应用于电子束刻蚀的电子光学系统仿真设计研究 CNKI文献
近年来,随着芯片行业快速发展,在很多领域中都会用到芯片,所以芯片的需求量急速上升,这也给芯片的加工制造带来了全新的挑战。目前芯片的加工技术主要是分为光刻技术和电子束刻蚀技术,电子束刻蚀技术在我国起步较早,有...
田鹏
导师:朱小芳
电子科技大学
2022-03-31
硕士论文
一种远距离阅读系统的设计与实现 CNKI文献
随着青少年日益加重的学习负担和电子产品的大量普及,青少年的近视防控工作面临着日益严峻的考验。当前,很多种宣传可以治疗近视或控制近视进展的医疗手段,如按摩、针灸、多焦点眼镜,并不能很好的控制近视的进展。基于...
李岩
导师:刘志刚
北京交通大学
2020-06-01
硕士论文
高精度激光追踪测量若干关键技术 CNKI文献
精密测量技术是工程科学的基础技术,是现代智能制造的关键技术,而精密仪器则是测量技术的载体,是实现重大科学发现与基础理论研究的唯一手段。现如今,高档数控装备为高精度复杂形状零部件的加工与测量提供相对丰富的手...
宋辉旭
导师:石照耀
北京工业大学
2020-04-01
博士论文
高时空分辨高能电子成像与电子衍射研究 CNKI文献
高时空分辨电子成像与电子衍射技术是用以观测微观、超快过程的强有力工具。相比于传统透射型电子显微镜以及电子衍射中的ke V量级电子束,基于光阴极注入器的高能电子束具有亮度更高、穿透能力更强、脉冲结构更短的优...
周征
导师:黄文会
清华大学
2019-12-01
博士论文
高速、高精度微纳米压印关键技术的研究 CNKI文献
微纳米压印技术是一种全新的微纳图形复制工艺技术，相比于电子/离子束光刻、紫外光刻等微纳加工手段来说，具有操作简单、极限分辨率高(10nm)、重复性好、生产效率高、设备成本低等优点，所以一经提出就被称为“可能...
皮利华
导师:芮延年
苏州大学
2014-10-01
硕士论文
核技术应用中若干技术问题研究 CNKI文献
核技术可分为两大类：非动力核技术和动力核技术。文章主要对核技术应用中的若干技术问题进行研究。
非动力核技术产业技术含量高,是环保节能型产业。加快发展非动力核技术应用产业,不仅可为我国许多产业提供新型材...
黄江
导师:樊明武
华中科技大学
2013-05-01
博士论文
激光测径装置研究 CNKI文献
测径方法大致分激光扫描测径，CCD投影测径，激光衍射测径，而激光扫描测径是用得较多的一种。激光扫描测径是根据光学的几何原理设计而成，激光适应性强、安装使用方便、测量精度高，与计算机技术相结合可达到智能控...
魏小龙
导师:秦东兴
电子科技大学
2013-04-01
硕士论文
强流ECR质子源及束流引出和传输特性的研究 CNKI文献
强流ECR (Electron Cyclotron Resonance)离子源作为加速器系统的前端注入设备，其核心部件的设计是影响其工作性能以及产生束流品质的关键。ECR离子源具有结构紧凑，可产生高密度等离子体，性能稳定，可重复性好等优...
冯哲
导师:张小章
清华大学
2011-04-01
博士论文
氢氦离子注入机的研制 CNKI文献
介绍正在研制的氢氦离子注入机的结构和各部分的主要性能指标。它的最高能量200keV,可以按一定比例同时用氢氦两种离子进行注入实验。该机经过调试,各项主要指标已达到设计要求,工作稳定可靠。
陈立华
崔保群...
2010全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集
2010-06-30
中国会议
激光扫描外径精密检测方法的理论与实验研究 CNKI文献
激光扫描外径精密检测是以激光为光源,由高速旋转的多面棱镜反射,经k-θ透镜畸变产生匀速扫描光,对被测件进行光束扫描,准确测量对被测件的扫描时间,充分考虑测量过程中产生的误差,并对其进行修正与补偿,实现外...
姜涛
导师:徐洪吉
长春理工大学
2009-12-01
博士论文
低能强流脉冲离子束的发射度与离子比测量 CNKI文献
当今RFQ加速器已成为离子加速器发展的一个热点,在放射性核束加速装置,散裂中子源和加速器驱动洁净核能系统等重大科学工程以及小型加速器中子源等方面得到广泛应用。本论文介绍了国内外和北京大学重离子物理研究所在...
徐蓉
导师:郭之虞
北京大学
2008-06-01
博士论文
稀土超磁致伸缩电流互感器的研究 CNKI文献
稀土超磁致伸缩材料(Giant Magnetostrictive Material简写为GMM)是继稀土永磁,稀土发光和稀土高温超导材料之后的又一种重要的新型功能材料。在一定的磁场作用下,该材料与传统的镍基或铁基磁致伸缩材料相比会产...
张红菊
导师:姚胜利
中国科学院研究生院（西安光学精密机械研究所）
2008-05-16
硕士论文
