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多离子束反应共溅射技术及铁电薄膜制备与应用  CNKI文献

随着现代信息科学与技术的迅速发展,多组元功能薄膜如高温超导薄膜铁电薄膜、磁性薄膜等在微电子、光电子、光通讯、 信息存储等方面已经取得了应用,商业价值十分巨大。铁电薄膜具有...

肖定全 朱建国 《材料导报》 2001年02期 期刊

关键词: 铁电薄膜 / 共溅射技术 / 离子束 / 制备与应用

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多离子束反应共溅射制备PbTiO_3铁电薄膜的微结...  CNKI文献

本文利用多离子束反应共溅射装置,分别在Si和MgO衬底上原位制备了PbTi氧化物薄膜。研究表明,利用多离子束反应共溅射技术,可以显著降低薄膜后续热处理的温度;薄膜中焦绿...

彭文斌 陈猛... 《电子显微学报》 1997年04期 期刊

关键词: 多离子束反应共溅射 / 焦绿石 / 钙钛矿

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多离子束反应共溅射制备PbTiO_3铁电薄膜的微结...  CNKI文献

本文利用多离子束反应共溅射装置,分别在 Si 和 MgO 衬底上原位制备了 Pb-Ti 氧化物薄膜。研究表明,利用多离子束反应共溅射技术,可以显著降低薄膜后续热处理的温度;薄膜中焦绿石结构的消失温度与薄膜中 Pb 的含量有...

彭文斌 陈猛... 1996年中国青年学者物理学讨论会——薄膜材料与物理论文集 1996-06-01 中国会议

关键词: 多离子束反应共溅射 / 焦绿石 / 钙铁矿

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微波等离子体辅助多离子束反应共溅射装置  CNKI文献

由于多组元氧化物薄膜,如铁电陶瓷膜,超导陶瓷膜有着重要的应用前景,国内外都开展了大量的研究。为了制备高质量的多组元氧化物薄膜,我们利用微波等离子体辅助沉积和离子束溅射的优点,建成了国内外唯一的一台微波等离...

郭华聪 谢必正 第九届全国核物理大会论文摘要汇编 1994-10-01 中国会议

关键词: 共溅射 / 离子束 / 微波等离子体 / 化合物薄膜

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多离子束反应共溅射技术制备(Pb,La)TiO3铁电薄膜  CNKI文献

研制了多离子束反应溅射技术并运用该技术在多种衬底上制备晶态(Pb,La)TiO3铁电薄膜。运用多种分析技术对铁电薄膜的物化性能进行了表征。发现在铁电薄膜的近表面有富铅层。测试了...

肖定全 朱建国... 《高技术通讯》 1994年04期 期刊

关键词: 多离子束反应共溅射 / 铁电薄膜 / 掺镧钛酸铅

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多离子束反应共溅射技术在不同基片上制备取向(Pb,...  CNKI文献

1引言铁电薄膜,如锆钛酸铅(PLZ),锆钛酸铅镧(PLZT)及铌酸锂(LiNbO_3)薄膜等,因其具有独特的电学、光学、声学性质,而受到广泛的重视。目前铁电学研究的重点从单个的单晶器件转向集成的陶瓷薄膜器件。

肖定全 朱居木... 首届中国功能材料及其应用学术会议论文集 1992-10-26 中国会议

关键词: 共溅射技术 / 基底温度 / 沉积温度 / Pb

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