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压电微动工作台的位移复合控制  CNKI文献

为解决稳态精度和稳定性之间的矛盾,提高压电陶瓷执行器的控制性能,进而提高其驱动的微动工作台的定位精度,构造了一种前馈补偿同反馈调节相结合的复合控制算法。其中,前馈补偿为基于压电陶瓷执行器

崔玉国 董维杰... 《机械工程学报》 2006年03期 期刊

关键词: 微动工作台 / 压电陶瓷执行器 / 复合控制 / 前馈控制

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自感知二维微动工作台及其控制方法的研究  CNKI文献

传感器和执行器的集成是微机电系统、智能材料与智能结构的基本要求,可分为结构集成和功能集成两种方式。功能集成的传感器和执行器被称为自感知执行器,其换能元件既作执行器又作传感器。自感...

张建雄 导师:孙宝元 大连理工大学 2005-12-01 硕士论文

关键词: 微动工作台 / 压电陶瓷驱动器 / 迟滞非线性模型 / 自感知

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压电陶瓷自感知执行器及其驱动微动工作台  CNKI文献

压电陶瓷执行器微定位技术具有许多其它微定位技术无可比拟的优点,从而获得了广泛的应用。本文将压电陶瓷执行器用于驱动工作台,为提高压电微动工作台的动静态性能,进行了如下的相关研究。...

崔玉国 导师:孙宝元 大连理工大学 2003-10-01 博士论文

关键词: 微动工作台 / 压电陶瓷执行器 / 迟滞非线性 / 迟滞非线性模型

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