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AlN-Fe纳米复合薄膜:一种新型锂离子电池负极材料  CNKI文献

采用脉冲激光沉积技术(PLD)制备了不同比例的Al N-Fe纳米复合薄膜(Al N和Fe摩尔比为3:1;2:1;1:1;1:2),首次研究了其作为锂离子电池负极材料的电化学行为。发现当Al N和Fe的比例为2:1时,复合薄膜具有...

牛晓叶 杜小琴... 《物理化学学报》 2017年12期 期刊

关键词: 锂离子电池 / 负极材料 / 氮化铝 / 薄膜

下载(260)| 被引(3)

自支撑AlN薄膜的制备及其性质研究  CNKI文献

近年,来可穿戴健康设备的出现和普及,不仅对于半导体器件的面积、功耗、可靠性等参数提出了越来越高要求,而且对于传感器的功能性也提出了越来越丰富的需求。Ⅲ-Ⅴ族氮化物半导体材料AlN禁带宽度高达6.2 eV,对应...

李恒 导师:陆小力 西安电子科技大学 2017-06-01 硕士论文

关键词: 氮化铝 / 脉冲激光沉积 / 自支撑 / 压电性

下载(263)| 被引(4)

脉冲激光沉积AlN薄膜的工艺优化与机械性能  CNKI文献

采用脉冲激光沉积(PLD)方法在单晶Si衬底上制备AlN薄膜.利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)对薄膜的形貌和微观结构进行了分析;采用显微硬度仪、球-盘式磨损试验机和涂层自动划痕仪测试了~...

郑晓华 寇云峰... 《浙江工业大学学报》 2013年02期 期刊

关键词: 薄膜 / 氮化铝 / 脉冲激光沉积 / 正交试验

下载(130)| 被引(3)

AlN/CN_x复合薄膜的PLD制备及其机械性能的研究  CNKI文献

本文通过采用脉冲激光沉积(PLD)方法在单晶Si衬底上制备AlN薄膜,以薄膜的本征硬度作为参考指标,通过正交实验来确定制备AlN薄膜的基本工艺参数,并考察沉积气压、衬底温度、激光通...

寇云峰 导师:郑晓华 浙江工业大学 2012-12-01 硕士论文

关键词: 氮化铝 / 氮化碳 / 复合薄膜 / 机械性能

下载(46)| 被引(2)

脉冲激光沉积氮化铝薄膜沉积参数对其场发射...  CNKI文献

采用脉冲激光沉积(PLD)在不同靶基距或衬底温度下制备了两个系列氮化铝(AlN)薄膜。其场发射性能测试显示,两个系列的AlN薄膜场发射性能随着靶基距的增大或衬底温度的升高都是先提高后降低。靶基距为5.5cm和衬底温度为...

李松玲 王如志... 第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第7分册) 2010-10-15 中国会议

关键词: 氮化铝薄膜 / 脉冲激光沉积 / 场发射 / 靶基距

下载(74)| 被引(0)

脉冲激光沉积制备不同择优取向的AlN薄膜的研究  CNKI文献

由于氮化铝AlN薄膜具有稳定的物理性质和化学性质、机械强度高、绝缘性能又好、直接带隙宽、热传导率高、低热膨胀系数等特点,广泛应用于声学表面波器件、微电子及光学器件,有关AlN薄膜的制备研究己...

陈红举 导师:张伟风 河南大学 2010-05-01 硕士论文

关键词: 择优取向 / AlN / 薄膜层 / 脉冲激光沉积

下载(273)| 被引(8)

脉冲激光沉积氮化铝薄膜的电学性能研究  CNKI文献

采用脉冲激光沉积(PLD)技术在硅片上合成了A lN薄膜。X射线衍射(XRD)结果证实制备的A lN薄膜具有(002)择优取向的六方纤锌矿晶体结构,并且结晶质量随Si衬底温度的提高而改善。电流-电压(I-V)、电容...

门传玲 林成鲁 《功能材料与器件学报》 2006年04期 期刊

关键词: AlN薄膜 / 极化 / 电学性能

下载(261)| 被引(10)

脉冲激光沉积方法制备氮化铝薄膜  CNKI文献

介绍了用脉冲激光沉积 (PLD)方法制备AlN薄膜的工作 ,在Si(10 0 )衬底上得到了光滑平整、透明度高的AlN薄膜 ,由实验结果拟合得到能隙宽度为 5 7eV。考察了衬底温度和退火温度的影响。

凌浩 施维... 《中国激光 2001年03期 期刊

关键词: 脉冲激光沉积 / 氮化铝 / 激光烧蚀

下载(209)| 被引(25)

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