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真空退火温度对磁控溅射氧化钒薄膜结构和光学...  CNKI文献

通过磁控溅射法在玻璃基底上制备氧化钒薄膜样品。由于沉积温度较低,薄膜样品呈非晶态且不透明。为使薄膜样品晶化,并有效抑制其过度氧化,将样品在管式真空炉中进行退火处理。本文重点研究了...

白睿 武英桐... 《电镀与精饰》 2020年11期 期刊

关键词: 磁控溅射 / 氧化钒薄膜 / 光学性能 / 真空退火

下载(49)| 被引(0)

基于磁控溅射法的二氧化钒薄膜制备技术优化及应用  CNKI文献

将磁控溅射法和真空退火工艺相结合,在Al_2O_3陶瓷基片上制备出VXOY薄膜,降低了实验对仪器精度的要求,提高了实验的成功率。对基片进行磁控溅射镀膜,在管式炉中进一步氧化处理生成表面均匀的V_2O_5,然后进...

何长安 王庆国... 《材料科学与工程学报》 2020年04期 期刊

关键词: 二氧化钒薄膜 / 退火处理 / 磁控溅射 / 晶体生长

下载(203)| 被引(0)

氧化钒纳米粉体制备及相变特性调控研究  CNKI文献

氧化钒作为一种典型的热致相变氧化物,在68℃时发生由低温绝缘体向高温金属态的可逆相变,该相变特性使其在红外波段具有优异的热致变色特性。因此,通过调控VO_2的相变特性以裁剪其热致变色性能已经成为...

刘蕊 导师:赵嘉学 电子科技大学 2019-04-01 硕士论文

关键词: 二氧化钒 / 退火 / 掺杂 / 相变

下载(275)| 被引(1)

氧化钒薄膜材料相变临界场强调控方法研究  CNKI文献

采用无机溶胶-凝胶法并结合真空退火工艺在Al_2O_3陶瓷基片上制备了二氧化钒及其他价态钒氧化物共存的薄膜材料。研究了退火时间对VO_2、V_2O_5、V_6O_(13)、V_6O_(11)等价态成分和含量的影响...

山世浩 王庆国... 《材料导报》 2018年06期 期刊

关键词: 无机溶胶-凝胶法 / 二氧化钒薄膜 / 真空退火 / 相变临界场强

下载(125)| 被引(2)

外部温度对二氧化钒临界相变电场影响的研究  CNKI文献

通过无机溶胶-凝胶法和真空退火工艺在Al2O3陶瓷基片上制备出VO2薄膜,通过在薄膜上施加高电压,并结合温度控制系统的方法,研究相变过程中外部温度对二氧化钒临界相变电场的影响。结果表明:当外部温度从63...

山世浩 王庆国... 《兵器材料科学与工程》 2017年06期 期刊

关键词: 二氧化钒薄膜 / 临界相变电场 / 相变温度 / 智能电磁防护材料

下载(118)| 被引(2)

磁控溅射制备低相转变温度氧化钒薄膜  CNKI文献

采用直流反应磁控溅射法在不同氧分压气氛下制备了氧化钒薄膜,并进行后续真空退火处理。分别利用X-射线衍射仪,扫描电子显微镜和综合物性仪分析薄膜的相成分、表面形貌以及电性能。结果表明:随着氧分压的...

李云龙 付花睿... 《金属功能材料》 2017年03期 期刊

关键词: 氧化钒薄膜 / 相转变温度 / 电阻温度系数(TCR) / 磁控溅射

下载(185)| 被引(1)

基于Sol-Gel法制备掺杂VO_2薄膜及其热致相变特性研究  CNKI文献

热致变色材料二氧化钒(VO_2)因其在68℃具有可逆金属-绝缘转变(MIT)而备受关注。本文使用Sol-Gel法以及高真空退火处理工艺成功制备了二氧化钒薄膜以及W、Eu掺杂的二氧化钒薄膜,通过掺杂和高...

潘国平 导师:李祥 北京理工大学 2016-12-01 硕士论文

关键词: 二氧化钒薄膜 / Sol-Gel法 / 掺杂 / 红外调节

下载(34)| 被引(0)

一维亚波长红外透射/辐射调控结构研究  CNKI文献

一维亚波长红外透射/辐射调控结构可以根据应用需求对红外透射和辐射特性进行灵活调控,在建筑节能和传感器等领域具有广泛的应用前景。本论文主要研究了用于建筑节能的一维红外透射调控结构二氧化钒(Vanadium D...

刘星星 导师:陆卫 中国科学院大学(中国科学院上海技术物理研究所) 2016-11-01 博士论文

关键词: 亚波长 / 薄膜 / 二氧化钒 / 相变温度

下载(179)| 被引(0)

氧化钒薄膜的制备及其光学特性研究  CNKI文献

在自然资源日益匮乏的当今,节能环保逐渐成了人们的生活理念。太阳能的有效利用也成了当前研究的热点之一。二氧化钒(VO_2)金属-半导体相变特性的发现,为节能环保的“智能窗”的发展创造了契机。VO_2接近室温的...

张勃 导师:沈龙海 沈阳理工大学 2015-12-01 硕士论文

关键词: 氧化钒 / 磁控溅射 / 相变 / XRD

下载(190)| 被引(0)

热色变二氧化钒薄膜的可控制备与相变温度调控研究  CNKI文献

金红石M相二氧化钒(VO2)在68℃可发生半导体-金属相转变(MIT),随着相变的发生,其光学性质会发生明显的可逆变化,因而具有调节太阳光透过率的VO2薄膜是制备高效节能智能窗的理想材料之一。但由于合成困难、可见光...

赵新宇 导师:陶海征 武汉理工大学 2015-05-01 硕士论文

关键词: 二氧化钒薄膜 / 溶胶-凝胶法 / 钨掺杂 / 二次退火

下载(136)| 被引(1)

非制冷红外探测器用氧化钒薄膜的制备及性能研究  CNKI文献

氧化钒薄膜是一种性能优异的热敏电阻材料,在许多技术领域有具有非常广阔的应用前景,已经成为国内外在功能材料领域的研究热点之一。本论文针对非制冷红外探测器用的热敏电阻材料开展了热敏薄膜的制备及其性能...

姜密 导师:龙剑平 成都理工大学 2013-05-01 硕士论文

关键词: 氧化钒 / 薄膜 / 电阻温度系数 / 非制冷红外探测器

下载(351)| 被引(1)

氧化钒纳米线的制备与M相研究  CNKI文献

氧化钒(VO_2)是一种优异的相变材料,它在68℃的时候发生从半导体相到金属相的转变,并伴随着电阻率4-5个数量级的突变,利用这一特性可以实现很多应用。此外,由于在发生相变时二氧化钒会出现很多M-...

王成迁 导师:刘向力 哈尔滨工业大学 2012-12-01 硕士论文

关键词: 二氧化钒 / 气相沉积 / 水热合成 / M1和M2

下载(1001)| 被引(5)

掺杂氧化钒薄膜的相结构和光电性能研究  CNKI文献

氧化钒在室温左右随着温度的变化电阻值反应敏感,能够获得比较大的电阻温度系数值(TCR),其室温电阻值大约在几千到几十万欧姆之间,并且,能够良好的匹配Si读出电路,因此,氧化钒可以满足微测辐射热...

王银玲 导师:赵连城 哈尔滨工业大学 2012-07-01 博士论文

关键词: VO_x / 电阻-温度系数 / 相变 / 光电性能

下载(803)| 被引(4)

氧化钒薄膜的制备及特性研究  CNKI文献

氧化钒(VO2)是一种被广泛研究的热敏材料,具有多种晶形。其中VO2(M)具有热滞相变特性,随着温度的降低,大约在68℃附近,发生从金属到非金属(半导体)的性质突变,由于相变温度接近室温,且相变前后光学、电学性能...

李彦彩 导师:吴柳 北京交通大学 2010-05-01 硕士论文

关键词: 二氧化钒薄膜 / 磁控溅射 / 相变 / 电阻温度系数

下载(328)| 被引(2)

掺钨氧化钒薄膜的制备及研究  CNKI文献

采用复合靶磁控溅射法在SiO2玻璃、普通玻璃和Si(100)上沉积氧化钒薄膜,然后对其进行真空退火。分别利用X射线衍射、原子力显微镜、紫外可见光分光光度计和红外光谱仪分析样品的物相、表面形貌和光透过率...

龙航宇 余志明... 《中国表面工程》 2009年05期 期刊

关键词: 磁控溅射 / 掺钨 / VO2

下载(197)| 被引(7)

掺钨VO_2薄膜的制备及其相变特性研究  CNKI文献

掺钨VO_2薄膜独特的相变特性决定了它具有广阔的应用前景。本文通过反应磁控溅射和真空退火处理结合的方法在玻璃基片上制备掺钨VO_2薄膜(V_(1-x)WxO_2)。研究过程中,用XPS、XRD、SEM、AFM和台阶仪等对薄膜的成分、微...

郭江涛 陈长琦... TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集 2009-08-15 中国会议

关键词: 二氧化钒 / 掺钨 / 相变温度 / 磁控溅射

下载(43)| 被引(0)

VO_x/TiO_x/Ti多层薄膜的制备工艺与内耗研究  CNKI文献

用磁控反应溅射法在玻璃和钼片衬底上制备VOx/TiOx/Ti多层薄膜。用X射线衍射(XRD)、QJ31单臂电桥、薄膜内耗仪等测试了薄膜的晶体结构、电阻、内耗。分别进行了薄膜的制备工艺与内耗研究。测试分析结果表明:试样的晶体...

方广志 李合琴... 真空 2009年04期 期刊

关键词: VOx/TiOx/Ti多层薄膜 / 磁控反应溅射 / 电阻温度系数 / 内耗

下载(101)| 被引(1)

掺钨VO_2薄膜的制备及相关特性研究  CNKI文献

氧化钒(VO2)是一种热致相变材料,它在68℃附近会发生从低温半导体态到高温金属态的可逆相变,同时伴随着电阻率和光学性质的突变。VO2薄膜中掺入其它元素可以把薄膜的相变温度降低到室温附近,因此掺杂VO2具有广...

郭江涛 导师:陈长琦 合肥工业大学 2009-04-01 硕士论文

关键词: 二氧化钒 / 掺钨 / 相变温度 / 磁控溅射

下载(352)| 被引(4)

反应磁控溅射法制备氧化钒薄膜  CNKI文献

采用反应磁控溅射加真空退火分别在玻璃和Si(100)基底上制备氧化钒薄膜,利用X射线衍射和原子力显微镜分析其物相和表面形貌。结果表明:氧气体积分数低于15%时,玻璃上薄膜为低价钒氧化物,Si(100)上薄...

刘凤举 余志明... 《稀有金属材料与工程》 2008年12期 期刊

关键词: 反应磁控溅射 / 真空退火 / V_2O_3 / VO_2

下载(214)| 被引(10)

钒氧化物薄膜制备工艺及性能研究  CNKI文献

本文对钒及钒氧化物,特别是VO2和V2O5的基本性质,制备工艺特别是溶胶凝胶工艺,和应用前景等进行了综述。VO2在68℃左右发生低温半导体态到高温金属态的相变,其电学和光学性能发生突变,在热、电开关和光存储介质...

葛振华 导师:赵昆渝 昆明理工大学 2008-11-20 硕士论文

关键词: VO_2薄膜 / V_20_5薄膜 / 无机溶胶凝胶法

下载(370)| 被引(1)

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