高分辨率 / 大范围

下载(154)| 被引(3)

AFM反馈系统仿真模型的建立及实验  CNKI文献

原子力显微镜(AFM)广泛应用于纳米尺度的成像和操纵,其较低的扫描速度严重影响了测试的效率。为此,许多研究人员通过设计先进的Z向控制算法改善系统的响应速度,达到提高扫描速度的目的...

王艳艳 《电子显微学报》 2016年03期 期刊

关键词: 原子力显微镜 / 系统辨识 / 仿真模型

下载(118)| 被引(7)

双探针原子力显微镜测头机电系统的研究  CNKI文献

现代集成电路制造工艺中芯片上所能容纳的电子元器件数目越来越多,对集成电路微纳米尺寸的测量提出了更高的要求。微纳米级别的线宽作为表征集成电路芯片的主要参数之一,从一定程度上的决定了集成芯片的性能。原子

陈少奇 导师:严利平 浙江理工大学 2016-03-10 硕士论文

关键词: 原子力显微镜 / 运动控制 / 探针对准 / 扫描成像

下载(365)| 被引(2)

工业型SPM的电控系统设计  CNKI文献

扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope,SPM)自发明以来,在生物、化学、物理和材料等诸多领域都取得了广泛的应用。SPM家族中的原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)因其无损检测和高分辨...

徐建国 导师:胡小唐 天津大学 2015-05-01 硕士论文

关键词: 工业SPM / FPGA / 嵌入式以太网 / 侧壁扫描

下载(61)| 被引(0)

多模态原子力显微镜控制系统研制及实验  CNKI文献

原子力显微镜(AFM)作为纳米检测技术的基本工具之一,已经在研究纳米尺度物质的结构和特性方面取得了令人惊叹的发展,但是随着应用领域的不断扩展以及对精密测量和定位技术的要求越来越高,要求AFM具有更高的...

尤焕杰 导师:黄强先 合肥工业大学 2014-04-01 硕士论文

关键词: 原子力显微镜 / 多模态 / 控制软件 / 扫描速度

下载(192)| 被引(4)

基于PZT的微纳混合扫描系统的研究  CNKI文献

本文在对AFM的成像原理和AFM原子力作用机理的研究的基础上,依据AFM微纳米操作系统的高效性和实时性要求,设计了一个基于压电陶瓷管和步进电机的微纳混合扫描平台的控制系统,本扫描控制系

彭艳芹 导师:许红梅 长春理工大学 2013-03-01 硕士论文

关键词: 压电陶瓷扫描平台 / 原子力显微镜 / 扫描控制系统 / PZT迟滞特性

下载(170)| 被引(2)

纳米操作平台柔性微悬臂的模糊控制研究  CNKI文献

原子力显微镜(Atomic Force Microscope)作为现代纳米科学研究的基本工具,已广泛应用于纳米科技的各个研究领域中。原子力显微镜的微悬臂主要用于纳米操纵等。由于AFM微悬臂是微纳米级的,具有柔性特征,微...

龙运栋 导师:李涵雄 中南大学 2012-06-10 硕士论文

关键词: 原子力显微镜 / 变量分离理论 / 分布参数系统 / 模糊PID控制

下载(228)| 被引(0)

适用于原子力显微镜先进扫描模式的学习控制  CNKI文献

原子力显微镜(AFM)是进行纳米测量和操作的一种重要工具.针对原子力显微镜系统,论文提出了一种基于学习控制的先进扫描模式.具体而言,首先构造了一种适用于AFM的学习控制系统,它由对于...

方勇纯 张玉东... 控制理论与应用》 2010年05期 期刊

关键词: 原子力显微镜 / 快速扫描模式 / 最优逆控制 / 学习控制

下载(380)| 被引(25)

新型电化学原子力显微镜的研制  CNKI文献

电化学原子力显微镜将电化学分析技术与原子力显微镜结合起来,能对生物传感器,新型电池和电腐蚀进行原位电化学扫描探针显微测量分析。为了实现电化学与扫描探针功能的系统集成,在

孙晓凤 惠飞... 《分析仪器》 2010年01期 期刊

关键词: 电化学原子力显微镜 / 恒电位仪 / 微电流检测

下载(390)| 被引(2)

基于压电陶瓷管扫描器的大范围纳米定位系统  CNKI文献

提出一种基于压电陶瓷管扫描器的X-Y二维大范围纳米级定位系统,该系统利用摩擦力和惯性使样品产生步进式的微位移。阐述了该系统的设计和工作原理,并给出了它在原子力显微镜中用于探针...

孙鑫 程传东... 《仪表技术》 2009年04期 期刊

关键词: 样品移动平台 / 摩擦力和惯性 / 原子力显微镜 / 定位控制

下载(273)| 被引(13)

基于预测轨迹逆控制的AFM扫描方法  CNKI文献

本文提出了一种基于预测轨迹的逆控制方法,并将其应用于原子力显微镜扫描成像系统。具体而言,针对AFM控制系统的特点,将样品形貌视为系统扰动信号,设计了一种基于横、纵两个方向的轨迹预测器,并利用前馈与反馈相结合的...

张玉东 方勇纯... 第二十七届中国控制会议论文集 2008-07-16 中国会议

关键词: 原子力显微镜 / 预测 / 逆控制 / 非最小相位系统

下载(44)| 被引(1)

基于学习控制的AFM快速扫描模式研究  CNKI文献

原子力显微镜(AFM)是进行纳米测量和操作的一种主要工具。本文针对原子力显微镜系统,提出了一种基于学习控制的快速扫描模式。具体而言,论文首先构造了一种适用于AFM的学习控制系统,它由对于扫描管动态特性的最优逆控...

方勇纯 第二十六届中国控制会议论文集 2007-07-26 中国会议

关键词: 原子力显微镜 / 快速扫描模式 / 最优逆控制 / 学习控制

下载(75)| 被引(2)

扫描探针显微镜在机械教学中的应用  CNKI文献

介绍扫描探针显微镜教学演示软件。该软件将CAI技术和SPM技术结合在一起,主要运用文字说明,静态图像,三维动画,模拟仿真等方法,对SPM的初学者进行SPM的原理介绍和使用培训,可以大大缩短他们的学习时间,并...

岳睿 朱文胜 《中国教育技术装备》 2006年11期 期刊

AFM工作台扫描控制系统的研究  CNKI文献

本文在对原子力显微镜的发展状况进行分析和综述的基础上,讨论了原子力显微镜的工作原理、工作模式。阐述了现有的原子力显微镜存在的问题,分析研究了探针结构、系统干扰和压电陶瓷迟滞对测量...

周法权 导师:赵学增 哈尔滨工业大学 2006-06-01 硕士论文

关键词: 原子力显微镜 / 扫描控制系统 / 压电陶瓷工作台 / 迟滞

下载(525)| 被引(18)

STM/AFM相关软件系统设计与开发  CNKI文献

该文介绍了相关扫描隧道显微镜原子力显微镜(STM/AFM)机型的整个软件系统的设计思路及其实现方法,对其中的三大分支:硬件控制采集系统、图像处理与3D重建系统扫描

曾臻 导师:杨学恒 重庆大学 2006-04-10 硕士论文

关键词: 扫描隧道显微镜 / 原子力显微镜 / 扫描隧道谱 / 数据采集

下载(257)| 被引(1)

扫描隧道显微镜的新方法研究和系统研制  CNKI文献

近年来,人类在纳米科技领域内的研究取得了引人瞩目的成就。而以扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)为代表的扫描探针显微镜(SPM)是纳米科技发展的重要基础。STM系统的出现...

马尚行 导师:章海军 浙江大学 2005-01-01 硕士论文

关键词: 扫描隧道显微镜 / 驱动器 / 摩擦力和惯性原理 / 定位控制

下载(879)| 被引(4)

新型大扫描范围原子力显微镜的研究  CNKI文献

研制了一种大扫描范围原子力显微镜(AFM)。设计了新的扫描驱动电路,使单幅图像的扫描范围大幅度提高;用步进电机和扫描器配合扫描,得到序列图像,序列图像拼接后获得大范围样品图...

施洋 章海军 《光电工程》 2004年06期 期刊

关键词: 原子力显微镜 / 控制系统 / 大范围扫描 / 拼接图像

下载(242)| 被引(17)

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