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Al/AlN多层膜的结构和力学性能研究 CNKI文献

采用柱状靶直流磁控溅射制备了Al、AlN薄膜和Al/AlN多层膜。Al单组分膜呈现很强的(111)衍射峰,AlN相在单层膜中呈现(100)的择优取向,而在多层膜样品中为(002)的择优取向,同时出现Al的衍射峰,相应的衍射峰强度很弱。调...

吴志国张广安... 第六届全国表面工程学术会议论文集 2006-08-01 中国会议

关键词：柱状靶直流磁控溅射 / Al/AlN多层膜 / 结构 / 硬度

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