纳米接触问题的连续方法建模与计算  CNKI文献

针对微电子机械系统中的“微碰撞”、“微接触”、“纳米摩擦”等现象,根据Hamaker3个假设和经典弹性理论,采用连续介质力学方法,建立了球-球、球-面接触的弹性物理模型;给出了粘着力引起的球-球、球-面间...

张锡义 涂苏龙... 《仪器仪表学报》 2005年S2期 期刊

纳米接触问题的连续方法建模与计算  CNKI文献

针对微电子机械系统中的“微碰撞”、“微接触”、“纳米摩擦”等现象,根据Hamaker3个假设和经典弹性理论,采用连续介质力学方法,建立了球一球、球一面接触的弹性物理模型;给出了粘着力引起的球一球、球一面间接触半径...

张锡义 涂苏龙... 第七届青年学术会议论文集 2005-08-01 中国会议

MEMS粘着研究  CNKI文献

随着材料尺寸、加工尺寸的日趋减小 ,尺寸效应对系统的影响越来越明显 ,如何控制微电子机械中的粘着力 ,已成为微电子机械系统提高性能、批量生产、走向市场的关键因素。本文首先介绍了国内外...

田文超 贾建援 《仪器仪表学报》 2003年S1期 期刊

MEMS粘着研究  CNKI文献

随着材料尺寸、加工尺寸的日趋减小,尺寸效应对系统的影响越来越明显,如何控制微电子机械中的粘着力,已成为微电子机械系统提高性能、批量生产、走向市场的关键因素。本文首先介绍了国内外粘着力的研究理论;根据Hamak...

田文超 贾建援 中国仪器仪表学会第五届青年学术会议论文集 2003-06-30 中国会议

Tabor数、粘着数与微尺度粘着弹性接触理论  CNKI文献

微电子机械系统（ＭＥＭＳ）等领域的飞速发展，促使我们迈进了一个表面效应在许多现象 中占主导地位的研究领域．本文重点介绍在ＭＥＭＳ中经常遇到的微尺度粘着弹性接触的相关理论． 通过对两个无量纲数——Ｔ...

赵亚溥 王立森... 《力学进展》 2000年04期 期刊