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机械惯性器件  CNKI文献

微电子加工技术和振动惯性技术相结合使惯性仪表技术发生了重大变革,惯性器件的概念已从宏观领域发展到微观世界,人们已能象生产集成电路那样来生产惯性器件,这类惯性器件

吕志清 吴旭峰 《压电与声光》 1997年06期 期刊

关键词: 惯性器件 / 微电子机械加工技术 / 惯性测量组合

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