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激光直写SiO_2/TiO_2溶胶凝胶薄膜制备...  CNKI文献

条形光波导是光电子器件的基本元器件。近年来,随着集成光学的飞速发展,迫切需要发展工艺简单、成本低、柔性化程度高的条形光波导制备技术。激光直写技术克服了传统的以光刻技术为核心的光波导制作技术的种种弊...

李爱魁 导师:曾晓雁 华中科技大学 2007-12-01 博士论文

关键词: 激光直写 / 溶胶-凝胶 / SiO_2-TiO_2 / 平板光波导

下载(554)| 被引(1)

激光直写法制备条形光波导中的功率密度阈值  CNKI文献

采用溶胶-凝胶法(sol-gel)在Si基SiO2衬底上制备了SiO2-TiO2芯层薄膜,构成了以SiO2为下包层,空气为上包层的平面光波导。利用光纤激光器对平面波导的芯层进行直写,结合后续的化学腐蚀工艺得到...

刘家骏 王泽敏... 《中国激光 2007年06期 期刊

关键词: 激光技术 / 条形光波导 / 激光直写 / 溶胶-凝胶法

下载(238)| 被引(3)

激光直写法制备SiO_2/TiO_2条形光波导工艺与性能的研...  CNKI文献

随着集成光学和光通信系统的飞速发展,有关光波导材料和制作工艺方面的研究就显得尤为关键。激光直写技术克服了以光刻技术为核心的波导传统制作技术的种种弊端,显示了自身强大的优越性而成为光电子器件领域重要...

刘家骏 导师:胡乾午 华中科技大学 2007-02-01 硕士论文

关键词: 集成光学 / 条形光波导 / 激光直写 / 溶胶-凝胶

下载(213)| 被引(0)

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