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超宽禁带AlN及ZnGa_2O_4光电材料的结构、光学与表面...  CNKI文献

随着电子技术及相关产业的迅速发展,以元素半导体Si为代表的第一代半导体材料及以GaAs,GaP,InP等化合物半导体为代表的第二代半导体材料已经不能满足现代电子产业的发展要求。因此,以III-V族氮化物半导体、氧化...

李瑶 导师:陆翔 广西大学 2019-05-01 硕士论文

关键词: AlN / ZnGa_2O_4 / X射线光电子能谱 / X射线衍射

下载(201)| 被引(0)

深紫外氮化物材料的光学性质研究  CNKI文献

高Al组分铝镓氮(AlGaN),AlN材料,具有超宽禁带、耐高温、抗辐射等特点,是制备紫外LED、LD、紫外探测器以及高功率器件的优选材料。但目前高质量高A1组分AlGaN、AlN材料制备困难,不同生长方法和生长条件下制备的材料性...

林书玉 导师:万玲玉 广西大学 2018-06-01 硕士论文

关键词: 氮化铝 / 铝镓氮 / 椭圆偏振光谱 / 拉曼光谱

下载(267)| 被引(3)

使用椭偏光谱研究氮化铝薄膜在不同温度下的光学  CNKI文献

通过椭偏仪对生长在蓝宝石上的不同厚度氮化铝薄膜的变温光学性质进行了研究,并采用托克-洛伦兹模型对椭偏实验数据进行了拟合分析,精确得到了氮化铝薄膜的厚度和光学常数(折射率n,消光系数k...

林书玉 吴峰... 《红外与毫米波学报》 2017年03期 期刊

关键词: 氮化铝 / 椭偏仪 / 厚度 / 温度

下载(169)| 被引(4)

基于椭偏法的典型工程材料高温光学常数实验研究  CNKI文献

光学常数是固体材料最基础的热辐射物性。现有文献表明,温度是影响材料光学常数的重要因素之一。获得不同温度下的光学常数,并研究其温度依赖性规律,可以为辐射传热的精确计算,以及介电函数量子模拟...

张文杰 导师:刘林华 哈尔滨工业大学 2015-06-01 博士论文

关键词: 光学常数 / 固体材料 / 光谱椭偏法 / 粗糙表面

下载(499)| 被引(9)

Ti和AlN多层彩色的选择性吸收膜的制备和研究  CNKI文献

太阳能的利用对于缓解当期的能源危机有着至关重要的作用,太阳能选择性吸收膜是太阳能光热转换的重要部件。在太阳能光热技术与建筑物一体化中,彩色太阳能选择性吸收膜在审美的角度上更加美观,能够与建筑物的外观更好...

吴杨微 导师:赖发春 福建师范大学 2013-06-30 硕士论文

关键词: 薄膜 / 太阳能 / 选择性吸收 / 颜色

下载(269)| 被引(1)

氮化铝掺铁薄膜的制备及彩色太阳能选择性吸收薄膜的...  CNKI文献

随着石油、煤和天然气等不可再生资源的消耗,太阳能的开发和应用越来越引起人们的关注,而太阳能的光热应用是一个重要应用方向,高效率的彩色的太阳能选择性吸收薄膜具有光热转换效率高、红外热发射低,以及与现代化建筑...

郑明志 导师:赖发春 福建师范大学 2012-06-30 硕士论文

关键词: 薄膜 / 太阳能 / 选择性吸收 / 结构

下载(330)| 被引(0)

GaN基多层结构椭偏测试模型优化和光谱研究  CNKI文献

利用椭圆偏振测试仪,对n+AlGaN/n-AlGaN/超晶格(SL)/AlN/蓝宝石多层复杂结构的椭偏测试方法进行了研究,其中SL层为AlGaN/GaN多层量子阱结构,将其简化为单层处理。通过改变测试条件进行多次测量,分析了结构模型、算法模...

赵金霞 杜江锋... 《微纳电子技术》 2010年04期 期刊

关键词: 氮化镓 / 氮化铝镓 / 椭圆偏振测试 / 光学常数谱

下载(133)| 被引(0)

磁控溅射制备压电氮化铝薄膜及声表面波滤波器研究  CNKI文献

作为宽能隙直接能带结构的半导体材料,AlN,GaN,InN等Ⅲ族氮化物由于高效率可见光和紫外光发射以及光响应特性而在全色光器件方面具有良好的应用前景。其中,AlN还具有高热导、高硬度以及良好的介电性质、声学性质...

陈璞 导师:彭启才 西华大学 2008-05-01 硕士论文

关键词: 氮化铝 / 中频磁控反应溅射 / 结构和粗糙度 / 反射

下载(585)| 被引(4)

氮化铝薄膜光学常数和结合力测试分析  CNKI文献

用直流磁控溅射方法在硅衬底上制备氮化铝薄膜。X射线衍射仪和X射线光电子能谱仪分析了薄膜的结构和成分;椭圆偏振仪测量并拟合获得AlN薄膜在250~1000nm波长范围内的折射率和消光系数曲线;利用大荷载划痕仪的声...

杨清斗 刘文... 《硅酸盐通报》 2007年05期 期刊

关键词: 氮化铝薄膜 / 椭圆偏振仪 / 消光系数 / 划痕仪

下载(434)| 被引(6)

氮化铝薄膜的椭偏法研究  CNKI文献

文章采用真空磁过滤电弧离子镀法在单晶Si(100)基片上成功制备了氮化铝(AlN)薄膜,并利用椭偏法对AlN膜进行了研究。根据沉积方法的特点,建立合适的膜系进行拟合,得到薄膜的折射率、消光系数和几何厚度;分析薄膜...

周杨 梁海锋... 《激光与红外》 2007年06期 期刊

关键词: 椭偏仪 / AlN薄膜 / 光学常数

下载(326)| 被引(9)

铝-氮化铝/铝太阳选择性吸收膜的计算机优化设计  CNKI文献

制定了详细的铝-氮化铝/铝太阳选择性吸收膜优化设计流程,并依此对各种不同组成因子的膜进行了组合;对组合后的膜系进行了计算机优化,计算出了各个膜系的反射率和吸收率,同时得到了优化后各膜层的厚度。通过比较...

牛继南 强颖怀... 《能源工程》 2006年06期 期刊

关键词: 设计流程 / 组合 / 计算机优化

下载(190)| 被引(10)

直流磁过滤电弧沉积氮化铝薄膜的研究  CNKI文献

利用直流电弧技术在硅基片上制备氮化铝薄膜,研究了薄膜的折射率、消光系数、透过率和沉积速率。薄膜的光学折射率、消光系数、厚度通过椭偏法测试并拟合得到;薄膜的透过率谱通过傅里叶变换红外光谱仪测试,薄膜的沉积...

梁海锋 周扬... 2006年全国光电技术学术交流会会议文集(B 光学系统设计与制... 2006-11-01 中国会议

关键词: 氮化铝 / 光学常数 / 沉积速率

下载(45)| 被引(0)

直流磁过滤电弧沉积氮化铝薄膜的研究  CNKI文献

利用直流电弧技术在硅基片上制备氮化铝薄膜,研究了薄膜的折射率、消光系数、透过率和沉积速率。薄膜的光学折射率、消光系数、厚度通过椭偏法测试并拟合得到;薄膜的透过率谱通过傅里叶变换红外光谱仪测试...

梁海锋 周扬... 《红外与激光工程》 2006年S2期 期刊

关键词: 氮化铝 / 光学常数 / 沉积速率

下载(117)| 被引(1)

椭偏法测量AIN薄膜的光学常数  CNKI文献

氮化铝是Al-N二元系中唯一稳定的相,它具有电阻率高,热膨胀系数低,硬度高,化学稳定性好,热导率高等特点。此外,氮化铝从紫外到红外频段都具有很高的光学透射比,这些特性使氮化铝膜在微电子和光电器件等许多方面都有着...

周杨 梁海锋... 第十一届全国光学测试学术讨论会论文(摘要集) 2006-08-20 中国会议

关键词: 光学常数 / 椭偏法 / AIN

下载(30)| 被引(0)

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