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全解耦硅MEMS陀螺仪正交耦合分析  CNKI文献

为了减小正交误差对硅MEMS陀螺仪性能的影响,进一步提高陀螺精度和工程化成品率,对MEMS陀螺正交耦合的影响因素进行了研究。通过MEMS陀螺的运动学简化模型,分析了正交耦合的起因;计算了MEMS~...

吝海锋 王宁... 《微纳电子技术》 2018年01期 期刊

关键词: 微电子机械系统(MEMS) / 陀螺仪 / 静电驱动 / 正交耦合

下载(190)| 被引(3)

微电子机械MEMS陀螺仪的原理和测试方法研究  CNKI文献

作者从原理出发,结合实际开发的产品,由浅入深,提供了微电容检测和Q值测试方案,以及如何实现自动化测试。测试不仅能够检查裸芯片的性能是否符合要求,提前筛除不合格的产品,还能监视工艺的变化而可能导致的参数变化。

钱鸣镝 《集成电路应用》 2017年05期 期刊

关键词: 微电子机械系统 / MEMS / 陀螺仪 / 微电容检测

下载(467)| 被引(7)

MEMS半球谐振陀螺的角速度积分及其FPGA设计  CNKI文献

微电子机械系统(MEMS)半球谐振陀螺是MEMS微陀螺领域的研究热点,能工作在角速度积分模式下,具有体积小、质量轻、功耗低、成本低、对称性高、Q值高,以及精度高等优点。文章给出了一种微型半球谐振~...

赵万良 成宇翔... 《半导体光电》 2017年01期 期刊

关键词: 微电子机械系统 / 半球谐振 / 角速度积分 / 控制

下载(280)| 被引(4)

机械陀螺仪的新进展及发展趋势  CNKI文献

机械陀螺仪是陀螺技术和微电子机械系统(MEMS)技术结合产生的新一代惯性器件。根据其工作原理和采用材料的不同,微机械陀螺可分为硅基微机械振动陀螺(Si-MVGs)、微机械压...

许昕 何杰... 《压电与声光》 2014年04期 期刊

关键词: 硅基微机械陀螺 / 微机械压电振动陀螺 / 石英微机械陀螺

下载(1474)| 被引(54)

振动式微机械陀螺仪的研究现状与展望  CNKI文献

在多种类型的陀螺仪中,以振动式微机械陀螺仪最具代表性,且具有丰富的研究基础和很高的市场占有率。首先介绍了各种检测方式的振动式微机械陀螺仪的国内外研究现状,对各种类型陀螺仪的结构、...

张霞 《固体电子学研究与进展》 2013年05期 期刊

关键词: 微电子机械系统 / 振动式陀螺仪 / 电容检测 / 压阻检测

下载(517)| 被引(15)

核磁共振微陀螺的现状与发展  CNKI文献

基于核磁共振的微型陀螺仪以其小体积、低功耗、低成本等优势成为了惯性传感器领域新的研究热点。回顾了核磁共振陀螺仪的发展历程,并跟踪了国际上基于核磁共振的微型陀螺仪的最新研究动态。从核磁...

李攀 刘元正... 《微纳电子技术》 2012年12期 期刊

关键词: 微型陀螺仪 / 核磁共振(NMR) / 原子自旋 / 原子传感器

下载(835)| 被引(15)

MEMS陀螺中带孔结构空气阻尼建模分析  CNKI文献

针对MEMS陀螺中带孔结构的空气阻尼问题,根据制作的微陀螺,利用MATLAB软件对模态匹配、Q值匹配与灵敏度之间的关系进行了仿真分析。仿真结果表明在驱动和检测模态匹配时灵敏度幅值最大,但工作带宽却随Qx与...

李锡广 李孟委... 《微纳电子技术》 2012年11期 期刊

关键词: 微电子机械系统(MEMS) / 陀螺 / 空气阻尼 / Q值匹配

下载(297)| 被引(7)

石英微机械陀螺的研究进展  CNKI文献

首先介绍了石英微机械陀螺基于压电效应和科氏加速度的工作原理,回顾了石英微机械陀螺的发展历程,并且介绍了石英微机械陀螺的国内外发展现状。然后,针对石英微机械陀螺不同的结构进行了分类...

关冉 张卫平... 《微纳电子技术》 2012年03期 期刊

关键词: 石英 / 微机械陀螺 / 压电效应 / 科氏加速度效应

下载(534)| 被引(8)

一种新的微机械陀螺品质因数测试方法  CNKI文献

传统的微机械陀螺采用扫频方法测试结构的品质因数,存在耗时长、测量效率低和精度差等问题。提出了一种新的品质因数测量方法,该方法的原理是通过对陀螺的驱动端施加一个激励脉冲,采集驱动检测端的相应衰...

徐淑静 高振宁 《微纳电子技术》 2011年06期 期刊

关键词: 微电子机械系统(MEMS) / 陀螺 / 品质因数 / 数字采集卡

下载(191)| 被引(4)

MEMS微陀螺仪研究进展  CNKI文献

回顾了MEMS微陀螺仪的研究进展,简单介绍了MEMS微陀螺仪的市场应用。微陀螺仪是MEMS器件中非常重要的一类器件。它的运用已经从单纯的航空领域逐渐转向汽车、消费电子行业等低端市场,这意味着

成宇翔 张卫平... 《微纳电子技术》 2011年05期 期刊

关键词: 微电子机械系统(MEMS) / 惯性传感器 / 微陀螺仪 / 零偏漂移

下载(4549)| 被引(117)

MEMS硅微陀螺系统级建模与仿真研究  CNKI文献

根据MEMS陀螺仪敏感哥式加速度、测量角速度的原理,建立MEMS陀螺系统级行为模型是分析MEMS陀螺仪内部的驱动、检测和信号解调等行为过程及改进陀螺整个系统的性能的重要方法。根据MEMS...

温佰仟 刘建业... 《中国惯性技术学报》 2007年04期 期刊

关键词: 微电子机械系统 / 陀螺 / 模拟行为模型 / 相关检测

下载(666)| 被引(17)

机械音叉陀螺接口电路研究  CNKI文献

利用MEMS(微电子机械系统)技术作为加工手段的微机械陀螺与传统陀螺相比具有微型化、可集成和批量生产等优点,在众多领域有着广阔的应用前景。本论文主要针对静电驱动电容检测音叉式微机械陀螺

刘显学 导师:苏伟 中国工程物理研究院 2006-03-01 硕士论文

关键词: 微电子机械系统 / 微陀螺 / 接口电路 / 锁相环

下载(366)| 被引(2)

机械陀螺的动力学特性研究  CNKI文献

与传统陀螺相比,微机械陀螺具有体积小、重量轻、成本低等特点,因而具有广泛的应用前景。在微机械陀螺的研究中,陀螺的灵敏度和分辨率的提高始终是人们追求的主要目标。目前,有关微机械

朱二辉 导师:刘凯 西安理工大学 2006-03-01 硕士论文

关键词: 微电子机械系统 / 微机械振动式陀螺 / 动力学特性 / 有限元模拟

下载(807)| 被引(10)

磁悬浮转子微陀螺的电容检测系统分析和实现  CNKI文献

介绍了一种新型磁悬浮转子微陀螺的电容检测方案,其特点是检测定子上径向分布的电容极板和悬浮转子形成差动电容的变化。检测电路为基于相关检测原理的交流电容电桥的方法。电路实现中采用积分电荷放大器作为前...

刘武 黄晓刚... 《测控技术》 2006年01期 期刊

关键词: 电容检测 / 相关解调 / 磁悬浮 / 微陀螺

下载(263)| 被引(11)

振动式微机械陀螺的设计与仿真  CNKI文献

本论文主要围绕一种无需真空封装,可在大气环境下工作的解耦型微机械振动式陀螺开展,进行了器件的设计和特性研究,为进一步制作器件打下了基础。 主要内容如下: 1.分析了微机械

邸荻 导师:李圣怡 国防科学技术大学 2005-11-01 硕士论文

关键词: 微电子机械系统 / 微机械陀螺 / 角速度传感器 / 解耦

下载(612)| 被引(5)

军用微电子机械系统的应用及封装  CNKI文献

扼要介绍微电子机械系统的特征,在军事装备和航空航天系统中的应用及其各种封装技术。

桑荣 《电子元器件应用》 2005年06期 期刊

关键词: 微电子 / 微机械 / 微电子机械系统 / 封装

下载(348)| 被引(2)

微电子机械系统(MEMS)器件中的普通物理学原理  CNKI文献

简要介绍了微电子机械系统,一个新兴的高新技术领域,并以微机械陀螺和加速度计结构为例说明了物理学基本原理在MEMS器件中的应用。

张霞 《北京广播学院学报(自然科学版)》 2004年02期 期刊

关键词: 微电子机械系统器件 / 物理学

下载(237)| 被引(1)

机械陀螺的仿真与优化  CNKI文献

机械陀螺依靠振动模态频率来测量旋转角速度,通常微机械结构的振动模态相当复杂。虽然已有很多文章研究了如何调节驱动模态和敏感模态以获得最大的敏感度,却很少有人分析微机械陀螺的振动模态。振...

李万玉 董介春 《传感器技术》 2004年03期 期刊

关键词: 微机械陀螺 / 振动模态 / 微电子机械系统

下载(409)| 被引(13)

微陀螺仪敏感芯片的选择性电铸技术研究  CNKI文献

介绍了一种新的MEMS器件敏感芯片的制备技术———选择性电铸技术。以金为检测电极、铜为牺牲层、正胶作为电铸胎膜,在牺牲层上经过数次电铸形成MEMS器件敏感芯片的各组成部分,腐蚀掉牺牲层后便得到了所需的敏感芯片。...

单光宝 刘佑宝... 《传感器技术》 2004年02期 期刊

关键词: 微电子机械系统 / 微陀螺仪 / 选择性电铸

下载(107)| 被引(2)

电磁驱动电容式振动微机械陀螺接口电路研究  CNKI文献

机械陀螺由于使用了MEMS(微电子机械系统)技术作为加工手段,使得其体积、成本等相对于传统的陀螺仪有很大的下降,同时,其加工手段有可能与集成电路工艺兼容,从而有望在汽车工业、航空航天等领...

付盛荣 导师:王跃林 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) 2003-06-01 硕士论文

关键词: 微电子机械系统 / 振动式微机械陀螺 / 电容式 / 电磁驱动

下载(498)| 被引(13)

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