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平行平板横向剪切干涉波前重建精度的研究  CNKI文献

在基于平行平板双光路横向剪切干涉仪中,如果两个方向的平行平板之间存在角度误差,将会使得两个方向的剪切干涉图的剪切方向不正交,最终影响波前测量的准确度。本文通过仿真实验研究了两个方...

周健彪 杨子晗... 《光电子·激光》 2020年09期 期刊

关键词: 横向剪切干涉仪 / 平行平板 / 角度误差 / 波前重建

下载(89)| 被引(1)

基于子孔径拼接和横向剪切干涉技术的非球面检测与算...  CNKI文献

非球面光学元件具有良好的光学性能,但由于其表面形状较为复杂,导致面形检测存在一定的困难。针对此问题,本文展开了相关的研究,分别研究了子孔径拼接检测非球面和横向剪切干涉检测非球面。对于子孔径拼接技术,...

隆仙 导师:李力 南京理工大学 2019-12-01 硕士论文

关键词: 非球面检测 / 子孔径拼接 / 横向剪切干涉 / 拼接算法

下载(23)| 被引(0)

基于衍射光学元件的多波前横向剪切干涉方法研...  CNKI文献

波前探测一直是光学领域的重要研究课题,多波前横向剪切干涉技术作为一种新型的波前探测手段,测量精度和动态范围比较高,是一种很有研究价值与实用意义的波前探测方法,在激光光束质量评...

崔博川 导师:陈涛 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所) 2018-06-01 博士论文

关键词: 波前探测 / 相位光栅 / 波前重建 / 干涉图去噪

下载(432)| 被引(5)

共光路干涉测量术及其应用的研究  CNKI文献

光波相位作为光信息的主要载体之一,其测量及重建技术一直是自适应光学、信息光学等许多领域的重要研究内容。而利用光学干涉进行精密测量,始终是计量测试领域中的主要方法。传统的干涉测量常常将一...

夏建培 导师:丁剑平 南京大学 2017-05-01 博士论文

关键词: 干涉测量法 / 剪切干涉 / 相移术 / 相位测量

下载(93)| 被引(0)

横向剪切干涉快速模式法波前重建方法  CNKI文献

横向剪切干涉技术利用待测波前与其自身横向平移后的波前发生干涉,不需要参考波前,具有测量范围大、对振动不敏感等优点,在超大规模集成电路制造、惯性约束聚变、眼科学等领域得到了重要应用。由于横向剪切干涉技术测...

李杰 王向朝... 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集 2016-09-25 中国会议

关键词: 波前重建 / 数据量 / 横向剪切干涉技术 / 模式法

下载(48)| 被引(0)

相移干涉与二维横向剪切干涉技术研究与应用  CNKI文献

依托相移干涉测量的基本原理,设计了一种基于菌紫质光致各向异性的相移器,并把它用于相移干涉计量。取向随机分布的极性菌紫质分子对线偏振诱导光的选择性吸收导致分子取向分布不均匀,使其呈现宏观的各向...

杨晨晓 导师:韩俊鹤 河南大学 2015-05-01 硕士论文

关键词: 四步相移 / 菌紫质 / 最小二乘法 / 相位梯度法

下载(177)| 被引(1)

二维横向剪切干涉中采样点的选取  CNKI文献

为了使相移式横向剪切干涉法能够广泛应用于大口径非球面的在线检测,通过计算机仿真研究横向剪切干涉测量的非球面面形,实现其二维波面的重建.分别对仿真中获得的被测非球面在x方向和y方向的两个差...

王红军 张聪... 《光子学报》 2015年03期 期刊

关键词: 光学检测 / 横向剪切干涉 / 最小二乘法 / Zernike拟合

下载(132)| 被引(4)

基于环形条纹Zernike多项式的剪切干涉波前重建  CNKI文献

1.引言根据国际半导体技术蓝图ITRS 2013,极紫外光刻(EUVL)是10nm以下节点集成电路制造的主要备选光刻技术。EUVL光学成像系统波像差应控制在1nm以下,相应的波像差测量技术精度应高于0.3nm。横向剪切干涉技术是满足这...

戴凤钊 王向朝... 第十五届全国光学测试学术交流会论文摘要集 2014-10-26 中国会议

关键词: 环形条纹 / 波前重建 / 多项式 / Zernike

下载(65)| 被引(0)

大口径非球面在线检测方法研究  CNKI文献

随着国防与尖端科学技术的发展,大口径光学系统在天文光学、空间探索和激光惯性约束核聚变等领域得到了越来越广泛的应用。大口径非球面光学元件在提高光学系统的成像质量、减轻重量和提高光学特性等方面有着优良的特...

张聪 导师:王红军 西安工业大学 2014-10-24 硕士论文

关键词: 非球面检测 / 横向剪切干涉 / 波前重建 / Zernike多项式

下载(209)| 被引(1)

非球面反射镜横向剪切干涉检测技术仿真与实验研究  CNKI文献

非球面反射镜因其优良的光学成像性质被广泛地应用于国防军事、天文观测、民用生活和医学卫生领域。广泛的应用以及光学技术的发展使人们对非球面反射镜的加工效率与加工精度的要求越来越高。在非球面的精密超精密加工...

郭向峰 导师:韩成顺 哈尔滨工业大学 2014-07-01 硕士论文

关键词: 非球面反射镜 / 横向剪切干涉 / 相位提取 / 相位解包裹

下载(344)| 被引(5)

光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析  CNKI文献

在分析光栅横向剪切干涉仪典型结构及系统参数配置,给出其适用范围的基础上,系统研究了该干涉仪结构最显著的系统误差:几何光程误差和探测器倾斜误差。采用Zernike多项式给出波前重建前后系统误差项...

李杰 唐锋... 《中国激光》 2014年05期 期刊

关键词: 测量 / 光栅横向剪切干涉 / 系统误差 / Zernike多项式

下载(597)| 被引(25)

一种对比度可调的共光路径向剪切移相干涉仪  CNKI文献

针对现有共光路径向剪切干涉仪所存在的干涉条纹对比度不可调、剪切相位差复原精度低或移相方式复杂、光学系统调整困难等缺点,提出一种对比度可调的共光路径向剪切移相干涉仪,利用偏振...

刘尧 白福忠... 《光学学报》 2013年06期 期刊

关键词: 光学设计 / 径向剪切 / 移相干涉仪 / 条纹对比度

下载(189)| 被引(3)

非球面非零位横向剪切干涉检测与波前重建  CNKI文献

本文分析了非球面非零位检测中3种典型的非球面度及其变化率、调整误差、回程误差以及干涉仪系统误差,提出了非球面度变化率是影响检测误差的主要因素,并给出了非球面非零位检测面形加工误差的确定方法.对基于Z...

王起维 董申... 《纳米技术与精密工程》 2013年03期 期刊

关键词: 非球面检测 / 非零位检测 / 横向剪切干涉检测 / 波前重建

下载(263)| 被引(4)

基于傅里叶变换的剪切干涉波前重建  CNKI文献

光波的横向剪切干涉是使待测光波与其自身作横向移位后的复制光波之间产生干涉的一种干涉测量技术。由于剪切干涉不需要参考光,采取自干涉方案,特别适用于低相干光源照明以及无法提供参...

郭云峰 导师:丁剑平 南京大学 2012-11-01 博士论文

关键词: 横向剪切干涉 / 波前重建 / 傅里叶变换 / 相移

下载(263)| 被引(2)

高空间分辨率横向剪切区域法波前重建  CNKI文献

1.引言横向剪切干涉作为一种重要的波前传感技术在光学检测领域得到了广泛的研究及应用。区域法是横向剪切波前重建的一种重要方法。早期的区域法重建抽样间隔受剪切量的限制,重建空间分辨率较低。近年来为提高空间分...

戴风钊 唐锋... 第十四届全国光学测试学术讨论会论文(摘要集) 2012-09-21 中国会议

关键词: 区域法 / 波前重建 / 高空间分辨率 / 横向剪切

下载(29)| 被引(1)

横向剪切干涉检测非球面波前数值模拟  CNKI文献

横向剪切干涉检测方法用于非球面加工过程中检测是经济且高效的方法。从数值模拟的角度,分析了基于像差最小原则的非球面度;模拟了非球面波前的横向剪切干涉图,并利用基于Zernike多项式拟合的最小二...

王起维 孙涛... 《航空精密制造技术》 2012年04期 期刊

关键词: 非球面检测 / 横向剪切干涉检测 / 非球面度 / 波前重建

下载(131)| 被引(1)

基于解耦差分泽尼克待定系数法的二维横向剪切波面~#...  CNKI文献

横向剪切干涉术是一种自参考干涉计量技术,其原理是被检测波前与其自身被剪开的波前之间在重叠范围内相干涉,由干涉图得到两相互剪切波前波前差,通过波面重建

彭爱华 叶红卫... 《光学学报》 2011年08期 期刊

关键词: 自适应光学 / 横向剪切干涉技术 / 二维 / 波前重构

下载(225)| 被引(12)

含中心遮拦剪切干涉图的波前重建新方法  CNKI文献

在利用剪切干涉测量共轴折返式光学系统波像差时,会得到含中心遮拦的环形剪切干涉图。但是,目前的剪切干涉波前重建方法大多适用于圆形或矩形区域。提出了一种适用于含中心遮拦环形剪切干涉图...

王丹 刘克... 《光学技术》 2010年05期 期刊

关键词: 光学测量 / 波前重建 / Zernike环多项式 / 剪切干涉图

下载(163)| 被引(1)

剪切干涉测量光学元件的波前重建方法及其仿真...  CNKI文献

随着国防与尖端科学技术的发展,高精密的光学系统得到广泛应用,使得光学元件的需求量与日俱增,精度要求越来越高。获得高质量光学表面的关键技术在于能否提供可靠的、行之有效的检测结果指导加工。在传统加工中,加工和...

许静 导师:韩成顺 哈尔滨工业大学 2010-06-01 硕士论文

关键词: 剪切干涉 / 波前重建算法 / 图像处理 / Zernike多项式

下载(916)| 被引(13)

剪切干涉波前重建算法研究  CNKI文献

剪切干涉技术作为一种典型的相位恢复技术,虽然易于操作,但在已有的重构算法和信息完整性等方面还存在着很大的缺陷。随着科学的发展对测量技术提出了更精确的要求,由于波前重建算法是实现精确、快速

向海波 导师:陈明浩 哈尔滨工业大学 2010-06-01 硕士论文

关键词: 剪切干涉 / 波前重建 / 小波分析 / 提升变换

下载(532)| 被引(9)

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