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Al/AlN多层膜的结构和力学性能研究 CNKI文献

采用柱状靶直流磁控溅射制备了Al、AlN薄膜和Al／AlN多层膜。Al单组分膜呈现很强的(111) 衍射峰,AlN相在单层膜中呈现(100)的择优取向,而在多层膜样品中为(002)的择优取向,同时出现Al的衍射峰,相应的衍射峰强度很弱。...

吴志国张广安... 第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文... 2006-08-01 中国会议

关键词：柱状靶直流磁控溅射 / Al／AlN多层膜 / 结构 / 硬度

下载（43）| 被引（1）

Al/AlN多层膜的结构和力学性能研究 CNKI文献

采用柱状靶直流磁控溅射制备了Al、AlN薄膜和Al/AlN多层膜。Al单组分膜呈现很强的(111)衍射峰,AlN相在单层膜中呈现(100)的择优取向,而在多层膜样品中为(002)的择优取向,同时出现Al的衍射峰,相应的衍射峰强度很弱。调...

吴志国张广安... 第六届全国表面工程学术会议论文集 2006-08-01 中国会议

关键词：柱状靶直流磁控溅射 / Al/AlN多层膜 / 结构 / 硬度

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	题名	作者	来源	发表时间	类型	被引	下载	操作
1	Al/AlN多层膜的结构和力学性能研究	吴志国张广安	第六届全国表面工程学...	2006-08-01	会议	1	43
2	Al/AlN多层膜的结构和力学性能研究	吴志国张广安	第六届全国表面工程学...	2006-08-01	会议	0	31

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