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应用于电子束刻蚀的电子光学系统仿真设计研究  CNKI文献

近年来,随着芯片行业快速发展,在很多领域中都会用到芯片,所以芯片的需求量急速上升,这也给芯片的加工制造带来了全新的挑战。目前芯片的加工技术主要是分为光刻技术和电子束刻蚀技术,电子束刻蚀技术在我国起步较早,有...

田鹏 导师:朱小芳 电子科技大学 2022-03-31 硕士论文

关键词: 电子束刻蚀技术 / 双模电子枪 / 电子透镜 / 畸变

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超精密加工伺服振动对微透镜阵列创成影响研究  CNKI文献

透镜阵列表面是一种广泛应用于光学的微结构功能表面。其由尺寸为亚微米级的透镜组成阵列结构,除具有传统透镜基本功能外,还呈现传统透镜不具备的特殊功能,尤其具备轻量化、小型化、集成化...

周原平 导师:章少剑 南昌大学 2021-05-22 硕士论文

关键词: 微透镜阵列 / 慢刀伺服 / 伺服振动 / 加工路径

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一种远距离阅读系统的设计与实现  CNKI文献

随着青少年日益加重的学习负担和电子产品的大量普及,青少年的近视防控工作面临着日益严峻的考验。当前,很多种宣传可以治疗近视或控制近视进展的医疗手段,如按摩、针灸、多焦点眼镜,并不能很好的控制近视的进展。基于...

李岩 导师:刘志刚 北京交通大学 2020-06-01 硕士论文

关键词: 屈光不正 / 读写系统 / 单片机 / 永磁同步电机

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高精度激光追踪测量若干关键技术  CNKI文献

精密测量技术是工程科学的基础技术,是现代智能制造的关键技术,而精密仪器则是测量技术的载体,是实现重大科学发现与基础理论研究的唯一手段。现如今,高档数控装备为高精度复杂形状零部件的加工与测量提供相对丰富的手...

宋辉旭 导师:石照耀 北京工业大学 2020-04-01 博士论文

关键词: 激光追踪仪 / 坐标测量 / 数控装备 / 精度校准

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高时空分辨高能电子成像与电子衍射研究  CNKI文献

高时空分辨电子成像与电子衍射技术是用以观测微观、超快过程的强有力工具。相比于传统透射型电子显微镜以及电子衍射中的ke V量级电子束,基于光阴极注入器的高能电子束具有亮度更高、穿透能力更强、脉冲结构更短的优...

周征 导师:黄文会 清华大学 2019-12-01 博士论文

关键词: 高能 / 电子成像 / 电子衍射 / 时空分辨

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强流中子发生器中子源特性模拟及快中子诱发锕系核素裂变物...  CNKI文献

D-D/D-T强流中子发生器是重要的准单能加速器中子源,其特点是在低能D束流条件下产生较高中子产额的中子,且中子单能性好,在快中子物理、快中子应用技术及核数据测量等领域有着重要的应用价值。D-Be反应在低能D束下也能...

韦峥 导师:姚泽恩 兰州大学 2016-04-01 博士论文

关键词: 强流中子发生器 / Multi-layer模型 / 中子辐射场 / Monte

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1~50keV低能质子束注入装置  CNKI文献

为了开展空间环境中低能粒子对航天电子器件作用规律的研究,根据研究项目需要,研制一台1~50ke V的低能质子束装置。该装置具有无需机械调节即可对质子能量、注入面积、注量率等参数进行大范围调节的特点。装置设计紧...

陈立华 崔保群... 《原子核物理评论》 2015年S1期 期刊

关键词: 空间环境 / 质子束 / 均匀度 / 低能粒子

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IH型永磁漂移管加速腔初步设计  CNKI文献

设计了一个用于加速低能质子的永磁聚焦IH型漂移管加速腔。通过迭代设计,使得束流通过每个漂移管中心的束流相位与预设值一致。设计的永磁聚焦IH型漂移管加速腔将质子束从0.75 MeV加速到2.5 MeV,长度0.96...

何小中 庞健... 《强激光与粒子束》 2015年07期 期刊

关键词: IH模式 / 漂移管加速器 / 永磁聚焦 / 分流阻抗

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高速、高精度微纳米压印关键技术的研究  CNKI文献

微纳米压印技术是一种全新的微纳图形复制工艺技术,相比于电子/离子束光刻、紫外光刻等微纳加工手段来说,具有操作简单、极限分辨率高(10nm)、重复性好、生产效率高、设备成本低等优点,所以一经提出就被称为“可能...

皮利华 导师:芮延年 苏州大学 2014-10-01 硕士论文

关键词: 高速 / 高精度微纳米压印技术 / 数学模型 / 结构设计

下载(629)| 被引(3)

核技术应用中若干技术问题研究  CNKI文献

核技术可分为两大类:非动力核技术和动力核技术。文章主要对核技术应用中的若干技术问题进行研究。 非动力核技术产业技术含量高,是环保节能型产业。加快发展非动力核技术应用产业,不仅可为我国许多产业提供新型材...

黄江 导师:樊明武 华中科技大学 2013-05-01 博士论文

关键词: 核技术应用 / 非动力核技术 / 永磁散束系统 / 负离子源

下载(1053)| 被引(13)

强流离子束包络模拟软件开发及强流中子发生器的物理设计  CNKI文献

本文总结了强流D-T/D-D中子发生器的现状及其重要应用,研究了束流传输理论,开发了强流离子束包络模拟计算软件,设计了强流中子发生器的主要部件,完成了400kV强流中子发生器的物理设计。 首先,研究和总结了束流传输...

卢小龙 导师:姚泽恩 兰州大学 2013-05-01 硕士论文

关键词: 强流中子发生器 / 离子束包络 / Poisson/Superfish / IONB1.0

下载(260)| 被引(3)

激光测径装置研究  CNKI文献

测径方法大致分激光扫描测径,CCD投影测径,激光衍射测径,而激光扫描测径是用得较多的一种。激光扫描测径是根据光学的几何原理设计而成,激光适应性强、安装使用方便、测量精度高,与计算机技术相结合可达到智能控...

魏小龙 导师:秦东兴 电子科技大学 2013-04-01 硕士论文

关键词: CCD / 核燃料棒 / k-θ透镜 / 锁相环

下载(897)| 被引(11)

400kV强流中子发生器的物理设计  CNKI文献

对400kV强流中子发生器进行了物理设计。采用Poisson/Superfish软件对中子发生器高压电极和加速管的电场分布进行了模拟,结果显示,各关键区域的空间电场最大值远低于击穿电场限值。以强流束旁轴包络方程为基本模型,发...

卢小龙 姚泽恩... 《原子能科学技术》 2012年12期 期刊

关键词: 中子发生器 / Poisson/Superfish软件 / 强流离子束 / 束流包络

下载(184)| 被引(11)

xx型火箭激光驾束制导中变焦投射系统研究与设计  CNKI文献

本文以某型多管防空火箭炮激光驾束制导中的变焦投射系统为研究对象,通过对变焦投射系统的总体分析、研究,提出了总体的设计方案和理念,划分出了激光光路分析、弹道规划和解算、变焦距解算、变焦投射机械系统设计、伺...

张云昆 导师:张龙 南京理工大学 2012-05-01 硕士论文

关键词: 防空火箭炮 / 调制盘 / 弹道规划 / 伺服系统

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强流ECR质子源及束流引出和传输特性的研究  CNKI文献

强流ECR (Electron Cyclotron Resonance)离子源作为加速器系统的前端注入设备,其核心部件的设计是影响其工作性能以及产生束流品质的关键。ECR离子源具有结构紧凑,可产生高密度等离子体,性能稳定,可重复性好等优...

冯哲 导师:张小章 清华大学 2011-04-01 博士论文

关键词: ★质子源 / 束流强度 / 氢等离子体 / 低能束流输运段

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氢氦离子注入机的研制  CNKI文献

本文介绍了正研制的氢氦离子注入机的结构和各部分的主要性能指标。它的最高能量为200 keV,可按一定比例同时用氢氦两种离子进行注入实验。该机经调试,各项主要指标已达设计要求,工作稳定可靠。

陈立华 崔保群... 《核技术》 2010年12期 期刊

关键词: 离子注入机 / 透镜 / 离子源 / 质谱

下载(129)| 被引(1)

氢氦离子注入机的研制  CNKI文献

介绍正在研制的氢氦离子注入机的结构和各部分的主要性能指标。它的最高能量200keV,可以按一定比例同时用氢氦两种离子进行注入实验。该机经过调试,各项主要指标已达到设计要求,工作稳定可靠。

陈立华 崔保群... 2010全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集 2010-06-30 中国会议

关键词: 离子注入机 / 透镜 / 离子源 / 质谱

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激光扫描外径精密检测方法的理论与实验研究  CNKI文献

激光扫描外径精密检测是以激光为光源,由高速旋转的多面棱镜反射,经k-θ透镜畸变产生匀速扫描光,对被测件进行光束扫描,准确测量对被测件的扫描时间,充分考虑测量过程中产生的误差,并对其进行修正与补偿,实现外...

姜涛 导师:徐洪吉 长春理工大学 2009-12-01 博士论文

关键词: 外径检测 / 激光扫描 / k-θ透镜 / 边缘检测

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低能强流脉冲离子束的发射度与离子比测量  CNKI文献

当今RFQ加速器已成为离子加速器发展的一个热点,在放射性核束加速装置,散裂中子源和加速器驱动洁净核能系统等重大科学工程以及小型加速器中子源等方面得到广泛应用。本论文介绍了国内外和北京大学重离子物理研究所在...

徐蓉 导师:郭之虞 北京大学 2008-06-01 博士论文

关键词: 发射度 / 离子比 / 强流脉冲束 / ECR离子源

下载(537)| 被引(1)

稀土超磁致伸缩电流互感器的研究  CNKI文献

稀土超磁致伸缩材料(Giant Magnetostrictive Material简写为GMM)是继稀土永磁,稀土发光和稀土高温超导材料之后的又一种重要的新型功能材料。在一定的磁场作用下,该材料与传统的镍基或铁基磁致伸缩材料相比会产...

张红菊 导师:姚胜利 中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所) 2008-05-16 硕士论文

关键词: 稀土磁致伸缩材料 / 光纤头 / 自聚焦透镜 / 光电转换器

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