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基于COMSOL的声表面波器件二维等效模型设计  CNKI文献

利用COMSOL软件建立了声表面波(SAW)单端口谐振器和双端口滤波器的二维等效模型,基于有限元法通过该模型计算了完整的SAW谐振器和梯形滤波器结构的导纳和频率响应特性,并将该结果与通过COM耦合模型模拟的结果进...

王巍 周杨春... 《压电与声光》 2021年05期 期刊

关键词: 声表面波(SAW)谐振器 / 梯形滤波器 / 二维等效模型 / 有限元法

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一种IDT/(002)ZnO/SiO_2/Si多层结构的声表面波器件  CNKI文献

以IDT/(002)ZnO/SiO_2/Si多层结构的声表面波器件为研究对象,通过有限元软件对单对叉指的三维结构进行有限元仿真,得到了不同的ZnO膜厚对SAW器件所激发瑞利波的相速度、机电耦合系数的影响规律,以及SiO_2...

朱敏 刘智荣... 《传感技术学报》 2021年10期 期刊

关键词: 声表面波 / 有限元仿真 / 多层结构 / ZnO薄膜

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纳米多层电极增强声表面波滤波器功率耐受性的研究  CNKI文献

移动通信技术的快速发展对声表面波滤波器性能提出了更高的要求,输入功率的提升和尺寸的减小使得器件上的功率密度急剧上升,亚微米级别的铝叉指电极在高功率下会发生声迁移从而导致器件失效,因此如...

苏荣宣 傅肃磊... 《真空科学与技术学报》 2021年09期 期刊

关键词: 声表面波 / 高功率 / 声迁移 / 多层电极

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钝化层对声表面波滤波器的影响  CNKI文献

为了研究钝化层对声表面波(SAW)滤波器性能的影响,以二氧化硅(SiO_2)薄膜为钝化层,对厚度为12~80 nm的SiO_2膜钝化层工艺数据进行分析。结果表明,当SiO_2膜钝化层覆膜厚度大于25 nm时其膜层质量均匀性好,致密度...

赵雪梅 伍平... 《压电与声光》 2021年04期 期刊

关键词: 表面波滤波器 / 钝化层 / 二氧化硅(SiO_2)覆膜 / 过渡带宽

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薄膜型声表面波器件的研究进展  CNKI文献

相较于传统的压电单晶声表面波器件,薄膜型声表面波器件具有成本低、易小型化、易集成化等优点。文章对几种薄膜型声表面波器件的研究进展进行了综述。首先,总结了几种常见的薄膜制备方法。然后,根...

赵程 周佳成... 《微电子学》 2021年04期 期刊

关键词: 声表面波 / 薄膜结构 / 高频 / 高温

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声子晶体对ZnO/41°YX-LiNbO_3结构Love波器件性能的...  CNKI文献

利用三维有限元法(3D-FEM)分析了Ni柱型声子晶体对(110)ZnO/41°YX-LiNbO_3结构Love波器件声学特性(包括相速度、机电耦合系数和质量灵敏度等)的影响。结果表明,Ni柱的引入对所激发Love波性能的影响较大,Lo...

商树林 梁苏鹏... 《压电与声光》 2021年03期 期刊

关键词: 声表面波 / 声子晶体 / 有限元分析 / 机电耦合系数

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极端环境下声表面波压力传感器研究进展  CNKI文献

声表面波压力传感器因具有无源无线、高精度可编码、易于多参数传感集成等优点,被广泛应用于各种极端环境下的压力测量。该文首先介绍了声表面波压力传感器的工作原理及其技术优势,然后分别介绍了声表

潘虹芝 曹健... 《压电与声光》 2021年03期 期刊

关键词: 高温 / 高压 / 声表面波 / 压力传感器

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声表面波器件在微量细胞前处理中的研究与应用  CNKI文献

声表面波(Surface acousticwave,SAW)是自然界中存在的声波之一,其在地震波的研究中首先被发现。随着人们对SAW原理理解的深入和电子器件的制备工艺提升,人们于上个世纪利用压电晶体成功构建了 SAW电子~#...

王世才 导师:刘宏 山东大学 2021-05-23 博士论文

关键词: 声表面波 / 微流体器件 / 细胞分选 / 微纳米富集

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基于ZnO多层结构的声表面波高频器件分析设计  CNKI文献

通过有限元仿真,分析基于ZnO/Diamond不同复合结构的声表面波传播特性,包括机电耦合系数、声表面波波速以及温度敏感系数等,同时分析电极厚度对机电耦合系数的影响机理,为适用于不同场合的高频器件...

郭欣榕 谭秋林... 《电视技术》 2021年05期 期刊

关键词: 声表面波 / 有限元仿真 / ZnO压电薄膜 / 金刚石

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基于斜指换能器声表面波器件的微颗粒可调排布研究(...  CNKI文献

目的:可调粒子排布是含规则排布功能介质的聚合物材料制造中的一大难题。本文旨在设计一种带斜指换能器的声表面波器件,并开展微颗粒可调排布的仿真及实验研究。创新点:1.提出了一种新的微颗粒排布方法,通过所设...

Yan-cheng WANG Cheng-yao XU... 《Journal of Zhejiang University-Science A(Applied Physic...》 2021年05期 期刊

关键词: 可调排布 / 声表面波 / 声压场 / 聚合物基复合材料

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一种防止声表面波器件静电烧伤的方法  CNKI文献

为了防止声表面波器件被自身的热释电静电烧伤,提出了一种新的静电防护方法。该方法采用导电介质来实现对声表面波器件引脚的良好接触,并建立了静电传导途径,实现了热释电静电的释放,解决了困扰声表面

伍平 赵雪梅... 《压电与声光》 2021年02期 期刊

关键词: 声表面波器件 / 导电介质 / 静电 / 热释电

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基于硅酸镓镧的声表面波高温压力器件的微结构...  CNKI文献

采用硅酸镓镧(Langasite,LGS)压电材料制备声表面波(Surface acoustic wave,SAW)高温压力传感器可解决高温、高压等恶劣环境下温度、压力等参数的实时原位测试的问题,但由于硅酸镓镧是一种高硬度难加工的硬脆性...

梁晓瑞 徐芳萌... 《机械工程学报》 2021年08期 期刊

关键词: 硅酸镓镧 / 声表面波 / 湿法刻蚀 / 热压键合

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耐高温薄膜电极及声表面波器件研究  CNKI文献

近年来,由于声表面波(surface acoustic wave,SAW)传感器具有无线无源、体积小等特点被研究者们广泛关注。特别是在工业生产、航空航天等领域的极端恶劣如高温高压等环境中,SAW传感器拥有广泛的应用前景。但是,...

王博文 导师:彭斌 电子科技大学 2021-04-01 硕士论文

关键词: 高温 / 薄膜电极 / SAW / 温度传感器

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基于AlN的高温声表面波压力传感器  CNKI文献

耐高温高压压力传感器在航空、石油以及汽车领域的应用越来越广泛,需求也越来越大,但我国对耐高温高压压力传感器的研究相对落后,国内市场的高端耐高温、高压压力传感器主要靠进口。世界各国对耐高温、耐高压的传感器...

万江 导师:张万里 电子科技大学 2021-04-01 硕士论文

关键词: 声表面波压力传感器 / AlN压电薄膜 / 压力敏感膜 / 耐高温

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宽温度范围SAW温度传感器研究  CNKI文献

声表面波(SAW)传感器因其灵敏度高、体积小、稳定性好等特性在日常生活中有广泛的应用,其中对于SAW温度传感器的研究主要集中在低温度区间内,然而随着社会需求的增长,对于一些特殊环境中的温度测量已然变得迫切...

岳虎虎 导师:张万里 电子科技大学 2021-03-31 硕士论文

关键词: 温度传感器 / 宽温度测温 / 硅酸镓钽钙 / 硅酸鎵镧

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IDT结构优化及SAW器件研究  CNKI文献

声表面波(SAW)器件已在通信、传感、生物医学等领域得到了越来越广泛的应用。特别是在5G信息时代,移动通信技术的迅猛发展,对SAW器件性能提出了更高要求,如何在提高SAW器件频率基础上降低插入...

李开璇 导师:王芳 天津理工大学 2021-03-01 硕士论文

关键词: 声表面波 / COMSOL / 叉指换能器 / FEUDT

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弛豫铁电0.24PIN-0.47PMN-0.29PT单晶声表面波性能研...  CNKI文献

随着信息技术的迅速发展,对声表面波器件的要求也进一步提高。为寻找性能更加优异的声表面波器件基底材料,本文利用分波解法对室温下[001]_c及[011]_c极化弛豫铁电0.24PIN-0.47PMN-0.29PT单晶的声表面

李秀明 吴广涛... 《人工晶体学报》 2021年02期 期刊

关键词: 弛豫铁电单晶 / 0.24PIN-0.47PMN-0.29PT / 声表面波 / 相速度

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声表面波器件变频快速模拟方法  CNKI文献

声表面波器件的级联有限元模拟方法是从整体结构中分离出若干独立的基本单元,通过基本单元边界矩阵的级联实现有限长器件结构的模拟。在实际设计中,通过优化叉指换能器的指条周期,激发出不同波长的声表

宋明鑫 张碧星 《应用声学》 2021年02期 期刊

关键词: 声表面波器件 / 快速模拟方法 / 级联有限元模拟方法

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新型结构声表面波器件研究  CNKI文献

声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)器件是声学技术与电子学相结合的新型信号处理电子元器件,具有信号处理简单、体积小、功耗低、兼容性高等优点,被广泛应用于移动通信、航空航天、生物医学等诸...

刘小庆 导师:王艳 南京邮电大学 2020-12-16 硕士论文

关键词: SAW器件 / 声子晶体 / ZnO纳米棒 / 能带特性

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换能器间距对柔性声表面波器件性能的影响  CNKI文献

首先基于PEI基板磁控溅射ZnO薄膜,再在薄膜上的两端制备叉指电极,探讨了不同的叉指间距对这种柔性器件的影响。研究发现,当两个叉指式换能器(IDT)之间的距离增加时,谐振器的传输幅度会显著衰减。为了制造具有良...

何兴理 黄诗浩... 《福建工程学院学报》 2020年04期 期刊

关键词: 叉指换能器 / 声表面波 / 氧化锌

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