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MEMS旋转机械微转子结构的材料选用研究  CNKI文献

材料选用是微机电系统(MEMS)有效设计中必不可少的环节,随着集成电路(IC)及新型微细加工技术的研制和发展,MEMS材料的选用得到拓广,并不局限于硅基材料。针对MEMS旋转机械中微转子结构的应用特点,运用性能指标分析其主...

张文明 孟光 第9届全国转子动力学学术讨论会ROTDYN'2010论文集 2010-08-05 中国会议

关键词: 微机电系统(MEMS) / 微转子 / 材料选用 / 性能指标

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多体系统和复杂微器件的光驱动研究  CNKI文献

光镊技术作为一种全新的微操作手段,已经由于其无接触、无摩擦和无需导线等优点,被广泛应用于生物学、微量化学和微机电系统等多个研究领域。本论文结合国家自然基金重点项目(No.50335050)和863项目(No.2006AA0...

翟晓敏 导师:黄文浩 中国科学技术大学 2009-05-05 博士论文

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微转子—气体轴承系统动力润滑特性研究  CNKI文献

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张文明 孟光 第二届全国动力学与控制青年学者研讨会论文摘要集 2008-09-20 中国会议

关键词: 微机电系统(MEMS) / 微型旋转机械 / 微电机 / 气体轴承

下载(104)| 被引(0)

高速微转子枢轴磨损特性分析  CNKI文献

微转子枢轴是MEMS(micro-electro-mechanicalsystem)旋转机械中的主要驱动部件之一,在系统高速运转过程中会受到严重的摩擦磨损影响。文中采用统计学方法和分形方法分别分析微尺度效应对MEMS...

张文明 孟光... 《机械强度》 2007年01期 期刊

关键词: 微机电系统 / 微转子 / 枢轴 / 磨损

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超高速微转子系统磨损特性的研究  CNKI文献

针对高速旋转微电机中典型的转子轴衬摩擦磨损问题,以半球形轴衬为研究对象,提出了1种描述其磨损过程的线性滑动磨损模型,建立了半球形轴衬-极板接触有限元模型,分析微转子轴衬的磨损特性和轴衬-极板接触...

张文明 孟光 《摩擦学学报》 2006年02期 期刊

关键词: 微机电系统(MEMS) / 微转子 / 磨损性能

下载(221)| 被引(5)

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