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基于鼓泡和压痕技术研究二维材料力学性能  CNKI文献

二维材料如石墨烯、六方氮化硼、硅烯、黑鳞、二维过渡金属硫族化合物(TDMs)等,因其原子级厚度、新奇的物理特性近年来得到广泛地关注,预期在光电器件及结构、柔性器件、能源材料等领域有着巨大应用前景。在材料、器件...

李远瞳 导师:张忠 中国科学技术大学 2019-04-01 硕士论文

关键词: 二维材料 / 石墨烯 / 二碲化钼 / 鼓泡技术

下载(156)| 被引(1)

磁力自平衡效应转子式微陀螺设计及检测方法研究  CNKI文献

陀螺是一种用于角速度测量的惯性传感器。从运载体(如飞机、潜艇、导弹等)的惯性系统到消费电子(如游戏手柄、手机等)中的角速度测量模块都是以陀螺为核心元件。根据敏感机理,机械陀螺分为振动陀螺和转子式陀螺...

陈殿中 导师:张中兆 哈尔滨工业大学 2019-02-01 博士论文

关键词: 传感器 / 转子式微陀螺 / 磁力自平衡效应 / 水膜轴承

下载(100)| 被引(0)

三浮陀螺多轴磁悬浮响应性能优化控制研究  CNKI文献

研究三浮陀螺浮子体多轴磁悬浮响应性能的优化控制问题。目前采用的输出反馈分散控制方法,存在难以避免的"跷跷板"和"H反馈"问题,造成系统中执行元件的平均加力增大、响应时间长。从刚体动...

王雪 徐超... 《计算机仿真》 2018年09期 期刊

关键词: 三浮陀螺 / 磁悬浮 / 响应性能 / 优化控制

下载(21)| 被引(2)

微纳米机械谐振器表面效应作用机制与动力学特性研究  CNKI文献

微纳机电系统是机械、力学、微电子、化学等多学科交叉的前沿性研究领域,在机械电子、信息通讯、航空航天、生物医学与能源环境等领域有着重要应用价值。微机电系统的日趋成熟和纳米技术的迅猛发展为

胡开明 导师:张文明 上海交通大学 2017-11-01 博士论文

关键词: 微纳米谐振器 / 表面效应 / 非线性动力学 / 表面吸附

下载(17)| 被引(0)

SOI基微机械陀螺制造关键技术研究  CNKI文献

微机械陀螺的性能一直是制约其发展及应用的瓶颈。影响微机械陀螺性能的关键因素包括结构设计、芯片制造和接口电路等三个方面。其中,芯片制造是将微机械陀螺由设计版图转化为表头实体的过程,包括芯...

郝永存 导师:苑伟政 西北工业大学 2017-11-01 博士论文

关键词: 微机械陀螺 / 根切 / 粘附 / 划片破损

下载(193)| 被引(3)

微机械陀螺噪声检测及其分析技术研究  CNKI文献

陀螺仪作为惯性导航系统的核心部分,它的精度直接影响着导航的准确与安全,近年来已经成为惯性传感器件领域的研究重点。本课题以哈工大MEMS中心自主研发的球碟转子式微陀螺为研究对象,针对该陀螺存在的噪声源进行深入...

郑若茵 导师:刘晓为 哈尔滨工业大学 2017-06-01 硕士论文

关键词: 球碟转子式陀螺 / 噪声分析 / Allan方差 / 小波阈值降噪

下载(176)| 被引(0)

球碟转子式微陀螺接口检测电路设计与优化  CNKI文献

陀螺仪传感器是一种应用在惯性空间中的装置,用于检测角位移和相对角速度,在军用领域和民用领域有着普遍地应用,已经成为国内外众多科研机构的研究热点。在目前关于转子式陀螺的研究中,还存在检测精度不够高,转子转速...

魏伟 导师:张海峰 哈尔滨工业大学 2017-06-01 硕士论文

关键词: 球碟转子式陀螺 / 差分电容检测 / ASIC / 相敏解调

下载(98)| 被引(0)

基于光敏聚酰亚胺衬底层的微型皮拉尼真空计研究  CNKI文献

皮拉尼真空计是利用压强改变电阻周围的热效应,从而由电信号反映发热电阻周围压强的一种气压检测传感器。MEMS加工技术的快速发展,推动着微机械皮拉尼真空计的工艺不断成熟。其中,选择合适的材料制作悬浮...

邢瑞远 导师:范继 华中科技大学 2017-05-01 硕士论文

关键词: MEMS传感器 / 光敏聚酰亚胺(PSPI) / 皮拉尼真空计 / 悬浮薄膜

下载(87)| 被引(1)

转子式微陀螺ASIC接口检测电路设计  CNKI文献

随着惯性器件的发展,陀螺仪在各个领域尤其是军用领域和民用领域里扮演了越来越重要的角色,因此也驱动了各个科研机构对陀螺仪的研发改进和性能的完善以满足陀螺仪对不同环境的适应性。哈工大MEMS中心提出了一种新型的...

王頔 导师:刘晓为 哈尔滨工业大学 2016-06-01 硕士论文

关键词: 球碟-转子式陀螺 / 电荷放大 / 电容检测 / 差分电容

下载(98)| 被引(0)

基于纳米机器人的石墨烯力学特性的研究  CNKI文献

石墨烯是一种新型的二维碳纳米材料,它由单层碳原子组成,具有优异的物理、化学和机械力学性质,受到了科学家们的普遍关注,具有广泛的研究价值和应用前景。石墨烯的特殊结构决定了其独特的性质,研究石墨烯的粘附...

张号 导师:谢晖 哈尔滨工业大学 2015-07-01 硕士论文

关键词: 石墨烯 / 纳米机器人 / 力学特性 / 粘附

下载(429)| 被引(1)

悬浮转子微陀螺的磁场建模研究  CNKI文献

悬浮转子式微机械陀螺的高精度、双轴角速度和二轴加速度测量特性,相比传统陀螺有着独特的优势,在军事和民用领域均有一定应用,本文基于实现对液悬浮转子式微机械陀螺结构优化的目的,探求其...

方晨 张斌 《电子设计工程》 2014年24期 期刊

关键词: 自动控制 / 磁场 / 仿真 / 液悬浮转子

下载(41)| 被引(0)

微机械陀螺仪的新进展及发展趋势  CNKI文献

微机械陀螺仪是陀螺技术和微电子机械系统(MEMS)技术结合产生的新一代惯性器件。根据其工作原理和采用材料的不同,微机械陀螺可分为硅基微机械振动陀螺(Si-MVGs)、微机械压电振动陀螺(...

许昕 何杰... 《压电与声光》 2014年04期 期刊

关键词: 硅基微机械陀螺 / 微机械压电振动陀螺 / 石英微机械陀螺

下载(1503)| 被引(54)

转子式微陀螺基于尺寸效应的减阻机理研究  CNKI文献

微陀螺在当今社会发挥的作用越来越重要,其自身发展速度突飞猛进,但现有的微陀螺都存在一定的问题。对于现有的悬浮转子式微机械陀螺,磁悬浮转子微陀螺的转子部分会在工作时逐渐发热,因为该种陀...

张晓舒 导师:刘晓为 哈尔滨工业大学 2014-06-01 硕士论文

关键词: 微陀螺 / 有限元分析 / 界面尺寸效应 / 减阻

下载(96)| 被引(0)

硅微静电悬浮加速度计实验研究  CNKI文献

硅微静电加速度计将静电悬浮技术与微机械加工工艺相结合,在空间微重力环境下通过降低量程可实现极高的分辨率。设计了一种玻璃—硅—玻璃三明治结构、平行六面体状检测质量、体硅加工工艺、低量程的三轴...

张汉蒸 韩丰田... 《传感器与微系统》 2014年03期 期刊

关键词: 微机电系统 / 微机械加速度计 / 静电加速度计 / 静电悬浮

下载(155)| 被引(1)

液浮转子陀螺驱动技术研究  CNKI文献

从20世纪90年代以来,微机电陀螺已经在民用产品上得到了广泛的应用,部分应用在低精度的惯性导航产品中。国外微机械陀螺偏置稳定性长期停留在1°/h左右,国内实验室水平仅为10°/h左右。微机械...

谢勇 导师:叶水弛 哈尔滨工业大学 2012-07-01 硕士论文

关键词: 液浮转子微陀螺 / 驱动电路 / 反电动势 / 转速检测

下载(114)| 被引(1)

液浮转子陀螺驱动技术研究  CNKI文献

从20世纪90年代以来,微机电陀螺已经在民用产品上得到了广泛的应用,部分应用在低精度的惯性导航产品中。国外微机械陀螺偏置稳定性长期停留在1°/h左右,国内实验室水平仅为10°/h左右。微机械...

谢勇 导师:叶水弛 哈尔滨工业大学 2012-07-01 硕士论文

关键词: 液浮转子微陀螺 / 驱动电路 / 反电动势 / 转速检测

下载(41)| 被引(2)

机电集成静电谐波微传动动态特性和静电悬浮研究  CNKI文献

机电集成静电谐波传动是一种集控制、驱动和传动功能于一体的新型广义复合传动。该传动的主要组件包括一个可以在静电力下变形的微柔轮和施加旋转电压的电极。当在柔轮与相对的电极之间顺序施加旋转电压时,柔轮会发生...

冯汉队 导师:许立忠 燕山大学 2012-05-01 硕士论文

关键词: 机电集成 / 静电谐波传动 / 自由振动 / 受迫振动

下载(78)| 被引(2)

国产电阻阵列技术的发展趋势  CNKI文献

回顾和总结了国产电阻阵列3个发展阶段的主要技术方案、优缺点和最终结果。第一代64×64电阻阵列采用了体材料微机械加工的单晶硅薄膜微型电阻,成品率较高但与CMOS工艺不兼容、均匀性差、功耗大、占空比极低...

马斌 程正喜... 《红外与激光工程》 2011年12期 期刊

关键词: 半实物仿真 / 电阻阵列 / 硅各向异性腐蚀 / 薄膜转移

下载(194)| 被引(27)

静电悬浮微机械加速度计检测电路设计  CNKI文献

静电悬浮微机械加速度计通过静电力把质量块无接触的悬浮起来,具有极高的分辨率。一般采用差动电容式位移检测的方式来精确检测质量块在电极腔内的运动,然后在通过悬浮控制系统来实现六自由度的有源...

游鹏程 严小军... 《导航与控制》 2011年04期 期刊

关键词: 静电悬浮 / 微加速度计 / 微位移检测 / 环形二极管解调

下载(1)| 被引(1)

微静电陀螺仪的结构设计与工艺实现  CNKI文献

为了探索微机械陀螺突破精度极限的新途径,设计了一种基于环形转子、体硅加工工艺、转子5自由度悬浮的硅微静电陀螺仪.采用玻璃-硅-玻璃键合的三明治式微陀螺结构,提出了包括双边光刻、反应离子刻蚀(RIE)...

王嫘 韩丰田... 《纳米技术与精密工程》 2011年03期 期刊

关键词: 微静电陀螺 / 体硅工艺 / 铝牺牲层 / 静电键合

下载(352)| 被引(11)

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