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微加速度传感器的结构刚度分析新法  CNKI文献

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刘妤 温志渝... 《力学与实践》 2006年04期 期刊

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叉指式微结构加速度传感器刚度的力法求解  CNKI文献

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何晓平 彭勃 传感器技术》 2000年06期 期刊

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