聚合物表面类金刚石膜的制备及其阻隔性研究 CNKI文献
类金刚石(diamond-like carbon,DLC)薄膜具有高硬度、高弹性模量、优异的减摩耐磨性能、良好的光透过性、较强的化学稳定性和生物相容性等优异的性能,在太空机械、加工模具、汽车、电子器件、光学、生物医学等领...
雷加元
导师:成有为
浙江大学
2017-06-03
硕士论文
用PECVD制备类金刚石膜的研究 CNKI文献
本文以丁烷(C_4H_(10))和氩气(Ar)为源气体,利用射频等离子体增强化学气相沉积法(RF-PECVD)在硅衬底上制备了类金刚石(DLC)薄膜。通过调整射频功率、基板偏压、衬底温度和源气体流量等工艺参...
于玥
导师:付秀华
长春理工大学
2010-03-01
硕士论文
泵体柱塞表面涂层技术研究 CNKI文献
本文在泵体柱塞试件(钢5CrMnMo)表面上,采用射频等离子体增强化学气相沉积(rf-PECVD)技术,通过控制不同的甲烷、氢气、氩气流量和不同过渡层等工艺参数,沉积了DLC薄膜。在此基础上,借助于X射线衍射仪、激...
蔡言凯
导师:刘薇娜
长春理工大学
2009-03-01
硕士论文
PET瓶内镀DLC薄膜的结构、成分及其阻隔性研究 CNKI文献
本文采用射频等离子体化学气相沉积(RF-PECVD)技术,以 C_2H_2为碳源,Ar 为稀释气体, 在普通 PET 瓶内制备类金刚石(Diamond-iike Carbon,简称 DLC)薄膜作为高阻隔层,阻挡氧气、水份和二氧化碳气体在 PET 塑料包装瓶中...
杨莉
付亚波...
中国真空学会2008年学术年会论文摘要集
2008-10-01
中国会议
PECVD生长类金刚石薄膜的电学性质研究 CNKI文献
类金刚石膜(Diamond-like carbon),是一种非晶态的碳材料。由于具有许多同金刚石相近的性质,类金刚石膜技术已经在很多领域得到应用。掺杂的DLC膜作为一种半导体材料,其禁带宽度在1—4eV内可调,可以...
陈明文
导师:王辅明
厦门大学
2008-06-01
硕士论文
聚碳酸酯（PC）上沉积类金刚石膜的性能研究 CNKI文献
本课题采用射频等离子体增强化学气相沉积法和射频磁控溅射两种沉积方法在聚碳酸酯(PC)片上沉积类金刚石碳膜(DLC)。利用X射线衍射(XRD)、激光拉曼光谱(Raman)和X射线光电子能谱(XPS)研究了不同条件...
王凤
导师:巴德纯
东北大学
2008-02-21
硕士论文
剃须刀片刃口上镀类金刚石膜的实验研究 CNKI文献
类金刚石膜(DLC)具有许多优异的性能,包括高硬度、高耐磨性、低摩擦系数、热稳定性、红外透光性、高电阻、低介电常数、高疏水性以及生物相容性,使其适合许多领域的应用,因此引起了人们极大兴趣。
本文利用~...
毛羽宏
导师:张世伟
东北大学
2008-01-01
硕士论文
利用射频PECVD方法生长类金刚石薄膜的实验研究 CNKI文献
本文采用射频PECVD方法,以C4H10(或CH4)和Ar为气源在不锈钢、玻璃和硅片等基底上制备出大面积类金刚石薄膜。使用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、激光拉...
蔺增
导师:巴德纯
东北大学
2004-07-01
博士论文
