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激光直接写入工艺的研究  CNKI文献

本文介绍了四轴激光直接写入系统 ,对激光直接在光刻胶上写入图形的工艺进行了研究 ,讨论了在不同离焦情况下 ,胶层内光斑的大小和强度分布 ,采用离焦的方法在光刻胶上刻画了周期为 2 ...

李凤友 卢振武... 《光电子·激光 2001年09期 期刊

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准直小孔法自动调焦在激光写入系统中的应用  CNKI文献

本文介绍了一种新的自动调焦方法准直小孔法对自动调焦的原理和后继电路处理方法作了详细的分析它具有响应时间短、灵敏度高,能够很好的在激光直接写入系统中克服物镜工作台运动中导轨的不平和轴向窜动所...

赵为党 沈亦兵... 《光子学报》 1998年08期 期刊

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用于二元光学掩模制作的激光直接写入系统研究  CNKI文献

介绍了研制的极坐标激光直接写入系统.该系统可用于二元光学掩模的制作.最大掩模直径为100m m ;最细曝光线宽为1.0μm ;套准精度及自动调焦精度分别达±0.3μm 和±0.2μm ⒚与电...

沈亦兵 周光亚... 《科技通报》 1998年03期 期刊

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极坐标激光直接写入系统研究  CNKI文献

本文对极坐标激光直接写入系统进行了初步的研究,介绍了它的原理及结构,该系统可用于二元光学掩模的制作,具有加工孔径大、线宽小的特点,特别适用于圆对称的图形。加工此类图形在制作时间、成本、元件质量等...

周光亚 侯西云... 《仪器仪表学报》 1996年S1期 期刊

关键词: 激光直接写入 / 光刻物镜 / 光强控制 / 二元光学器件

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