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非制冷红外焦平面探测器研究进展与趋势  CNKI文献

介绍了非制冷红外焦平面探测器的基本工作原理,并概括了其关键技术参数。梳理了非制冷红外焦平面探测器技术与产品的发展简史,综述了国内外相关研究及产品开发的最新进展。最后还讨论了非制冷红外焦平面探测器技术的发...

李静 宋广... 《红外》 2020年10期 期刊

关键词: 非制冷红外焦平面探测器 / 微测辐射热计 / 氧化钒薄膜

下载(103)| 被引(0)

氧化钒薄膜的磁控溅射生长及其性质研究  CNKI文献

氧化钒(VO_2)因为具有热致相变特性而被人们熟知。随着温度的升高,会发生从低温半导体相到高温金属相的可逆转变,在相变前后,其光学和电学特性均有极大改变。这一特有的性质决定VO_2在光电开关、智能窗、红外...

马旭 导师:黄明举 河南大学 2017-05-01 硕士论文

关键词: 二氧化钒 / 磁控溅射 / 相变 / 电阻温度系数

下载(235)| 被引(2)

基于氧化钒薄膜的17微米640×512非制冷红外焦平面阵...  CNKI文献

报道了艾睿光电科技有限公司17微米640×512非制冷红外焦平面阵列芯片研究进展,介绍了芯片的读出电路架构与功能模块。将芯片进行高真空金属封装后进行了光电性能测试。测试结果显示,器件典型NETD小于35m K(@300K...

王宏臣 江斌... 国防光电子论坛第二届新型探测技术及其应用研讨会论文集 2015-07-22 中国会议

关键词: 红外焦平面阵列 / 真空封装 / 微测辐射热计 / 氧化钒薄膜

下载(177)| 被引(0)

一种新型日照计的设计  CNKI文献

日照时数测量是太阳辐射时间分布测量的重要组成部分,气象上通常采用日照计观测日照时数。目前常用日照计在光学系统的杂散光消除、传感器辐射响应与设计封装这两个问题上存在缺陷。针对这两个问题,在此提出了一种新型...

钱昊 魏敏祥... 《现代电子技术》 2014年04期 期刊

关键词: 光电探测 / 日照时数测量 / 微测辐射热计 / 日照计

下载(61)| 被引(3)

基于氧化钒热敏特性的太赫兹探测器  CNKI文献

采用氧化钒(VOX)薄膜作为热敏层的非制冷红外微测辐射热计在红外探测方面已取得很大成功,而当将其用于波长更长的远红外太赫兹(THz)波探测时其中存在的不足就会体现出来。介绍了基于微测辐射热计

罗振飞 周逊... 《太赫兹科学与电子信息学报》 2013年03期 期刊

关键词: 太赫兹探测器 / 氧化钒 / 微测辐射热计

下载(228)| 被引(7)

磁控溅射纳米VO_2(B相)热敏薄膜的制备  CNKI文献

利用磁控反应溅射镀膜方法在低温(250℃)条件下制备了主要成分为B相亚稳态二氧化钒(VO2)的薄膜材料。电学性能测试表明:室温下该薄膜的方块电阻为50kΩ左右,电阻温度系数为-2.4%/K,可以作为非致冷红...

何少伟 陈鹏杰... 《半导体光电》 2012年04期 期刊

关键词: 二氧化钒薄膜 / 磁控溅射 / 微测辐射热计 / 非致冷红外探测器

下载(226)| 被引(3)

掺杂氧化钒薄膜的相结构和光电性能研究  CNKI文献

氧化钒在室温左右随着温度的变化电阻值反应敏感,能够获得比较大的电阻温度系数值(TCR),其室温电阻值大约在几千到几十万欧姆之间,并且,能够良好的匹配Si读出电路,因此,氧化钒可以满足微测辐射

王银玲 导师:赵连城 哈尔滨工业大学 2012-07-01 博士论文

关键词: VO_x / 电阻-温度系数 / 相变 / 光电性能

下载(801)| 被引(4)

射频磁控溅射氧化钒薄膜的结构与性能研究(英文)  CNKI文献

以非制冷微测辐射热计型红外探测器应用为需求背景,采用射频磁控溅射技术在300℃低温条件下制备了氧化钒薄膜。采用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、能量色散谱(EDS)及X射线光电子能谱(XPS)技术表征了...

刘黎明 莫镜辉... 《红外技术》 2012年05期 期刊

关键词: 氧化钒薄膜 / 非晶结构 / 溅射工艺 / 电学性能

下载(132)| 被引(4)

高灵敏氧化钒非致冷红外探测器研究  CNKI文献

非致冷红外探测器/微测辐射热计作为属于第三代的基于微机电系统MEMS技术的红外探测器,由于具有体积小、重量轻、功耗低、易携带、非致冷等优点,在工业、农业、国防、医疗、交通、环境保护等诸多领域具有非常广...

王彬 导师:陈四海 华中科技大学 2012-05-01 博士论文

关键词: 非致冷红外探测器 / 氧化钒薄膜 / 黑金薄膜 / 多孔硅

下载(1952)| 被引(10)

退火条件对氧化钒薄膜电学性能的影响  CNKI文献

文中采用射频反应溅射法制备氧化钒薄膜,并用三段式控温退火炉对薄膜进行快速升降温退火处理。文中重点就退火条件对氧化钒薄膜的电学性能的影响进行了研究。研究结果表明:退火时间和退火温度均对~...

王利霞 王海云... 《南京邮电大学学报(自然科学版)》 2011年06期 期刊

关键词: 二氧化钒 / 快速升降温退火 / 电阻温度系数 / 微测辐射热计

下载(141)| 被引(1)

低相变温度VO_2薄膜的制备  CNKI文献

由于VO_2在68℃时会发生金属-半导体相变而为人所知,在发生金属-半导体相变的过程中,VO_2的晶体结构也会随之发生变化,由低温的单斜结构转变为高温时的四方金红石结构。同时相变也会引起VO_2薄膜光学和电学性能...

黄章立 导师:黄鹰 华中科技大学 2010-12-01 硕士论文

关键词: VO_2薄膜 / 相变 / 温度电阻系数 / 微测辐射热计

下载(286)| 被引(4)

多孔硅基MEMS非制冷红外探测器微结构与工艺研究  CNKI文献

本论文基于MEMS非制冷红外探测器,详述了非制冷红外微测辐射热计的原理、关键参数及研究现状,对器件结构及热敏材料进行了研究。提出了一套基于多孔硅(PS)技术的非制冷红外微测辐射热计工艺流程,进行了器...

杨海波 导师:胡明 天津大学 2010-06-01 博士论文

关键词: 非制冷红外探测器 / 多孔硅 / 氧化钒 / 微测辐射热计

下载(859)| 被引(5)

氧化钒薄膜的制备及特性研究  CNKI文献

氧化钒(VO2)是一种被广泛研究的热敏材料,具有多种晶形。其中VO2(M)具有热滞相变特性,随着温度的降低,大约在68℃附近,发生从金属到非金属(半导体)的性质突变,由于相变温度接近室温,且相变前后光学、电学性能...

李彦彩 导师:吴柳 北京交通大学 2010-05-01 硕士论文

关键词: 二氧化钒薄膜 / 磁控溅射 / 相变 / 电阻温度系数

下载(328)| 被引(2)

基于MEMS技术的新型氧化钒辐射热计微结构及...  CNKI文献

近年来,采用微机械非制冷红外探测器实现热成像是MEMS领域和光学成像领域的研究热点。本文对实验室测辐射热计器件的首次制备经历进行研究,分析了器件设计及工艺制备中存在的问题,提出优化方案,选择在氧化

马贤君 导师:胡明 天津大学 2008-05-01 硕士论文

关键词: 测辐射热计 / 氧化钒 / 多孔硅 / MEMS

下载(325)| 被引(2)

微纳VO_2薄膜特性及其应用研究  CNKI文献

高灵敏度的非致冷红外焦平面的出现被认为是近二十多年来红外工程的最了不起的成就。相比于致冷型光子探测器,非致冷型探测器具有成本低、体积小、重量轻、功耗小、可靠性高等方面的优点,引起了红外成像应用方面的广泛...

何少伟 导师:王兴治 华中科技大学 2008-04-01 博士论文

关键词: 非致冷红外焦平面 / 微测辐射热计 / 二氧化钒薄膜 / 电阻温度系数

下载(678)| 被引(4)

微测辐射热计氧化钒薄膜的制备及其电阻温度...  CNKI文献

氧化钒薄膜具有高的电阻温度系数(TCR),是制备微测辐射热计的理想热敏感材料。高的电阻温度系数和良好的绝热结构是获得高性能微测辐射热计的前提。本论文采用直流对靶磁控溅射和射频离子束溅射两种...

梁继然 导师:胡明 天津大学 2007-12-01 博士论文

关键词: 氧化钒薄膜 / 微测辐射热计 / 相变特性 / 电阻温度系数

下载(464)| 被引(2)

红外微测辐射热计用纳米氧化钒薄膜的制备和性...  CNKI文献

具有优异热敏性能的氧化钒薄膜材料是红外测辐射热计的首选热敏电阻材料,合适的薄膜电阻及高温度电阻系数的氧化钒薄膜的制备是实现高探测率红外测辐射热计的保证.利用新型对靶反应磁...

吕宇强 胡明... 《纳米技术与精密工程》 2006年03期 期刊

关键词: 纳米氧化钒薄膜 / 测辐射热计 / 温度电阻系数TCR / 直流对靶磁控溅射

下载(174)| 被引(3)

氧化钒热敏薄膜非致冷红外探测器的等效模型  CNKI文献

建立了氧化钒热敏薄膜微测辐射热计的PSPICE模型,结合一个具体的CMOS读出电路给出探测器的等效电路模型,分析了探测器的电学和噪声特性,根据等效模型基于微测辐射热计电阻RD和读出电路MOS沟道宽度2...

黎文模 陈向东... 《传感器与微系统》 2006年09期 期刊

关键词: 氧化钒 / 红外探测器 / 集成电路专用个人仿真程序 / 噪声等效温差

下载(291)| 被引(5)

氧化钒薄膜的低温制备及其性能研究  CNKI文献

针对VO2薄膜微测辐射热计上的应用,采用射频反应溅射法,在室温下制备氧化钒薄膜;研究了氧分压对薄膜沉积速率、电学性质及成分的影响.通过调节氧分压,先获得成分接近VO2的非晶化薄膜...

王利霞 李建平... 《物理学报》 2006年06期 期刊

关键词: 二氧化钒 / 电阻温度系数 / 氧分压 / 射频反应溅射法

下载(672)| 被引(59)

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